Эллипсометр для измерения толщины поверхностных слоев и оптических свойств образцов Советский патент 1986 года по МПК G01J4/04 

Изобретение относит(;я к измерительной технике, связанной с оптическими методами измерения оптических свойств изотропных и анизотропных однослойных и многослойных отражающих систем.

Целью изобретения является расширение области применения на проведение иммерсионных измерений при больших углах падения света.

На чертеже изображена принципиальная схема эллипсометра.

Эллипсометр содержит тубус 1 падающего света и тубус 2 отраженного света, крыщ- ки 3 и 4, полые трубки 5 и 6, вставленные в направляющие втулки 7 и 8 каждого из тубусов, оптические окна 9 и 10 из плавленного кварца прикрепленные к торцу каждого тубуса, мягко гофрированную кювету 11 с дном 12 для размещения образца 13. Кювета расположена на предметном столике 14 и жестко с ним соединена. На дне кюветы имеется отверстие со штуцером, который соединен с резиновым резервуаром 15 с помощью щланга 16, причем последний может пережиматься зажимом 17. В резервуаре 15 помещена иммерсионная жидкость 18. Крыщ- ка 19 (с отводной трубкой 20 и зажимом 21 на ней) закрывает кювету при работе с ток- сичными жидкостями.

Эллипсометр работает следующим образом.

Во время измерений на воздухе иммерсионная жидкость 18 находится в резервуа- ре 15, а щланг 16 пережат зажимом 17. При необходимости иммерсионных измерений зажим 17 снимают, жидкость из резер

вуара 15 вытесняют в кювету таким образом, чтобы ее уровень находился выще оптических окон 9 и 10. Затем измерение проводится по обычной методике как на воздухе, что обеспечивается мягко гофрированными стенками кюветы.

При увеличении угла падения гофрированные боковые стенки кюветы сжимаются, в противоположном случае - разжимаются. Избыток воздуха под крыщкой 19 отводится с помощью отводной трубки 20 при открытом положении зажима 21. Описанная процедура в любой жидкости занимает примерно такое же время, как и на воздухе. Кроме того, отсутствие ограничения на диаметр кюветы обеспечивает удобную настройку образца к падающему и отраженному световому пучку.

Формула изобретения

Эллипсометр для измерения толщины поверхностных слоев и оптических свойств образцов, содержащий тубус падающего света и тубус отраженного света, установленные под углом друг к другу, кювету для размещения образцов, расположенные на торцах тубусов, обращенных к кювете, оптические окна, предметный столик, отличающийся тем, что, с целью обеспечения применения для иммерсионных измерений при больщих углах падения света, стенки кюветы выполнены мягко гофрированными, тубусы герметично прикреплены к ним, а дно кюветы жестко закреплено на предметном столике.

12

Составитель В. Яков.лев

Редактор Н. ГорватТехред И. ВересКорректор Т. Колб

Заказ f)216/37Тираж 778Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, связанной с оптическими методами из.мерения оптических свойств изотропных и анизотропных ОДНОС.ЮИНЫХ и МНОГ()СЛО11ных отражающих систе.м. Цель 113()О) ния - повышение удобства в работе и возможность проведения измерений на любых изотропных и анизотропных от|К1 1 аю1цих системах при любых бол1)111их уг.чах падения вплоть до 90°. CyniHOCTb изобретения зак.чю- чается в том, что в э. 1.1инсо% стре л. 1я li.iMC- рения толщины и оптических cBoiicr-ri ойрал цов, содержаигем тубус падающс ciier;; и тубус отраженного света, устанои.юипыо под угло.м дру1 к дру1 у, и кювет для размещения образца, оптические окна расположены на торцах тубх сон. o6| iaiucii ibi ix кювете, тубусы герметично iipiiKfieih ioiib: к NUii - ко гофрировапныл стенкам кюнс Т,, д/ю которой жестко зак| )ег1,1е;1о на про.тмотном сто.1пке. I H.i. ю К5 С5 О 05 со