Способ измерения толщины покрытия Советский патент 1986 года по МПК G01B15/02 

«

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, з частности к области исследования материалов с помощью отраженного излучения, и предназначено для измерения толщины покрытия.

Цель изобретения - повьппение точности измерения толщины покрытия переменного состава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия.

На чертеже изображено устройство для реализации предлагаемого способа. .

Измерение толщины покрытия осуществляют сл едующим образом.

Потоками рентгеновского излучения одной энергии рентгеновских источников 1 и 2 облучают контролируемое изделие со стороны покрытия 3 и со стороны основания 4. Со стороны источников излучения относительно конт золируемого изделия регистрирую интенсивность рассеянного излучения детекторами 5 и 6 (1 и 1). Между источником 1 излучения детектором 5 пред)зарительно устанавливают защитный экран 7 толщиной, обеспечивающей защиту детектора 5 от прямого излу- чения источника 1 и от попадания квантов рассеянного в покрытии излучения в детектор 5. Защитный экран 8, такой же как и экран 7, обеспечивает заш.иту детектора 6 от прямого излучения источника 2 и одинаковые условия измерения йнтенсивностей рассеянного излучения детекторами 5 и 6. Определяют логарифм отношения интенсивности рассеянного излучения I , регистрируемой детектором 5, и интенсивности рассеянного излучения Тд, регистрируемой детектором 6 с помощью блока 9 и индицируют выходным прибором 1 о

Еп(-- ,i, i

. п/ -

j,,m/ Р ГО

где f-i - коэффициент ослабления материала покрытия для первой энергии облучения Е; m толщина покрытия,.

Вапичи 1а tn - зав1 сит от состава

- -1 . покрытия д, и от толщины покрытия т.

Указанное измерение проводят последовательно в нескольких точках контролируемого изделия и фиксируют

5

0

5

0

5

минимаг№ную величину логарифма отношения . По предварительно снятому графику зависимости энергии облуче- ния Е, для которой толщина покрытия является насыщенным слоем, от

- определяют энергию облучения Е . -м

Устанавливают на рентгеновском источнике 1 напряжение питания, обеспечивающее энергию облучения второй энергией Е, облучают потоком рентгеновского излучения этой энергии контролируемое изделие со стороны покрытия 3. Регистрируют интенсивность I рассеянного в покрытии излучения детектором 5, для чего экран 7 устанавливают в положение, обеспечивающее показание квантов рассеянного в покрытии излучения в детектор 5, а коммутатор Л 1 - в положение, обеспечивающее поступление сигнала с детектора 5 на выходной показывающий прибор 12

где .,,- коэффициент ослабления материалом покрытия излучения энергии Е ; К - функция рассеяния, не зависящая от энергии облучения.

Умножают величину интенсивности I на логарифм отнощения величин йнтенсивностей, зарегистрированных детекторами 5 и 6 при начальной энер-. гии облучения Е.:

40

-г 9п J.n,

и определяют толщину покрытия по

« A:I,,.fn - ,

где А коэффициент пропорциональности, получаемый от предварительно построенного графика, который имеет вид линейной функции.

55

Формула изобретения

Способ измерения толщины покрытия, заключающийся в том, что контролируемое изделие облучают пучком рентгеновского излучения, регистрируют интенсивность рассеянного излучения от основания без покрытия и интенсивность рассеянного излучения от основания с покрытием, находят их отношение и определяют толщину покрытия, отличающий- с я тем, что, с целью повышения точности измерения толщины покрытия переменного состава, по величине найденного отношения интенсивностей рассеянного излучения определяют энергию, для которой толщина покрытия является насьш;енным слоем, пучком рентгеновского излучения указанной энергии облучают контролируемое изделие со стороны покрытия, регист2458814

рируют интенсивность рассеянного излучения и определяют толщину покрытия m по формуле

m АГ En -- ,

где А - коэффициент пропорциональности;

I - интенсивность рассеянного в покрытии излучения при определенной энергии пучка рентгеновского излучения; I , - интенсивности рассеянного 1 излучения пучка рентгеновс- кого излучения от основания без покрытия и с покрытием .

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытия. Цель изобретения - повышение точности измерения толщины покрытия переменного состава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия. Облучают изделие со стороны покрытия и со стороны основания рентгеновским излучением одной энергии и регистрируют интенсивности (соответственно I и 1) рассеянного излучения. Определяют логарифм отнощения интенсивностей I и 1, величина которого зависит от состава покрытия /и и от толщины покрытия ш. Измерение проводят последовательно в нескольких точках, фиксируют минимальную толщину логарифма отношения и определяют толщину покрытия по формуле m A I,n , где J - интенсивность рассеянного в покрытии излучения; А - коэффициент пропорциональности, получаемый от предварительно построенного графика, имеющего вид линейной функции. 1 ил, i (Л to li СД СХ) 00

7//7/ Ж)9Я7//////////У///9,

/

Составитель В.Парнасов Редактор А.Козориз Техред М.Ходанич Корректор В.Бутяга

3985/31

Тираж 670Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4