Пароводяной диффузионный вакуумный насос Советский патент 1986 года по МПК F04F9/00 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к диффузионным вакуумным насосам.

Цель изобретения - повышение экономичности и уменьшение времени запуска вакуумного насоса.

На чертеже схематически изображен пароводяной диффузионный вакуумный насос.V

Пароводяной диффузионный вакуумный насос содержит корпус 1, испаритель и расположенные в корпусе 1 криогенные поверхности 2, сопло 3, подключенное к испарителю.

Насос снабжен гидравлическим стабилизатором 4, соединенным с испарителем, выполненным в виде электропарогенератора 5, размешенного внутри корпуса.

Пароводяной диффузионный вакуумный насос работает следуюшим образом.

Из корпуса 1 и откачиваемого объема предварительно откачивается газ, и в криогенные поверхности 2 подается жидкий азот. По мере захолаживания поверхности до температуры жидкого азота включается электропарогенератор 5, для чего на него подается электрическое напряжение, а затем внутрь подается вода.

В линию подачи воды включен гидравлический стабилизатор 4, обладаюший значительно большим гидравлическим сопротивлением, чем электропарогвнератор 5.

При включении электропарогенератора 5 из сопла 3 начинает истекать сверхзвуковая

струя водяного пара. Газ со стороны откачиваемого объема захватывается струей и уносится в сторону линии предварительного разрежения, при этом пары воды и откачиваемые газы, конденсируюшиеся при температуре жидкого азота, захватываются криогенной поверхностью, а неконденсируюшие- ся компоненты откачиваются.

Размешение электропарогенератора внутри корпуса насоса позволяет обеспечить хорошую вакуумную теплоизоляцию и дать

экономию электроэнергии. Дозированный расход воды позволяет избежать нагрева излишков воды и снизить время запуска насоса.