Предлагается способ вакуумной обработки фотоэлектронных приборов с полупрозрачным пли непрозрачным катодом на стекле, в которых очувствляющее вещество (например, цезий) распыляют на стенки прибора или ампулы с последующим нанесением его на катод, и устройство для осуществления этого способа, позволяющее производить этот процесс на многопозиционном откачном полуавтомате.
Известен способ вакуумной обработки фотоэлектронных приборов с сурьмяно-цезиевым катодом на стекле, при котором цезий получают нагревом одной таблетки его солей, заключенный в припаянной к прибору стеклянной ампуле, а толщину слоя сурьмы при ее напылении контролируют по исчезновению свечения нити лампы накаливания, за которой наблюдают через напыляемый слоГ; нли на глаз по цвету напыляемого слоя. Такая технология не обеспечивает точной дозировки цезия, так как выход цезия из различных таблеток различен и приводит к значительной неравномерности толщины слоя сурьмы. Поэтому обработку сурьмы цезием (формирование катода) приходится вести в течение врел1ени, различного для приборов одного и того же типа. Повышение чувствительности катода осуществляется пуском в прибор кислорода через систему порционных кранов или капилляров. Все эти операции выполняются на стационарных откачных постах, так как известные откачные полуавтоматы не обеспечивают получение необходимого давления, а известные способы вакуумной обработки фотоэлектронных приборов не позволяют мехапизировать этот процесс.
По предлагаемому способу вакуумная обработка фотоэлектронных приборов с полу ирозрачным или непрозрачным катодом на стекле производится следующим образом. Очувствляющее вещество (например) цезий) получают нагревом нескольких таблеток солей этого вещества.
X 122821
заключенных в обойме, находящейся в стеклянной ампуле или в приборе, а напыление вещества катода (например, сурьмы) производят при непрерывном контроле толщины наныляемого слоя электронным прибором. При этом достигается необходимая стабильность выхода цезия и строго онределенная толщина слоя сурьмы, что позволяет обработку сурьмы цезием (формирование катода) осуществлять прогревом в нечи в течение времени, постоянного для всех приборов данного типа и выбранного так, чтобы световая чувствительность катода достигала наибольшей величины. Чувствительность катода повыщают впуском в прибор через клапан-дозатор определенной порции воздуха.
Описываемый способ вакуумной обработки осуществляется на многопозиционном откачном полуавтомате с подвижными пароструйными насосами, отличающимся от известных тем, что на каждой нозиции полуавтомата между пароструйным насосом и гнездом карусели внутри соединяющего их трубопровода устаповлены охлаждаемая ловущка, наполненная жидким азотом, и клапап-дозатор.
На фиг. 1 изображена схема одной ячейки полуавтомата; на фиг. 2 - конструкция устройства для пуска доз воздуха.
Гнездо / соединено через вакуумные уплотнения 2 с насосом о, трубопроводом 4, служащим одновременно корпусом ловушки, в котором укреплен клапан-дозатор о. Жидкий азот заливается в стакан 6 через трубку 7. Клапан-дозатор состоит из корпуса 8, закрытого крыщкой 9, укрепленной в корпусе ловушки 10. При нормальном положении клапана 1} пружина 12 нрижимает его к верхней резиновой прокладке /.:, и воздух не попадает в корпус ловушки. При нажатии на ручку 14 клапана он прижимается к нижней прокладке 15, и воздух, проходя между крышкой и стержнем клапана, заполняет зазор между корпусом и клапаном. Когда клапан, возвращаясь в нормальное положение, вновь п)кжимается к верхней прокладке, порция воздуха, находившаяся между клапаном и корпусом, входит в откачную систему.
Электронный прибор д.чя непрерывного контроля толщины напь ляемого слоя сурьмы устанавливается на той позиции полуавтомата, где должно быть закончено распыление сурьмы. Прибор состоит из газонаполненной стробоскопической лампы, посылающей с частотой 50 гц световые импульсы длительностью около 100 мк сек. и энергией около 0,5 дж, фотоэлемента и усилителя. Световые импульсы проходят через напыляемый слой и попадают на фотоэлемент, ток которого уменьшается по мере увеличения толщины слоя, что приводит к срабатыванию нспол 1И7ельного устройства и прекращению напыления по достижении заданной величины слоя. Изобретение может быть использовано для механизации вакуумной обработки фотоэлектронных приборов.
Пред м е т н з о б р е т е п и я
1. Способ вакуумной обработки фотоэлегсгронпых приборов с полупрозрачным или непрозрачным катодом на стекле, в которых очувствляющее вещество (например, цезий) распыляют на стенки прибора или ампулы с последующим нанесением его на катод, о т л и ч а ю nj. и йс я тем, что, с целью стабилизации выхода очувствляющего вещества и механизации процесса вакЗумной обработки приборов, очувствляющее вещество получают нагревом заключенных в обойме нескольких таблеток солей этого вещества, вещество катода (например, сурьму) напыляют на стенки колбы при непрерывном контроле толщины напыляемого слоя электронным прибором, катод формируют прогревом в печи в течение времени, постоянного для всех приборов данного тина, и чувствительность катода првыщают впуском в .прибор через клапан-дозатор определенной порции воздуха.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ наполнения газом электровакуумных приборов | 1954 |
|
SU103624A1 |
Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов | 1962 |
|
SU475683A1 |
Способ наполнения водородом электровакуумных приборов с генератором водорода | 1955 |
|
SU103623A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОЩЕЛОЧНОГО ФОТОКАТОДА | 2009 |
|
RU2424597C2 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СУРЬМЯНО-КАЛИЕВО-НАТРИЕВОГО ФОТОКАТОДА | 1984 |
|
RU1314858C |
ИНВЕРСИОННЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ | 1997 |
|
RU2139589C1 |
Способ изготовления сурьмяно-цезиевого фотокатода | 1938 |
|
SU60644A1 |
ФОТОКАТОД | 2006 |
|
RU2351035C2 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЖИГНЫХ ЭЛЕКТРОДОВ ИЗ СПЛАВА 29 НК | 1992 |
|
RU2047665C1 |
Вакуумная система течеискателя | 1991 |
|
SU1779961A1 |
Авторы
Даты
1959-01-01—Публикация
1958-06-26—Подача