Источник ионов дуоплазматрона Советский патент 1988 года по МПК H01J27/04 

Описание патента на изобретение SU1233714A1

Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано при разработке источников ионов для ускорителей.

Целью изобретения является повышение яркости и стабильности пучка . ионов.

На чертеже изображен источник ионов.

Источник ионов типа дуоплазмотро- на содержит разрядную камеру 1 с анодным блоком 2, экспандер 3 с эмиссионной сеткой 4 на выходе, а также вытягивающий электрод 5. В экспандере 3 установлен блок сеток, образованный корпусом 6 из диэлектрического материала, в котором закреплены изапированнцэ друг от друга цилиндрические экранные электроды 7. Апертуры- электродов 7 закрыты ceткa ш 8, Экранные электроды 7 установлены со взаимным перекрытием

Источник работает следующим образом..

Плазма, получаемая в разрядной камере 1, истекает через контрагиру

ющее отверстие в анодном блоке 2 и расширяется в экспандере 3. При этом плазма контактируя с каждой из сеток 8., установленных .в экспандере 3, заряжает их до определенного плава

ющего потенциала. В экспандере 3 устанавливается распределение потенциалов, соответствующее принципу минимальной внутренйей энергии плазменного столба, заполняющего экспандер. Взаимная экранировка электродов 7 и защита ими корпуса 6 от выпадения на него ионов препятствует протеканию тока по стенкам корпуса.

В результате плазма при достижеНИИ эмиссионной сетки 4 имеет более вшзкую, чем в известных устройствах, температуру ионов. По этрй причине повышается яркость и стабильность ионного пучка

Похожие патенты SU1233714A1

название год авторы номер документа
ПЛАЗМЕННЫЙ ЭКСПАНДЕР 1989
  • Леонов В.Н.
  • Лобанов Н.Р.
SU1676433A1
ПЛАЗМЕННЫЙ ЭКСПАНДЕР ИЗМЕНЯЕМОГО ОБЪЁМА 2017
  • Андрианов Станислав Леонидович
  • Кулевой Тимур Вячеславович
  • Куйбида Ростислав Петрович
RU2643525C1
ГЕНЕРАТОР ОБЪЕМНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ 2000
  • Семенов А.П.
  • Шаданов А.В.
  • Шулунов В.Р.
RU2175469C1
Газоразрядный плазменный катод 1980
  • Крейндель Ю.Е.
  • Щанин П.М.
  • Толкачев В.С.
  • Гаврилов Н.В.
SU888797A1
ШИРОКОАПЕРТУРНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ЭМИТТЕР 1996
  • Семенов А.П.
  • Нархинов В.П.
RU2096857C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ И МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ 2019
  • Денисов Владимир Викторович
  • Коваль Николай Николаевич
  • Девятков Владимир Николаевич
  • Москвин Павел Владимирович
  • Тересов Антон Дмитриевич
RU2725788C1
ШИРОКОАПЕРТУРНЫЙ ИСТОЧНИК ГАЗОВЫХ ИОНОВ 2007
  • Сергеев Виктор Петрович
  • Параев Юрий Николаевич
  • Яновский Владимир Павлович
RU2338294C1
Источник быстрых атомов для травления диэлектриков 2023
  • Метель Александр Сергеевич
  • Григорьев Сергей Николаевич
  • Волосова Марина Александровна
  • Мельник Юрий Андреевич
  • Мустафаев Энвер Серверович
RU2817564C1
Источник быстрых атомов для равномерного травления плоских диэлектрических подложек 2023
  • Метель Александр Сергеевич
  • Григорьев Сергей Николаевич
  • Волосова Марина Александровна
  • Мельник Юрий Андреевич
  • Мустафаев Энвер Серверович
RU2817406C1
СПОСОБ ГЕНЕРИРОВАНИЯ ИОННОГО ПУЧКА 1992
  • Саблев Л.П.
  • Григорьев С.Н.
RU2038643C1

Реферат патента 1988 года Источник ионов дуоплазматрона

Формула изобретения SU 1 233 714 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1988 года SU1233714A1

Димов Р.И, Савченко О.Я
Мощньй импульсный источник нейтральных атомов и отрицательных ионов водорода
Препринт ИЯФ ео АН СССР.Новосибирск, 196
Габович М.Д
Физика и техника плазменных источников ионов
Насос 1917
  • Кирпичников В.Д.
  • Классон Р.Э.
SU13A1

SU 1 233 714 A1

Авторы

Нижегородцев В.В.

Даты

1988-05-15Публикация

1975-12-01Подача