Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей Советский патент 1982 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСЮ1Х ПОВЕРХНОСТЕЙ

. I . Изобретение относится к контроль но-измерительной технике, предназначено для -контроля формы вьтуклых сферических поверхностей, и может быть использовано преимущественно в производстве, занятом изготовлением крупногабаритных оптических деталей.. Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащим монохроматический источник света, осветительную систему, светоделитель объектов, компенсатор, сферическое зеркало и регистра тор интерференционной картиныГП. Недостатками известного интерферометра являются сложность конструкции, обусловленная наличием боль шого количества оптических элементов, а также снижение точности контроля за счет ошибок формы неконтролируемой поверхности линзы и неоднородности стекла, из которого она изготовлена. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является интерферометр для контроля фррмы выпуклых сферических поверхностей, содержащий монохроматический источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему, светоделитель, объектив, выпукло-вогнутую менисковую линзу и регистратор интерференционной картины, оптически сопрягаемый через светоделитель с контролируемой поверхностью 2 Недостатком известного интерферометра является сложности конструкции,, обусловленная наличием объектива, диаметр которого превьшает диаметр контролируемой поверхности. Цель изобретения - упрощение конструкции интерферометра. Указанная цель достигается тем, что менисковая-линза выполнена положительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.

На чертеже приведена принципнальная схема интерферометра для контроля формы вьтускных сферических поверхностей.

Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему 2, светоделитель 3, выпукло-вогнутую менисковую линзу 4 и регистратор 5 интерференционной картины. Регистратор 5 оптически сопрягается через светоделитель 3 с контролируемой поверхностью 6, ориентируемой концентрично вогнутой поверхности менисковой линзы 4.

Менисковая линза 4 выполнена положительной, а на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.

Интерферометр работает следующим образом.

Источник 1 и осветительная систему 2 формируют сферический волновой , который проходит светоделител 3, преломляется выпуклой поверхностью менисковой линзы 4, последовательно отражается от светоделитель-, ных, нанесенных на ее вогнутую и выпуклую поверхности, и распространяется по нормалям к вогнутой поверхности. Вогнутая поверхность менисковой линзы 4 является эталонной, а нанесенное на нее светоделительное покрытие делит паданнций по нормалям к этой поверхности волновой фронт на две части.

Одна часть отражается от вогнутой поверхности менисковой линзы 4 и представляет собой опорной волновой фронт, другая часть проходит эту поверхность и представляет собой рабочий волновой фронт, который падает

ПО нормалям на контролируемую поверхность 6, отражается от нее и интерферирует с опорным волновым фронтом на вогнутой поверхности менисковой линзы 4. Получаемая интерференци онная картина несет информацию об ошибках формы контролируемой поверхности 6 и фиксируется регистратором 5.

Нанесение светоделительного покрытия на поверхности менисковой линзы, выполненной положительной, позволяет упростить конструкцию интерферометра за счет исключения объекта. ;

Формула изобретения

Интерферометр для контроля формь выпуклых сферических поверхностей, сдержащий монохроматический источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему, светоделитель, объектив, выпукл о-в огнутзпо менисковую линзу и регистратор, интерференционной картины, оптически сопрягаемый через светоделитель с контролируемой поверхностью, о т л и ч а ю щ и и с я. тем что, с целью упрощения конструкции, менисковая линза выполнена положительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительнбе покрытие.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

К. Авторское свидетельство СССР 448347, кл. G 01 В 9/02, 1972.

2. Коломийцов Ю. В., Духонел И.И. Бесконтактный интерференционный мето контроля сферических поверхностей линз. Оптика и спектроскопия, 1956,т.1 , вып. 1, с. 94-101 (прототип);