Устройство для селекции дефектов изображений объектов Советский патент 1985 года по МПК G06K9/46 

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано в системах автоматического анализа изображений в микроэлектронике, в частности для контроля фотошаблонов, печатных плат и т.д. Цель изобретений - повышение- точности селекции дефектбв изображений объектов.; На фиг.1 изображенаГб фк-схема устройства; на фиг.2 - конструкТивное выполнение формщзователя последовательностей сигналов.; а фиг .3-6 примеры, поясняющие работу устройства. Устройство (фиг.1) содержит телевизионный датчик 1, формирователь 2 последовательностей сигналов.первую 3 и вторую 4 группы элементов И, пер вый и второй элементы ИЛИ 5 и 6, пер вый - шестой элементы И 7-12, и элемент ШШ-НЕ 13. Формиров атель по следов ательностей сигналов 2 (фиг.2) состоит из линий 14 задержки и регистров 15 сдвига. Устройство работает следунщим образом. Врщеосигнал, поступающий с выхода телевизионного датчика 1, подается на формирователь 2 последовательностей сигналов, выполняющий функцию электронного окна, с которого сниопределяюмаются сигналы X щие соответствие данного элемента электронного окна объекту f(х;) 1 или фону (. Сигнал на выходе элемента И 7 соответствует существованию одновременно пары диаметрально противоположных точек объекта изобра жения и пары диаметрально противоположных точек фона, т.е. дефекту типа сужение металлизации (фиг.3) или (фиг.4). Чтобы сужение изоляции разделить эти дефекты, данный.сигнал сопоставляется с сигналом от централь ного элемента электронного окна Хд, на элементе И 8 выделяется сигнал, соответствующий дефекту сужение металлизации, а на элементе И 9 - сигнал, соответствующий дефекту сужение изоляции. Сигналы с выходов формирователя 2 последовательностей сигналов х,...,Х2 подаются также на входы элемента И 12, на вьпсоде которого появляется сигнал, если все точки , X ,...,х принадлежат объекту, и на входы элемента ИЛИ-НЕ 13, на выходе которого появляется сигнал, если все точки х,...,Х2 принадлежат фону. Сигналы с выходов элементов VI 12 к ИЛИ-НЕ 13 также сопоставляются с сигналом от центрального элемента электронного окна Хр,и на выходе элемента И 10 появляется сигнал, соответствующий дефекту типа раковина (фиг.5), а на выходе элемента И 11 - сигнал, соответствующий дефекту типа вкрапление (фиг.6)-. Формирователь 2 последовательностей сигналов работает следующим образом. Видеосигнал с телевизионного датчика 1 поступает на девятиразрядньй регистр 15 сдвига, с которого можно снять параллельно девять сигналов, задержанных один относительно другого на 1 такт, и на первую линию 14 задержки, с выхода которой передается на второй регистр сдвига 15, с которого также можно снять параллельно девять сигналов в один момент времени, задержанных один относительно друго.го на 1 такт, таким образом, используя восемь линий 14 задержки и девять регистров 15 сдвига, можно получить одновременно 9x9 сигналов, задержанных друг относительно друга на 1 такт или на 1 строку (электронное окно), в конкретном примере используются сигналы с выходов

Ч

фиг.З

фигЛ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ, содержа-, щее телевизионной датчик, формирователь последовательностей сигналов, вход которого соединен с выходом телевизионного датчика, а выходь - с входами элементов И первой груп1Ш я с входами элементов И второй группы, выходы элементов И первой группы соединены с входами первого элемента ИЛИ, выходы элемента И второй группы - с входами второго элемента ИЛИ, выходы первого и г-торого элементов ИЛИ - с входами первого элемента И, отличающееся тем, что, с целью повышения точности селекции, в него введены второй, третий, четвертый, пятый и шестой элементы И и элемент ИЛИ-НЕ, причем первые входы второго, третьего, четвертого и пятого элементов И соединены с вторым выходом формирователя последовательностей сигналов, первые входы второго и третьего элементов И - с выходом первого элемента И, вторые входьг четвертого и пятого элементов (Л И - с выходом шестого элемента И и С элемента ИЛИ-НЕ соответственно, входы которых соединены с выходами фор.- S мирователя последовательностей сигна- И лов. со а со