Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов Советский патент 1975 года по МПК H01J9/42 

1

Известны устройства для изготовления фотоэлектронных приборов, снабженные испарителем напыляемого на стеклянную подложку металла, системой управления интенсивностью окисления напыленной пленки и камерой для активирования и сенсибилизации поверхности окисленной пленки.

Предлагаемое устройство для изготовления фотоэлектронных приборов отличается от известных тем, что в нем использован блок программирования и управления технологическим процессом, который по величине изменения коэффициента отражения наносимого на подложку слоя управляет процессами напыления металла, окислением нанесенной пленки и процессами ее активирования и сенсибилизации.

Узел контроля толщины напыляемого на подложку металла снабжен фотоэлементом, подключенным к усилителю, который соединен через переключатель с дросселем подмагничивания. Последний включен в цепь управления током испарителя и к реле выключения испарителя.

Узел контроля интенсивности окисления напыленной пленки снабжен фотоэлементом, подключенным к усилителю, соединенному с реле управления электрическими разрядами в окисляющей атмосфере.

Лзел контроля процесса активирования и сенсибилизации содержит управляющее реле, обмотка которого через усилитель подключена к изготавливаемому фотоэлектронному приоору, а контакты включены в цепь питания печи, служащей для возгонки активирующего металла, например цезия.

1акое выполнение позволяет автоматизировать технологический процесс изготовления фотоэлекгронных приооров.

ria фиг. 1 показана олок-схема предлагаелюго устройства; на фиг. 2 - схема олока программирования и управления технологически.1 процессом изготовления фотокатода.

ocTpoiiLiBo (СМ. фиг. 1 состоит и мсхаллическои вакуумной камеры i, к которой присоединяется оораоатываемое изделие z, печи о для оораоотки изделия, оптического приспособления 4 для контроля прозрачности катодного стекла, олока о программирования и управления технологическим процессом и высокочастотного генератора б стрелками показана функциональная взаимосвязь отдельных элементов устройства).

Работа блока программирования и управления технологическим процессом (см. фиг. 2) происходит следующим образом. При включенном оптическом приспособлении для определения прозрачности катодного стекла световой поток проходит через плоское торцовое стекло и часть его, отражаясь от внутренней поверхности стекла, нопадает на фотоэлемент 7.Ток фотоэлемента проходит через входную цепь, подключенную к сеткам двойного триода 8.Сигнал, снимаемый с катодов триода 8, модулируется вибропреобразователем 9 и подается на вход усилителя 10 переменного тока, фазовый детектор 11 и исполнительный механизм 12, прекращающий процесс обработки. Одновременно сигнал с усилителя 10, пропорциональный скорости процесса, поступает на регулирующее устройство 13, обеспечивающее поддержание заданной скорости прохождения процесса. Контроль толщины напыляемого металла осуществляется узлом 14, подключенным к дросселю 15 подмагничивания, который управляет величиной мощности, подводимой к испарителю в зависимости от величины коэффициента отрал ения напыляемой пленки. Процесс окисления нанесенной пленки контролируется отраженным от окисляемого слоя световым потоком, значение которого определяет потенциалы на сетках триода 8. Специальное реле включает высокочастотный генератор, подающий на вход измерительного устройства импульсы, пропорциональные интенсивности отраженного от окисляемого слоя светового потока. Работа реле прекращается тогда, когда световой поток становится неизменным, а следовательно, не меняется и величина подаваемых на измерительное устройство импульсов, что характеризует окончание процесса окисления. Контроль процесса активирования фотокатода осуществляется путем автоматического включения печи для возгонки цезия, регулирования скорости возгонки и прекращения процесса при достижении максимальной чувствительности фотокатода. Процесс сенсибилизации (повышения чувствительности) катодов также осуществляется автоматически путем пуска в камеру небольщих порций кислорода. Па фотокатод направляется постоянный световой поток. Когда фототок увеличивается до определенной величины, срабатывает клапан кислородного канала, подача кислорода прекращается, и процесс сенсибилизации заканчивается. Предмет изобретения Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов, снабженное блоком напыления металла на стеклянную подложку, содержащим испаритель и систему управления работой испарителя, камеру для обезгаживания и обработки поверхности напыленной металлической пленки, печь для возгонки активирующего металла, систему управления интенсивностью окисления напыленной пленки и систему управления активированием и сенсибилизацией напыленной пленки, отличающеес я тем, что, с целью автоматизации процесса изготовления приборов, в нем использован блок программирования, содержащий узел контроля толщины напыляемого на подложку металла, снабженный контролирующим толщину напыляемой пленки фотоэлементом, подключенным к усилителю, соединенному через переключатель с дросселем подмагничивания, включенным в цепь управления током испарителя и к реле выключения испарителя, узел контроля интенсивности окисления напыленной пленки, снабженный фотоэлементом, подключенным к усилителю, соединенному с реле управления электрическими разрядами в окисляющей атмосфере, и узел контроля процесса активирования и сенсибилизации, содержащий управляющее реле, обмотка которого через усилитель подключена к изготавливаемому фотоэлектронному прибору, а контакты включены в цепь питания печи, служащей для возгонки активирующего металла, напри.мер цезия.

/2

y Фиг.2