Способ измерения степени вакуума в отпаянных трех электродных вакуумных приборах Советский патент 1959 года по МПК H01J9/42 

Известны способы измерения стенени вакуума в отпаянных вакуумных приборах. Для массового контроля качества приборов по вакууму применяют способ измерения тока через отрицательно заряженную сетку в режиме, близком к рабочему. Недостаток этого способа состоит в малой чувствительности. Значительно болыней чувствительностью обладает способ катодной модуляции. Однако в случае трехэлектродных систем преимущества способа катодной модуляции теряются.

В описываемом способе указанные недостатки устранены тем, что для измерения вакуума в отпаянных трехэлектродных вакуумных приборах на один из электродов подают положительные импульсы и замеряют на нем электронный ток. Степень вакуума оценивают по отрицательным импзльсам напряжения, снимаемого с другого электрода. Так как положительное напряжение на электрод, ближайший к катоду, подается в виде импульсов, то оно может быть выбрано достаточно большим, что позволяет получить в приборе сильную ионизацию. Правильный выбор длительности импульсов и постоянной времени измерительной цепи обеспечивает высокую защишенность измеряемого ионного тока от влияния емкостного и наведенного токов. Для этого длительность импульса должна быть значительно больше (например на порядок) постоянной, времени измерительной цепи.

Предмет изобретения

Способ измерения степени вакуума в отпаянных трехэлектродны.х вакуумных приборах, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений и отношения сигнал - шум, на ближайший к катоду электрод, например на управляющую сетку, подают положительные импульсы напряжения, а степень вакуума оценивают по амплитуде импульсов напряжения, появляющихся при этом на другом отрицательно заряженном электроде.