Антимиграционное устройство диффузионного вакуумного насоса Советский патент 1986 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к защитным устройствам диффузионных вакуумных насосов.

Цель изобретения - повышение предельного вакуума насоса путем снижения обратного потока паров рабочей жидкости.

На фиг. 1 схематично изображено антимиграционное устройство и его установка в диффузионном насосе; на фиг. 2 - приводные лопатки с фрагментом диска.

Антимиграционное устройство диффузи- онного: вакуумного насоса содержит соосно устанойленные в корпусе 1 с возможностью противоположного вращений диски 2 и 3, имеющие радиальные наклонные прорези 4 и снабженные приводными лопатками. Лопатки дисков выполнены в виде пластин 5 из низкотеплопроводного материала, расположенных группами на противоположных сторонах дисков 2 и 3, причем пластины в каждой группе размещены относительно друг друга с зазором, и одна крайняя пластина с наружной стороны отполирована, а другая пластина зачернена.

Кроме того, устройство снабжено ловущ- кой 6 и размещено над паропроводом 7.

Антимиграционное устройство диффузи- онного вакуумного насоса работает следующим образом.

После вакуумирования корпуса 1 насоса, формирования струй паров рабочей жидкости и захолаживания жидким азотом заливной ловушки 6 диски 2 и 3 начинают вращаться в разные стороны под действием радиометрического эффекта. Различие в направлении вращения обусловлено тем, что пластины 5 дисков 2 и 3 зачернены и полированы одинаково, однако зачерненные пластины 5 диска 2, обращенные к ловущке 6, из-за большей излучательной способности охлаждаются интенсивней, чем полированные пластины. У пластин 5 диска 3, обращенных в сторону нагретого паропровода 7, зачерненные пластины за счет большей по- глощательной способности нагреваются интенсивней, чем полированные пластины.

Благодаря описанному эффекту молекулы остаточного газа сообщают дискам движущие импульсы в сторону более нагретых пластин 5: для диска 2 - в сторону полированных пластин, а для диска 3 - в сторону зачерненных пластин.

При вращении дисков 2 и 3 создается дополнительная ступень откачки, аналогичная ступени турбомолекулярного насоса, препятствующая проникновению паров рабочей жидкости в откачиваемый объем.

Предлагаемое антимиграционное устройство позволяет, не нарушая структуры рабочей струи, обеспечить надежную защиту откачиваемого объема от паров рабочей жидкости, тем самым повысить предельный вакуум.