Устройство для фоторазметки линейных шкал Советский патент 1986 года по МПК G12B11/02 

Изобретение относится к приборостроению, а именно к устройствам для изготовления шкал, диф - ракционных решеток, кодовых элементов.

Цель изобретения - повышение точности разметки шкал с любым значением величины шага.

На чертеже изображена схема устройства для фоторазметки линейных шкал.

Устройство содержит источник 1 когерентного света с плоским волновым фронтом, задающий лучом оптическую ось устройства, подвижную вдоль оптической оси платформу 2 с держателем 3 для заготовки со светочувствительным слоем, отражатель 4, закрепленный на платформе 2, расположенные на оптической оси светоделители 5-7, отражатель 8 и фотоприемник 9, расположенные по ходу разделенных светодилетелем 7 лучей, блок 10 управления, представляющий собой делитель частоты периодического сигнала (например ИКЭ-15), электрически подключенный к выходу фотоприемника 9, два электрооптических затвора 11, электрически подключенные к выходу блока 10 управления, расположенные по ходу разделенных светоделителями 5 и 6 лучей, сходящихся на поверхности держателя, отражатель 12, расположенный перпендикулярно лучу, отраженному отражателем 4, причем отражатель 4 крепится под определенным углом Т, а отражатель 12 - под углом 2 IP к оптической оси устройства.

Угол определяется следующим образом:

I. ,-.

)/- (1)

где Д - длина волны света источника;

- период размечаемой шкалы И - целое число. Функцию блока управления вьтол- няет делитель частоты периодического сигнала. Коэффициент деления соответствует величине N , при этом

,

где п - целое число, соответствующее выражению (. I),

213504

m - целое число, показатель перекрытия t экспонированных участков шкалы. Устрбйство работает следующим

5 образом.

Источник 1 света посьтает пучок света через светоделители 5, 6 и 7 на отражатель 4 под определенным углом падения У и на отража10 тель 12 под нулевым углом падения. Основные светоделители 5 и 6 направляют отделенные пучки света через электрооптические затворы 11 в область начала разметки шкалы,

15 для формирования растра (локальной шкалы) на светочувствительном ; слое. Двухлучевой интерферометр, образованный светоделителем 7 и отражателями 4 и 8, через фотопри20 емник 9 дает в блок 10 управления информацию о разности фаз лучей, образующих растр. Разметка производится экспонированием светочувствительного слоя при сдвиге плат25 формы 2 на один (или несколько) . период размечаемой шкалы (шаг растра} , При движении платформы 2 экспонирование производится автоматически, так как блок 10 управ30 ления короткими импульсами открывает электрооптические затворы-11 в моменты времени, когда сдвиг платформы 2 (измеренный интерферометром по разности фаз) точно кратен

35 периоду размечаемой шкалы.

Формула изобретения

Устройство для фоторазметки

40 линейных шксШ, содержащее источник когерентного света, подвижную вдоль оптической оси платформу с держателем для заготовки со светочувствительным слоем, отра45 жатели луча, расположенные на оптической оси светоделители, .блок управления, фотоприемник, электрооптические затворы, при этом один отражатель закреплен на платформе,

50 другой отражатель и один из светоделителей образуют двухлучевой интерферометр, оптический выход которого связан с входом фотоприемника, а выход фотоприемника

J5 через блок управления электрически подключен к электрооптическим затворам, расположенным по ходу отделенных светоделителями лучей.

J1213504 .

сходящихся на поверхности держа-дополнительным отражателем, распотеля, отличающеесяложенным перпендикулярно лучу, отI тем,.что, с целью повьшения точ-раженному закрепленным на платформе

ности разметки шкал с любым знача-отражателем, который расположен

нием величины шага, оно снабжено5 под углом к оптической оси.