Магнитная проекционная линза со сменными полюсными наконечниками Советский патент 1975 года по МПК H01J29/64 

Предметом изобретения является магнитная проекционная линза со сменными полюсными наконечниками для электронных микроскопов.

В известных линзах того же назначения механизм для смены полюсных наконечников располагается в пространстве между объективом и обмоткой проекционной линзы. Вследствие этого в самой важной, с оптической точки зрения, зоне первой ступени увеличения возникает асимметрия поля, связанная с наличием железных масс (нерабочие полюсные наконечники) вблизи оптической оси, что служит непосредственной причиной ухудшения разрешающей способности электронного микроскопа. Кроме того, посредством вращаюш,егося барабана-держателя полюсных наконечников не удается установить рабочий полюсный наконечник так, чтобы его ось симметрии с достаточной точностью совпадала с оптической осью линзы.

В предлагаемой линзе указанные недостатки устраняются. В не механизм для смены полюсных наконечников располагается в проекционном тубусе (т. е. в менее важной зоне второй ступени увеличения), и в этом механиЗ Ме имеется дополнительное приспособление для перемещения полюсных наконечников из держателя в канал линзы и установ ки их в канале в фиксированном положении, симметричном относительно обмотки проекционной линзы.

На фиг. 1 и 2 представлена магнитная проекционная линза. Здесь: 1 - корЛус линзы; 2 - обмотка линзы; 3 - рабочий полюсный наконечник; 4-барабан-держатель сменных полюсных наконечников, расположенный в пространстве проекционного тубуса; 5 - нерабочий лолюсный наконечник.

Вращением рукоятки 6, приводящей во взаимодействие пару конических щестерен 7, устанавливают гнездо барабана с очередным полюсным наконечником непосредственно под каналом линзы. Вращая рукоятку 8, которая приводит щестерню 9 во взаимодействие с зубчатой

98157- 2 -

рейкой 10, закрепленной на втулке 11, несущей нолюсный наконечник 3, устанавливают полюсный наконечник в канале линзы симметрично относительно обмотки 2.

Удаление наконечника из канала линзы осуществляется посредством вращения той же рукоятки 8 в обратном направлении.

Предмет изобретения

Магнитная проекционная линза со сменными полюсными наконечниками для электронных микроскопов, отличающаяся тем, что, с целью улучщения оптических свойств линзы, механизм для смены полюсных наконечников расположен в проекционном тубусе и в этом механизме имеется дополнительное приспособление для перемещения полюсных наконечников из держателя в канал линзы и установки их в канале в фиксированном положении, симметричном относительно обмотки проекционной линзы.