Отражательный электронный микроскоп Советский патент 1959 года по МПК H01J37/29 H01J29/56 

Известны отражательные электронные микроскопы. Недостатком этих N HKpocKonoB является на.чичие в них хроматической аберрации юстировки.

Описываемый отражательный электронный микроскоп не имеет указанного недостатка. В нем для устранения хроматической ошибки юстировки применена установленная после линз микроскопа за аиертурной диафрагмой электростатическая или электромагнитная призма, поле которой перпендикулярно оптической оси микроскопа и может меняться по величине и направлению. Меняя напряжение на электродах призмы (электростатическая призма) или ток в обмотках-(электромагнитная призма), можно менять ее корректирующее действие. Меняя ориентацию поля призмы в плоскости, перпендикулярной оптической оси, можно найти направление коррекции. Принцип работы призмы ясен из схем, приведенных на фиг. 1 (электростатическая призма) и фиг. 2 (электромагнитная призма).

Предмет изобретения

Отражательный электронный микроскоп, отличающийся тем, что, с целью устранения хроматической аберрации юстировки, за его формирующими изображение линзами установлена электростатическая или электромагнитная призма, создающая поле, перпендикулярное оптической оси микроскопа, и корректирующая осесимметричное поле изображения.