Способ работы молекулярного насоса Советский патент 1989 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к способам получения вакуума при помощи молекулярных средств откачки. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса. Входной и выходной патрубки 2, 3 разделены перегородкой 4. По оси корпуса 1 размещен охлаждаемый ротор 5, снабженный сорбирующим покрытием 6, расположенным на наружной поверхности ротбра 5 и выполненным в виде материала с фазовым переходом металл-диэлектрик. В зоне патрубка 2 расположено устройство 7 для воздействия на покрытие 6. При вращении ротора 5 и воздействии на покрытие 6 в зоне патрубка 2 осуществляют переход материала в фазу металл. Адсорбированные молекулы, попадая вместе с ротором в зону патрубка 3, десор- бируются вследствие прекращения воздействия устройства 7 и перехода материала в фазу диэлектрик при т-ре охлаждения на 2-5° ниже т-ры фазового перехода. Фазовый переход в зоне патрубка 2 осуществляют путем нагрева материала до т-ры, превышающей Т ру фазового перехода, либо путем воздействия на материал электростатическим или магнитным полем. Обеспечение захвата молекул в зоне патрубка 2 и десорбция их в зоне патрубка 3 позволяют улучшить скоростные характеристики насоса. 3 з.п.ф-лы, 1 ил. S (Л