Ахроматизированный электронный микроскоп Советский патент 1959 года по МПК H01J37/26 H01J29/56 H01J29/70 H01J29/80 

Известны ахроматизированные электронные микроскопы. В подобных устройствах ахроматизация электронного микроскона основывается на фильтрации электронов, формирующих изображение, по скоростям. В качестве фильтра используется тормозящая часть поля одиночной электронной линзы. Однако эти линзы обладают большими хроматическими аберрациями и, несмотря на то, что разброс скоростей электронов, используемых для получения изображения, уменьшается, суммарная аберрация практически не убывает.

В описываемом микроскопе указанный недостаток устранен тем, что на пути сформированного электронного изображения установлена диафрагма с отверстием. Диаметр отверстия соответствует разрешаемому расстоянию. Через отверстие с помощью развертывающего устройства пропускаются пучки электронов, которые формируют изображение. Пучки электронов преобразуются в последовательность токовых импульсов, которые через монохроматор поступают на усилитель и далее на регистрирующее устройство. Развертка регистрирующего устройства синхронизирована с разверткой изображения микроскопа. Для исправления -возможного масштабного искажения амплитуда развертки регистрирующего устройства в одном направлении должна быть больще амплитуды развертки в другом направлении во столько раз, ВО сколько увеличение в первом из направлений меньше, чем во втором.

Конструкция описываемого микроскопа показана на чертеже.

Электронное изображение, сформированное в колонне 1 микроскопа, попадает на экран 2, имею-щий отверстие 3. Диаметр отверстия соответствует разрешаемому расстоянию. Пучки электронов, формирующие изображение рассматриваемого участка, преобразованные после отверстия 3 в последовательность токовых импульсов, через монохроматор 4 попадают на вход усилителя тока 5. Снимаемые с выхода усилителя 5 сигналы усиливаются широкополосным усилителем напряжения 6 и воздействуют на регистрирующее устройство 7. В качестве регистратора может быть использован кинескоп или приемник фототелеграфного аппарата.