Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано при разработке источников ионов для ускорителей.
Целью изобретения является повышение яркости и стабильности пучка . ионов.
На чертеже изображен источник ионов.
Источник ионов типа дуоплазмотро- на содержит разрядную камеру 1 с анодным блоком 2, экспандер 3 с эмиссионной сеткой 4 на выходе, а также вытягивающий электрод 5. В экспандере 3 установлен блок сеток, образованный корпусом 6 из диэлектрического материала, в котором закреплены изапированнцэ друг от друга цилиндрические экранные электроды 7. Апертуры- электродов 7 закрыты ceткa ш 8, Экранные электроды 7 установлены со взаимным перекрытием
Источник работает следующим образом..
Плазма, получаемая в разрядной камере 1, истекает через контрагиру
ющее отверстие в анодном блоке 2 и расширяется в экспандере 3. При этом плазма контактируя с каждой из сеток 8., установленных .в экспандере 3, заряжает их до определенного плава
ющего потенциала. В экспандере 3 устанавливается распределение потенциалов, соответствующее принципу минимальной внутренйей энергии плазменного столба, заполняющего экспандер. Взаимная экранировка электродов 7 и защита ими корпуса 6 от выпадения на него ионов препятствует протеканию тока по стенкам корпуса.
В результате плазма при достижеНИИ эмиссионной сетки 4 имеет более вшзкую, чем в известных устройствах, температуру ионов. По этрй причине повышается яркость и стабильность ионного пучка
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ПЛАЗМЕННЫЙ ЭКСПАНДЕР | 1989 |
|
SU1676433A1 |
ПЛАЗМЕННЫЙ ЭКСПАНДЕР ИЗМЕНЯЕМОГО ОБЪЁМА | 2017 |
|
RU2643525C1 |
ГЕНЕРАТОР ОБЪЕМНОЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ | 2000 |
|
RU2175469C1 |
Газоразрядный плазменный катод | 1980 |
|
SU888797A1 |
ШИРОКОАПЕРТУРНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ЭМИТТЕР | 1996 |
|
RU2096857C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ И МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ | 2019 |
|
RU2725788C1 |
ШИРОКОАПЕРТУРНЫЙ ИСТОЧНИК ГАЗОВЫХ ИОНОВ | 2007 |
|
RU2338294C1 |
Источник быстрых атомов для травления диэлектриков | 2023 |
|
RU2817564C1 |
Источник быстрых атомов для равномерного травления плоских диэлектрических подложек | 2023 |
|
RU2817406C1 |
СПОСОБ ГЕНЕРИРОВАНИЯ ИОННОГО ПУЧКА | 1992 |
|
RU2038643C1 |
Димов Р.И, Савченко О.Я | |||
Мощньй импульсный источник нейтральных атомов и отрицательных ионов водорода | |||
Препринт ИЯФ ео АН СССР.Новосибирск, 196 | |||
Габович М.Д | |||
Физика и техника плазменных источников ионов | |||
Насос | 1917 |
|
SU13A1 |
Авторы
Даты
1988-05-15—Публикация
1975-12-01—Подача