Устройство для определения адгезии металлических пленок Советский патент 1986 года по МПК G01N19/04 

пачивает на угол 90

жидкость ц ПОПСМ.

riJiocKOCTTi поляризации проходящего через нее .линейно-поляризованного излучения .Отраженный от поверхности 7 и преломленный зеркалом 9 поток излучения тгопадает через поляризатор 12 на приемник 10 поляризованного излучения. Скрещенные поляризаторы 11 и 12 позволяют измерять

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для определения адгезии- ме- таллическчк пленок.

Цель изобретения - повышение точности определения адгезии металлических пленок к поверхности подложек, выполненных из оптически прозрачных материалов.

На чертеже показана схема предлагаемого- устройства.

Устройство содержит подложку 1 из оптически прозрачного материала, одна из поверхностей которой предназначена для нанесения на нее металлической пленки, держатель 2 подложки 1, ванну 3 без дна, установленную на держателе 2 и заполненную жидкой средой, в качестве которой использована гиротропная жидкость 4, например спиртовой раствор сахара, источник 5 ультразвуковых колебаний, концентратор 6, установленный в ванне 3 со стороны подложки 1, предназначенной для нанесения на нее металлической пленки, обращенная к подложке 1 поверхность 7 которого выполнена зекальной, и регистрирующую систему, выполненную в виде источника 8 поляризованного излучения, установ- ленногб вне ванны 3 напротив концен тратора 6 по другую сторону от подложки 1, полупрозрачного зеркала 9, установленного под острым углом к подложке 1, приемника 10 поляризованного излучения и двух скрещенных поляризаторов 11, 12, один из ткото- рых установлен между полупрозрачным зеркалом 9 и источником 8 поляризованного излучения, а другой - между

769

только интенсивность потока излучения, прошедшего через зоны раз- р шеиия пленки 16, и получать информацию о кинетике и степени ее разрушения. Полупрозрачное зеркало 9, .установленное под острым углом к подложке 1, обеспечивает посьшку излучения на приемник 10 поляризованного излучения. 1 ил.

полупрозрачным зеркалом 9 и приемником 10 поляризованного излучения.

Подложка 1 является дном ванны 3.

Источник 8 поляризованного излу- чения выполнен в виде ксеноновой лампы 13 и линзы 14, а приемник 10 поляризованного излучения выполнен в. виде матрицы 15 фотодиодов, электрически связанной с системой (на чертеже не показана) обработки, данньк.

Устройство работает следующим образом.

Подложку 1 с нанесенной на нее металлической пленкой 16 устанавливают на держателе 2 и закрывают ею дно ванны 3. Ванну 3 заполняют гиротропной жидкостью 4, Включают источник 8 и приемник 10 поляри- зованного излучения и проводят юстировку оптической системы и про- ектирование оптического изображения поверхности раздела подложка - металлическая пленка на поверхности датчиков матрицы 15 фотодиодов. Включают источник 5 ультразвуковых колебаний, концентратор 6 которого передает колебания гиротропной жидкости 3, под действием которой в металлической пленке 16 возникает нарушение ее сплошности и появляются зоны разрушения. При этом поток излучения от ксеноновой лампы 13, пройдя через фокусирующую линзу 14 и поляризатор 11, попадает на полупрозрач- ное зеркало 9 и частично отражается а оставшаяся часть потока излучения проходит через подложку 1 на поверхность, раздела подложка - металлическая пленка. При отсутствии зон разрушения металлической пленки 16

поток излучения отражается и полностью задерживается поляризатором 12, при наличии зон разрушения металлической пленки 16 поток излучения проходит через металлическую пл ку 16 и попадает в гиротропную жидкость 4, которая начинает поворачивать плоскость поляризации. Дли- , ну оптического пути излучения в гиро тропной жидкости подбирают такой, чтобы после выхода из подложки 1 Поток излучения имел плоскость поляризации, повернутую на угол 90 по отношению к потоку, падающему на поверхность металлической пленки 16 Поток излучения попадает на зеркальную поверхность 7 концентратора 6, отражается от нее и, вторично пройдя зоны разрушения металлической пленки 16, преломляется зеркалом 9 в направлении поляризатора 12. После прохождения потока через поляризатор 12 его интенсивность целико определяется сплошностью металлической пленки 16, и поток приобретает состояние, удобное для отражения на матрице 15 фотодиодов приемника 10 поляризованного излучения.

Выполнение рабочей поверхности 7 концентратора 6 зеркальной позволя- ет использовать ее одновременно в качестве зеркала регистрирующей системы и в качестве средства для воздействия на жидкую среду и возбуждения в ней колебаний высокой частоты.

Выполнение жидкой среды гиротроп ной, т.е. способной вращать плоскость поляризации проходящего через нее линейно-поляризованного излучения, позволяет изменять плоскость поляризации излучения, падающего на приемник 10.

Установка скрещенньк поляризаторов 11 и 12 позволяет измерять только интенсивность света, прошедшего через зоны разрушения пленки, и получать информацию о кинетике и.

Редактор М.Товтин

Заказ 5220/41

Тираж 778 Подписное ВНРШПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

s О t5 20 25

зо

0

5

степени разрушения пленки 16 и плотности рапределения разрушений по ее поверхности. Полупрозрачное зеркало 9 регистрирующей системы, установленное под острым углом к подложке 1, обеспечивает возможность посылки излучения, дважды прошедшего через жидкую среду и исследуемую пленку приемник 10 поляризованного излучения.

Формула изобретен1(я

Устройство для определения адгезии металлических пленок, содержащее подложку из оптически прозрачного материала, одна из поверхностей которой предназначена для нанесения на нее металлической пленки.деожатель подложки , ванну, установленную на держателе и заполненную жидкой средой, источник ультразвуковых колебаний, концентратор которого установлен в ванне со стороны подложки, предназначенной для нанесения на нее металлической пленки, и регистрирующую систему, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, подложка является дном ванны, обращенная к подложке поверхность концентратора выполнена зеркальной, в качестве жидкой среды использована гиротропная жидкость, а регистрирующая система выполнена в виде источника поляризованного излучения, установленного вне ванны напротив концентратора по другую сторону от подложки, полупрозрачного зеркала, установленного под острым углом к подложке, приемника поляризованного излучения и двух скрещенных поляризаторов, один из которых установлен между полупрозрачным зеркалом и источником поляризованного излучения, а другой - между полупрозрачным зеркалом и приемником поляризованного излучения.

Составитель В. Свиридов

Техред М.Ходанич ,Корректор Л.Дилипенко