1
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при создании приборов газового анализа, в частности датчиков для определения мышьяковистого водорода ( - арсина).
Цель изобретения - повышение чувствительности измерений.
На чертеже изображен датчик для определения арсина.
Датчик содержит электроды 1, растрового типа, выполненные, например, из нихрома. Электроды 1 размещены на ситалловой подложке 2, на котору нанесен тонкий слой 3 хлорированного фталоцианина меди.
Датчик работает следующим образом
Датчик помещается в BaKyj Hyro ячейку, которая откачивается до остаточного давления 10 мм рт.ст. После отжига при 373 К в течение 20- 30 мин измеряют стационарное значение начального тока через образец (ток постоянный, напряжение 50 В), Затем в ячейку напускают последовательно арсин и воздух до общего давления 760 мм рт.ст., проводят измереi6096«i600009QiS 06 9666«m 09006
Составитель Г.Боровик Редактор Е,Папп Техред г.Гербер Корректор И.Муска
Заказ 4229/45 Тираж 778Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
249425
ние стационарного значения тока в присутствии газовой смеси, Регенерацию датчика проводят в мягких условиях: нагрев датчика до 330-335 К. и продувка ячейки сухим воздухом в течение 10 мин. Наблюдается полная обратимость начального тока после регенерации.
.Значительное изменение силы тока при взаимодействии арсина с чувствительным слоем позволяет измерять давление арсина в интервале 0- 10,0 мм рт.ст. Чувствительность дат- чика на основе хлорированного фталоцианина меди составляет (3,7± to,4) 10 А/мм рт.ст.
20
Формула изобретения
Датчик для определения арсина, содержащий подложку с полупроводниковым слоем и электроды, о т л и - чающийся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений, полупроводниковый слой вьтолнен из хлорированного фталоцианина меди.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Датчик для определения арсина | 1990 |
|
SU1756810A1 |
| Датчик для определения арсина | 1984 |
|
SU1193557A1 |
| ДАТЧИК ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГИДРИДОВ АЗОТА И ИХ ПРОИЗВОДНЫХ В ГАЗОВЫХ СРЕДАХ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ГАЛОГЕНИРОВАННЫХ МЕТАЛЛОКОМПЛЕКСОВ ПОРФИРИНОВ | 1998 |
|
RU2172487C2 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ДАТЧИКА ДЛЯ АНАЛИЗА АММИАКА В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ | 2000 |
|
RU2172951C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ДАТЧИКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ МЕТАНА В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ | 2002 |
|
RU2231052C1 |
| Датчик сероводорода | 1990 |
|
SU1789915A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА ДЛЯ АНАЛИЗА СЕРОВОДОРОДА В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ | 2002 |
|
RU2231053C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ДАТЧИКА ГАЗОВ | 1994 |
|
RU2065602C1 |
| ДАТЧИК СОДЕРЖАНИЯ АММИАКА В ВОЗДУХЕ | 2001 |
|
RU2205378C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АРСИНА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2008 |
|
RU2369666C1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения мышьяковистого водорода (арсина). Датчик для определения арсина содержит,ситал- ловую подложку с нанесенными на нее электродами. Для повышения чувствительности измерений в качестве детек- тирукщего слоя используют тонкий слой хлорированного фталоцианина меди. Чувствительность датчика (3,7, itО,4) 10 А/мм рт. ст. 1 ил. N9 4ib QD 4ib to сл
| Способ определения параметров пограничных состояний на границе раздела полупроводник - диэлектрик | 1986 |
|
SU1429848A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| Датчик для определения арсина | 1984 |
|
SU1193557A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
