Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек Советский патент 1986 года по МПК G01R27/26 

Изобретение относится к радиотехническим измерениям, а именно к неразрушающему -контролю диэлектрической проницаемости подложек в миллиметровом диапазоне длин волн.

Цепь изобретения - повышение точности и упрощение контроля.

На чертеже приведена конструкция устройства, ргеализующего способ не- разрушающего контроля диэлектричес- кой проницаемости подложек.

Устройство содержит диэлектрический волновод 1, возбуждающий подложку 2, и диэлектрический волновод 3, соединенный с индикатором резонансных частот.

Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек осуществляют следующим образом

В подложке 2 с помощью диэлектрического волновода 1, который образует с одним из торцов подложки 2 участок распределенной связи, возбуждают колебания бегущей волны типа Н(5,а где ( и о - порядки резонанса по смежным сторонам подложки 2. По толщине подложки 2 колебание имеет одну вариацию поля, и вектор поляризации электрического поля параллелен плоскостям подложки 2. Колебание типа образуется за. счет последовательного полного отражения поверхностного волнового пучка от всех торцов подложки 2. Направление распространения электро- м гнитной энергии поверхностного волнового пучка показано на чертеже стрелками. С помощью диэлектрического волновода 3 отводят электромагнитную энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и

Редактор Н.Горват Закаэ 1129/54

Составитель Р.Кузнецова

Техред О.Неце Корректор С.Черни.

Тираж 730Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делаем изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПИП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1218343

измерения резонансных частот. Измеряют разность частот между соседними резонансами д f а вычисляют коэффициент замедления групповой ско- 5 рости Угр поверхностной волны Н,- образующей колебания в подложке 2, по формуле

V,

Ч д f - 2 V а 4 Ьг

где С - ркорость света в свободном

пространстве, а и b - длина и ширина подложки 2.

Значение диэлектрической проницаемости подложки вычисляется по известной зависимости по величине и известному значению толщины d подложки 2.

20 Формула изобретения

Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек, заключающийся в возбуждении в подложке электромагнитных колебаний, измерении резонансных частот и вычислении диэлектрической проницаемости подложек, отличающийся тем, что. с целью повышения точности и упрощения контро

ля, в подложке возбуждают электромагнитные колебания бегущей волны типа , где 5 и - порядки резонанса по смежн.ым сторонам подложки, посредством диэлектрического волновода, установленного параллельно одному из торцов подложки, и по разности резонансных частот соседних колебаний вычисляют значение диэлектрической проницаемости подложки по известной зависимости.

Изобретение относится к области радиотехнических измерений. Цель изобретения - поньшение точности и упрощение контроля. Устр-во, реали// зующее способ, содержит диэлектрический волновод (ДБ) 1, возбуждающий подложку (П) 2 и ДБ 3, соединенный с индикатором резонансных частот. В П 2 с помощью ДВ 1 возбуждают колебания бегущей волны типа Н;,- , где S н ( - порядки резонанса по смежным сторонам П 2. С помощью ДВ 3 отводят эл. магн. энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и измерения резонансных частот. Измеряют разность частот между соседними резонансами л f и вычисляют коэф. замедления групповой скорости Vtf поверхностной волны Н, образующей колебания в П2, по фор-ле Га + Ь , где С - скорость света в свободном пространстве, а и b - длина и ширина П2. Значение ди- электрич. проницаемости П вычисляется по известной зависимости. 1 ил. / 2 § (Л ГС 00 со 4 со