Способ устранения фона от некогерентно-рассеянных электронов при дифракционной электронографии Советский патент 1959 года по МПК G01N23/02 H01J29/84 

При диффракционной электронографии электронный пучок, прошедший через исследуемое вешество, кроме электронов, рассеянных без потери скорости и образуюш,их диффракционное изображение, содержит электроны, потерявшие скорость (некогерентное рассеяние). Эти некогерентно-рассеянные электроны образуют на электронограммах фон, который при значительной толщине исследуемых образцов может затемнить диффракционные линии.

Для устранения фона от некогерентно-рассеянных электронов на пути электронного пучка ставят электронный фильтр в виде диафрагмы, находяш ейся под высоким отрицательным потенциалом и создающей для электронов тормозящее поле. Для создания однородного поля в отверстие диафрагмы помещают мелкую металлическую сетку. Такой способ устранения фона обладает сзщественным недостатком: на электроннограмме получается теневое изображение сетки, искажающее распределение интенсивности.

Предлагаемый способ устраняет/ указанный недостаток известных способов, что достигается перемещением пучка рассеянных электронов относительно диафрагмы и регистрацией электронов, прощедщих через диафрагму, приемником электронов с последующим усилением импульсов тока.

Перед приемником электронов включен электронный фильтр, состоящий из трех соосных диафраг.м, расположенных по ходу электронного пучка. На диафрагмы поданы различные потенциалы. iЭлeктpoнный фильтр служит для отфильтровывания электронов, потерявщих скорость и могущих вызвать неправильную работу регистрирующего устройства.

Схематическое изображение устройства, выполненного по описываемому способу, приведено на чертелсе.

Электронный пучок / проецирует диффракционную картину образца .2 на экран. Из диффракционной картины с помощью диафрагмы 3 выделяют узкий пучок 4 электронов. Прошедщие диафрагму 4 электроны