Способ работы высоковакуумного адсорбционного насоса Советский патент 1986 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам эксплуатации адсорбционных насосов.

Цель изобретения - снижение энергозатрат путем сокращения времени запуска и уменьшения теплопритоков.

Способ реализуется следующим образом.

В качестве адсорбента используют, например, двуокись ванадия VOg, имеющую температуру фазового перехода 343К. Запуск насоса осуществляется путем нагрева двуокиси ванадия до 363К. При этой температуре двуокись ванадия находится в фазе «металл и интенсивно поглощает газы, поступающие в насос. При насыщении поверхности вещества адсорбентом осуществляют его охлаждение до температуры 338К, что приводит к переходу вещества из фазы «металл в фазу «полупроводник, в которой адсорбционные характеристики значи- с тельно хуже. В результате происходит десорбция газа с поверхности вещества, т.е. регенерация адсорбента в насосе. Далее цикл повторяется.

Диапазон температур обеспечивает пол- 10 ный переход вещества из одной фазы в другую, а небольшая разница в температурах адсорбции и десорбции позволяет снизить энергозатраты в процессе эксплуатации насосов, использующих в качестве адсорбента ,2 вещество с фазовым переходом металл-полупроводник.