Способ изготовления датчика влажности Советский патент 1985 года по МПК G01N27/02 

Описание патента на изобретение SU1188615A1

1 Изобретение относится к гигрометрии, а именно к электрическим датчикам, служащим для измерения влажности различных газов. Целью изобретения является повы шение чувствительности и селективности датчика. Способ изготовления датчика вла ности заключается в том, что на изолирующую подложку наносят пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки наносят проницаемый для анализируемо среды второй электрод. Полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного слоя AsjS, второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структур облучают белым светом до достижения стабильного во времени сопротивления между электродами. На чертеже схематически представлен датчик влажности, разрез. Датчик содержит непроводящую подложку 1, на которой вакуумным напылением в виде пленки нанесен слой металла, представляющий собой нижний электрод 2, На этот электро напылена пленка халькогенидного аморфного полупроводника-AsjS-j 3. ,На этой пленке вакуумным напыление из меди нанесен верхний металличес 52 кий электрод 4, который является проницаемым для паров воды, содержащихся в воздухе. Эта влагопроницаемость достигается тем, что ввиду малой толщины верхнего электрода ( л, 50 А) он осаждается на пленку из „ в виде рыхлого слоя, содержащего многочисленные сквозные поры. Для создания электродов используются такие металлы как А1, Ag, Си, In. Наиболее подходящим материалом для электродов, обеспечивающих высокую чувствительность и стабильность, является медь, так как пленка алюминия быстро разрушалась под действием паров воды и электрического поля, серебро значительно диффундирует под действием света в , а на индиевых электродах трудно получить пленку с достаточным количеством сквозных пор. После создания датчика его подвергали действию белого света мощностью 30 МВт/см для проведения фотоформовки, что привело к стабилизации и увеличению чувствительности датчика. По истечении 10 мин электрические характеристики датчика стабилизировались и дальнейшее воздействие света не приводило к их изменению.

Похожие патенты SU1188615A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ДАТЧИКА ГАЗОВ 1994
  • Скупов В.Д.
  • Смолин В.К.
RU2065602C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА СОСТАВА ГАЗА 1993
  • Рыбаков О.Е.
  • Пурыгин П.П.
  • Ленивкина И.В.
  • Гришанов В.Н.
  • Якимова И.А.
RU2065601C1
Диэлектрический газовый сенсор 2021
  • Лачинов Алексей Николаевич
  • Лачинов Алексей Алексеевич
RU2779966C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ГАЗОВОГО ДАТЧИКА 2007
  • Гаськов Александр Михайлович
  • Румянцева Марина Николаевна
  • Коваленко Владимир Викторович
RU2343470C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ГАЗОВОГО ДАТЧИКА 1994
  • Киселев В.К.
  • Скупов В.Д.
  • Смолин В.К.
RU2073853C1
КОЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК 2005
  • Ракоу Нил А.
  • Лайонс Кристофер С.
  • Маки Стивен П.
RU2360232C2
Способ инкапсуляции фотоприемников на основе галогенидных перовскитов 2022
  • Саранин Данила Сергеевич
  • Лучников Лев Олегович
  • Гостищев Павел Андреевич
  • Диденко Сергей Иванович
RU2806886C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕТЕКТОРОВ ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА 2014
  • Чесноков Владимир Владимирович
  • Чесноков Дмитрий Владимирович
  • Кочкарев Денис Вячеславович
  • Кузнецов Максим Викторович
RU2545497C1
ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ГАЗОВЫЙ СЕНСОР 1996
  • Ефименко А.В.
  • Семенова Т.Л.
RU2100801C1
Полупроводниковый датчик состава газов и способ его изготовления 1990
  • Паршиков Игорь Викторович
  • Рамус Леонид Тимофеевич
  • Бутырский Алексей Петрович
SU1797027A1

Реферат патента 1985 года Способ изготовления датчика влажности

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА ВЛАМОСТИ, заключающийся в том, что на изолированную подложку наносят пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки наносят проницаемый для анализируемой среды второй электрод, отличающийся тем, что, с целью повьшения чувствительности и селективности датчика, полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного слоя , второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структуру облучают белым светом до достижения стабильного во времени сопротивления между электродами.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1985 года SU1188615A1

Датчик влажности газов 1975
  • Терещенко Александр Константинович
  • Холод Валерий Павлович
  • Опанасенко Елена Сергеевна
  • Татиевский Виктор Лазаревич
SU541137A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Устройство для уборки кормовых корнеплодов 1987
  • Кобец Анатолий Степанович
  • Кондратюк Дмитрий Игнатьевич
  • Кобец Наталья Владимировна
SU1482584A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 188 615 A1

Авторы

Джафаров Таяр Джумшуд Оглы

Фаривер Юсиф Гурмус Оглы

Байрамов Аяз Идаят Оглы

Гафаров Сабир Фарзали Оглы

Даты

1985-10-30Публикация

1984-05-24Подача