Компенсатор для контроля вогнутых асферических зеркал Советский патент 1986 года по МПК G01B11/24 G02B17/08 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля вогнутых асферических зеркал.

Целью изобретения является повы- шение точности контроля за счет уменьшения децентрировки линз компенсатора.

На чертеже показана принципиальная схема компенсатора,

Компенсатор содержит первую вогнутую линзу 1, вторую вогнутую линзу 2 каждая из которых вьтолнена с одной вогнутой сферической поверхностью, линзы 1 и 2 установлены одна по отношению к другой таким образом, что их вершины расположены на одной оси. Вторые поверхности обеих линз вьшол- нены сферическими вьтуклой формы,, на каждую из сферических поверхностей линз 1 и 2 нанесены марки 3 и 4„Линзы ориентированы вогнутыми поверхностями друг к другу и установлены между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности,.

На чертеже также показаны точечный источник 5 монохроматического из;гучения, светоделительная пластинка 6, контролируемая вогнутая сферическая поверхность 7, регистрирующая система 8.

Устройство работает следующим образом.

Предварительно юстируют между собой пространственно разнесенные линзы 1 и 2 кo шeнcaтopa, Для этого подсвечивают точечным источником 5 одну из марок (например 3). Наблюдают в микроскоп (не показан) со стороны вьтуклой поверхности линзы 1 автоколлимазщонное изображение марки 3 после отражения части излучения от вогнутой поверхности линзы 2., Перемещая и наклоняя одну из линз 1,2, добива5отся совмещения изображения марки с самой маркой.

Проверяют совмещение автоколлимационного изображения марки 4 с самой

маркой для линзы 2. Добиваются совмещения каждой марки со своим автоколлимационным изображением, устраняя децентрировку линз компенсатора. Затем направляют излучение от точечного источника 5 света. Гомоцентрический волновой фронт от точечного источника 5 отражается от светодели- тельной пластинки 6, последовательно проходит через линзы 1 и 2 компенсатора, деформируясь ими, отражается от контролируемой асферической поверхности 7. В обратном ходе излучения он вновь проходит линзы 1 и 2 компенсатора и светоделительную пластинку 6 и соб -рается в без аберрационной точке А. Локальные погрешности контролируемого зеркала переносятся на Волновой фронт в удвоенном масштабе. Отраженньй волновой фронт регистрируют системой 8 регистрации, например интерферометром.

После расшифровки интерферограммы получают ошибки волнового фронта, проецируемые на контролируемое зеркало.

Формула изобретения

Компенсатор для контроля вогнутых асферических зеркал, состоящий из двух одинаковых линз, каждая из которых выполнена с одной вогнутой сферической поверхностью, линзы установлены одна по отношению к другой таким образом, что их вершины расположены на одной оси, отличающ и и с я тем, что, с целью повышения точности контроля, другие поверхности обеих линз выполнены сферическими выпуклой с маркой, нанесенной на каждой из сферических поверхнос-

тей линз, ориентированных вогнутыми поверхностями одна к другой и установленных между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля вогнутой сферической поверхности. Целью изобретения является повьшет ие точности контроля. Компенсатор состоит из двух одинаковых линз, каждая из которых выполнена с одной вогнутой сферической поверхностью, линзы установлены одна по отношению к другой таким образом, что их верши{ш расположены на одной оси, вторые поверхности обоих линз выполнены сферическими выпуклой фор- мы с маркой, нанесенной на каждой из сферических поверхностей линз, ориентированных вогнутыми поверхностями друг к другу и установленными между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности. Марки предназначены для вставки вершин линз на одну ось. Для этого последовательно подсвечивают одну из марок, строят ее изображение, отражаемое от вогнутой поверхности другой линзы, наблюдают смещение автоколлимационных изображений марки и по величине смещения ориентируют линзы, добиваясь устранения их децентрировки,1 ил. (Л to СП 4 tsD СО СО

Составитель Н.Солоухин Редактор А.Долинич Техред А.Кравчук Корректор А.Обручар

Заказ 4709/43 Тираж 670Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4