Пьезоэлектрический керамический материал Советский патент 1986 года по МПК C04B35/49 

Изобретение относится к материалам, применяемым в радиоэлектронике, в частности, для изготовления пьезокерамических фильтров, работающих на поверхностньк акустических волнах (ПАВ).

Целью изобретения является уменьшение флуктуации скорости поверхностной акустической волны и среднего размера пор.

Шихту готовят в шаровой или вибромельнице. Полученную шихту подвергают обжигу (в ввде брикетов или порошка) при 920+20 С в течение 2-3 ч. Прокаленный материал измель- .чают в порошок с размером частиц не более 3 мкм, добавляют в качестве смазки водный раствор поливинилового спирта и прессуют заготовки, . Например, в виде дисков требуемого размера при давлении 1 -1,5 т/см. Спрессованные заготовки помещают на керамические подножки из диоксида циркония (или оксида алюминия), накрьшают такой же подложкой. Затем .образцы в таком виде или в никелево пакете загружают в печь и спекают при П40-1200 С в течение 2-3 ч. Скорость подъема температуры 150 Как видно из таблицы, введение комплексной добавки ZnBiij 0 в количестве 1,38-1,70 мас.% в цир- конат-титанат свинца состава

РЪ(,,31-о,J,3 позволяет получить пьезоэлектрический ке

200°/ч, охлаждение проводится вместе с печью. Возможно проведение спекания как в камерных печах, так и в туннельных. Кроме того, возможно применение среды кислорода при спекании..Спеченные изделия шлифуют до заданного размера, затем на них наносят электроды/ методом вжигания серебряной пасты при 780+50 С в течение 15-30 мин. Поляризация изделий осуществляется в среде жидкого диэлектрика, например в полиэтилсилоксановой жидкости ПЭС-5 при 100-150 С в постоянном электрическом поле с напряженностью 3-4 кВ/мм. Измерения электрофизических свойств проводят на дисках диаметром 10+0,1 мм и толщиной liiO,l мм по стандартным методикам. Для определения среднего размера пор диски диаметром 50 мм после шлифовки подвергают полировке, а для определения флуктуации скорости ПАВ .по подложке на те же диски с использованием фотолитографии наносят электроды встречно-штьфево- го типа и затем возбуждают ПАВ. Результаты испытаний полученного материала приведены в таблице.

рамический материал с небольшой флуктуацией скорости ПАВ.на керамичес- кой подложке и уменьшенным размером пор dtp при сохранении высоких значений механической добротности QM, коэффициента электромеханической связи КрИ пониженной диэлектри- использовать.этот материал для изго- ческой проницаемости 5 . Та- товления телевизионных фильтров УПЧЗ кое сочетание свойств позволяет на ПАВ, а также для других целей.