Электронно-лучевая печь Советский патент 1960 года по МПК H05B7/00 H01J37/07 

Известны электронио-лучевые печи, у которых для получения высоких температур используется энергия электронов, испускаемых высоковольтным катодом. Недостатком таких печей является то, что продукты испарения нагреваемого объекта, оседая на стенках печи и токоведущих ее частях, загрязняют их, вызывая утечку тока и короткие замыкания.

Кроме того, площадь нагрева в печи ограничена узким пучком электронов, нагревающих данный объект.

В описываемой печи эти недостатки устранены тем, что место нагреваемого объекта отделено от источника электронов устройством, выполненным в виде одной или нескольких воронок с патрубками для откачки газов из камеры, затрудняющим прохождение к нему газов от места плавления, а для рассеивания электронного потока, с целью увеличения площади нагрева объекта, применен электромагнит, расположенный перед входом в камеру.

На чертеже схематически изображена электронно-лучевая печь.

Катод / укреплен на изоляторе 2, поставленном на электромагнит 3, соединенный с заземленным плюсом источника напряжения, ускоряющего электроны. При помощи этого электромагнита электронный пучок, проходящий через отверстия в центре полюсных наконечников, фокусируется в узкий луч, проходящий через воронки 4, из промежутков между которыми воздух (или другой газ) откачивается насосами, подключенными к патрубкам 5. Число воронок определяется целевым назначением печи и мощностью насосов. Нижняя воронка снабжена вакуум} ым краном 6 с камерой 7, в которой происходит под влиянием электронной бомбардировки плавление и испарение объекта, помещаемого в нее через съемное дно с соответствующим уплотнением. Стенки и дно камеры делают двойными и охлаждают проточной водой в печах большой мощности.

№126204-2Для осаждения испаряемого объекта в камеру вставляют плотно пригаанный к охлаждаемым стенкам камеры металлический съемный цилиндр 8. Для увеличения площади нагрева под чраном 6 помещена электромагнитная линза Р, рассеивающая электроны. Изменяя силу тока, в обмотке электромагнитной линзы меняют величину рассеяния электронного пучка. Можно также заставить электронный луч огибать объект, увеличивая тем самым площадь нагрева посредством помещенных над камерой электромагнитов, питаемых многофазным током, создавая бегущее магнитное поле, воздействующее на электронный луч описываемой печи.

Предмет изобретения

1.Электронно-лучевая печь, отличающаяся тем, что, с целью предохранения высоковольтной IHHTH ее и токоподводов от загрязнения продуктами испарения обрабатываемого объекта, место, где помещается последний, отделено от источника электронов устройством, затрудняющим прохождение к нему газов из места плавления.

2.Форма выполнения электронно-лучевой печи по п. 1, отличающаяся тем, что устройство, затрудняющее прохождение газов, выполнено в виде одной или нескольких воронок с патрубками для откачки газа из камеры, где плавится объект, и из промежутков между воронками, с целью создания между камерой и источником электронов ступенчатого перепада давления.

3- Форма выполнения электронно-лучевой печи по пп. 1 и 2, отличающаяся применением расположенного перед входом в камеру, где плавится объект, электромагнита, рассеивающего электронный поток, с целью увеличения площади «агрева объекта.