Способ изготовления датчика влажности Советский патент 1985 года по МПК G01N27/02 

1 Изобретение относится к гигрометрии, а именно к электрическим датчикам, служащим для измерения влажности различных газов. Целью изобретения является повы шение чувствительности и селективности датчика. Способ изготовления датчика вла ности заключается в том, что на изолирующую подложку наносят пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки наносят проницаемый для анализируемо среды второй электрод. Полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного слоя AsjS, второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структур облучают белым светом до достижения стабильного во времени сопротивления между электродами. На чертеже схематически представлен датчик влажности, разрез. Датчик содержит непроводящую подложку 1, на которой вакуумным напылением в виде пленки нанесен слой металла, представляющий собой нижний электрод 2, На этот электро напылена пленка халькогенидного аморфного полупроводника-AsjS-j 3. ,На этой пленке вакуумным напыление из меди нанесен верхний металличес 52 кий электрод 4, который является проницаемым для паров воды, содержащихся в воздухе. Эта влагопроницаемость достигается тем, что ввиду малой толщины верхнего электрода ( л, 50 А) он осаждается на пленку из „ в виде рыхлого слоя, содержащего многочисленные сквозные поры. Для создания электродов используются такие металлы как А1, Ag, Си, In. Наиболее подходящим материалом для электродов, обеспечивающих высокую чувствительность и стабильность, является медь, так как пленка алюминия быстро разрушалась под действием паров воды и электрического поля, серебро значительно диффундирует под действием света в , а на индиевых электродах трудно получить пленку с достаточным количеством сквозных пор. После создания датчика его подвергали действию белого света мощностью 30 МВт/см для проведения фотоформовки, что привело к стабилизации и увеличению чувствительности датчика. По истечении 10 мин электрические характеристики датчика стабилизировались и дальнейшее воздействие света не приводило к их изменению.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА ВЛАМОСТИ, заключающийся в том, что на изолированную подложку наносят пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки наносят проницаемый для анализируемой среды второй электрод, отличающийся тем, что, с целью повьшения чувствительности и селективности датчика, полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного слоя , второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структуру облучают белым светом до достижения стабильного во времени сопротивления между электродами.