Изобре1ение относится к установкам для изготовления отверстий в твердых материалах с помощью сфокусированного пучка понов, имеющим газоразрядный источник ионов, высоковольтный выпрямитель, форвакуумный насос, камеру для размещения просверливаемой детали и кран, регулирующий подачу газа в разрядный промежуток источника ионов.
В известных установках подобного типа источник ионов имеет плсские электроды и работает при низком напряжении, а поэтому создает на выходе пучок медленных ионов с малой плотностью ионного тока и до;: вольно большим диаметром (равным диаметру канала в катоде). Этот пучок для сверления пе годится, поэтому в иопно-оптпческую систему установок приходится включать систему ускорения и специальные линзы для фокусировки пучка.
Для получения хорошего качества фокусировки линзы должны быть изготовлены и ориентированы с большой точностью. В результате установка для сверления отверстий оказывается конструктивно весьма сложной, требует несколько хорошо стабилизированных источников питания и весьма квалифицированного обслуживания.
Настоящее изобретение позволяет упростить установку и ее эксплуатацию.
Это достигается применением в ней двухэлектродного источника положительных ионов, состоящего из холодного плоского катода и полого анода, что позволяет получить хорошо сфокусированный пучок ионов с минимальным диаметром до 3-5(1 непосредственно в источнике ионов без.дополнительных фокусирующих устройств.
Анод установки выполнен с полостью, длина которой превышает ее диаметр пе менее чем в 3 раза, а отношение диаметра выходного отверстия к диаметру полости лежит в пределах 0,35-1.
На чертеже локазан ИСТОЧНИК: ионов установки. :,:.-.
Источник понов установки состоит из неподвижно закрепленного анода / и катода 2, который может ввинчиваться в корпус источника 3,
