Изобретение относится к области создания материалов и технологии изготовления датчиков для детектирования горючих и вредных газов в устройствах измерения, контроля и обнаружения, и может быть использовано в нефтехимии, машиностроении, энергетике, экологии и быту.
Известны способы изготовления датчиков состава газа, основанные на изменении электропроводности полупроводниковой пленки вследствие адсорбции газа на ее поверхности [1] В качестве основного компонента полупроводниковой пленки используют окислы олова, цинка или титана. Селективность и чувствительность датчиков определяются их температурой и введением в окисный слой вещества, обладающего каталитическими свойствами.
Основными недостатками известных способов являются низкая селективность и нестабильность их параметров во времени, обусловленные неоптимальностью концентрации катализатора и технологии изготовления.
Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности является способ изготовления пленочного датчика состава газа [2] включающий в себя подготовку керамической подложки из Al2O3, нанесения методом электронно-лучевого распыления электродов из серебра, а затем пленки SnOx с последующим отжигом.
Недостатком является неоптимальный выбор взаимосвязанных технологических параметров: толщины пленки, концентрации легирующей смеси, режима отжига, который не позволяет получить высокой селективности, стабильности и долговечности датчика.
Задачей изобретения является повышение селективности, стабильности и долговечности датчика состава газа.
Эта задача решается за счет того, что в способе изготовления датчика состава газа, включающего очистку поверхности керамической подложки, напыление контактных площадок, напыление металлической пленки, термическое окисление ее, присоединение к контактным площадкам выводов, перед напылением контактных площадок формируют металлическую пленку толщиной 0,10±0,03 мкм путем последовательного напыления олова и легирующей металлической примеси, обладающей каталитическими свойствами к исследуемому газу и составляющей от массы слоя олова от 5 до 10 мас. а окисление ее проводят последовательно в атмосфере сухого кислорода при температуре 50-100oC в течение 0,8-1,2 часа, в атмосфере влажного кислорода при температуре 200-500oC в течение 2,5-3,5 часа и в атмосфере сухого кислорода при температуре 550-560oC в течение 20-40 мин при атмосферном давлении.
При осуществлении изобретения достигается следующий технический результат:
1. Сложный экспериментально подобранный режим термоокисления активизирует диффузионные, окислительные и пористообразующие процессы, повышающие селективность газочувствительного слоя и стабилизирующие его характеристики.
2. Раздельное (в данном случае последовательное) напыление олова и легирующей примеси позволяет получать воспроизводимое соотношение компонент газочувствительного слоя.
Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором схематично изображен датчик состава газа, где:
1-керамическая подложка, 2-газочувствительный слой, 3-контактные площадки, 4-выводы.
Датчик работает следующим образом:
С помощью выводов 4 датчик подключается к вторичному прибору, чувствительному к электрическому сопротивлению газочувствительного слоя 2, датчик нагревается до рабочей температуры. При воздействии смеси газов, в составе которой присутствует анализируемый газ, на поверхности газочувствительной пленки происходит каталитическая реакция окисления, в результате чего электрическая проводимость пленки увеличивается, что и регистрируется вторичным прибором.
Пример осуществления способа.
Экспериментальные образцы датчиков изготавливались на ситалловых подложках толщиной 0,5 мм квадратной формы размером 10х10 мм на вакуумном посту ВУП-4. Металлическую пленку формировали путем последовательного напыления определенного количества легирующих примесей и олова и различных режимах термоокисления. Контактные площадки выполнялись из никеля, выводы из золотой проволоки. Присоединение их к контактным площадкам производилось контактной сваркой. Достижение требуемой температуры осуществлялось с помощью нихромового нагревателя, напыляемого на противоположную газочувствительному слою сторону подложки. Температура датчика контролировалась хромель-копелевой термопарой. Результаты экспериментов сведены в таблицу "Изготовление и исследование датчика состава газа".
Подготовленный по предложенной технологии датчик помещали в герметизируемую камеру из кварцевого стекла, в которой создавалась контролируемая атмосфера, состоящая из смеси воздуха с анализируемым газом. Селективность и стабильность оценивались по отношению относительного изменения проводимости к объемной концентрации исследуемого газа в его смеси с воздухом, которая называется чувствительностью (см. таблицу)
где G0 проводимость датчика при нулевой объемной концентрации исследуемого газа в воздухе,
G1 проводимость датчика при объемной концентрации исследуемого газа,
β объемная концентрация исследуемого газа в воздухе.
Временная стабильность оценивалась по изменению сопротивления датчика по прошествию месяца при ежедневной 4-х часовой эксплуатации
где Rk сопротивление датчика по истечении месяца при концентрации исследуемого газа в воздухе 2000 млн-1,
Rн сопротивление датчика перед началом эксплуатации при концентрации исследуемого газа в воздухе 2000 млн-1.
Использование предлагаемого способа изготовления датчика состава газа позволяет по сравнению с существующими способами повысить селективность и стабильность, увеличить выпуск годных изделий, позволяет в едином технологическом цикле на традиционном оборудовании полупроводникового производства осуществлять изготовление крупных партий образцов с воспроизводимыми параметрами. ТТТ1
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОВОГО СЕНСОРА С НАНОСТРУКТУРОЙ И ГАЗОВЫЙ СЕНСОР НА ЕГО ОСНОВЕ | 2013 |
|
RU2532428C1 |
ДАТЧИК ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ | 2005 |
|
RU2291416C1 |
ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ СЕНСОРНЫЙ ДАТЧИК ДЛЯ ГАЗОАНАЛИЗАТОРА | 2009 |
|
RU2403563C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ДАТЧИКОВ ГАЗА | 2006 |
|
RU2307346C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ПОЛУПРОВОДНИКОГО ГАЗОВОГО СЕНСОРА | 2006 |
|
RU2319953C1 |
ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК | 1994 |
|
RU2098806C1 |
ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ДЕТЕКТОР | 2019 |
|
RU2718133C1 |
СПОСОБ ПАРОФАЗНО-ХИМИЧЕСКОГО СТИМУЛИРОВАННОГО ПЛАЗМОЙ ОСАЖДЕНИЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ ПЛЕНКИ | 1994 |
|
RU2087048C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОВОГО СЕНСОРА С НАНОСТРУКТУРОЙ СО СВЕРХРАЗВИТОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ И ГАЗОВЫЙ СЕНСОР НА ЕГО ОСНОВЕ | 2018 |
|
RU2687869C1 |
Диэлектрический газовый сенсор | 2021 |
|
RU2779966C1 |
Использование: при изготовлении датчиков состава газа. Сущность изобретения: способ включает очистку поверхности керамической подложки, напыление контактных площадок, напыление металлической пленки, термическое окисление ее и присоединение к контактным площадкам выводов. Металлическую пленку формируют толщиной 0,01-0,03 мкм путем последовательного напыления олова и легирующей металлической примеси, обладающей каталитическими свойствами к исследуемому газу и составляющей от массы слоя олова от 5 до 15 масс.%. Окисление проводят последовательно в атмосфере сухого кислорода при температуре 50-100oC в течение 0,8-1,2 часа, в атмосфере влажного кислорода при температуре 200-500oC в течение 2,5-3,5 часа и в атмосфере сухого кислорода при температуре 550-650oC в течение 20-40 минут при атмосферном давлении. 1 ил., 1 табл.
Способ изготовления датчика состава газа, включающий очистку поверхности керамической подложки, напыление контактных площадок, напыление металлической пленки, термическое окисление ее, присоединение к контактным площадкам выводов, отличающийся тем, что перед напылением контактных площадок формируют металлическую пленку толщиной 0,10 ± 0,03 мкм путем последовательного напыления олова и легирующей металлической примеси, обладающей каталитическими свойствами к исследуемому газу и составляющей от массы слоя олова 5 15 мас. а окисление ее проводят последовательно в атмосфере сухого кислорода при 50 1OOoC в течение 0,8 1,2 ч, в атмосфере влажного кислорода при 200 500°С в течение 2,5 3,5 ч и в атмосфере сухого кислорода при 550 - 650oC в течение 20-40 мин при атмосферном давлении.
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Аш Ж | |||
и др | |||
Датчики измерительных систем, М., Мир, ч | |||
II, с | |||
Транспортир | 1922 |
|
SU393A1 |
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
Fang Y.K., Zee J.J | |||
Thin Solid films, 1989, v | |||
Универсальный двойной гаечный ключ | 1920 |
|
SU169A1 |
Способ запрессовки не выдержавших гидравлической пробы отливок | 1923 |
|
SU51A1 |
Авторы
Даты
1996-08-20—Публикация
1993-07-01—Подача