Изобретение относится к измерительной технике а именно к пьезоэлектрическим частотным датчикам механических величин. Известны пьезоэлектрические частотные датчики усилий, содержащие два дифференциальных резонатора с возбуждающими электродами, выполненные в пластине из пьезоэлектрического материала, имеющие измерительную схему с частотным выходом l . Однако эти устройства не обладают необходимой чувствительностью. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устрой ство для измерения усилий, содержащее пьезоэлектрическую пластину с пе ремычками, на которые нанесены электроды, соединенные с измерительной схемой 2 . Недостатком известного устройства является низкая величина максимапьно го полезного изменения частоты резонаторов, ограниченного сравнительно малым запасом статической устойчивос ти конструкции пластины. В результате малой величины полезного сигнала относительная нестабильность датчика обусловленная, например, влиянием старения или изменения температуры, оказывается недопустимо большой, а точность измерения - низкой. Цель изобретения - повышение чувствительности . Поставленная цель достигается тем что в устройстве для измерения усиJшй, содержащем пьезоэлектрическую пластину с перемычками, на которые нанесены электроды, соединенные с измерительной схемой, перемычки имеют форму утоньшенных участков пластины, образованных углублением, выполненньм в ней так, что толщина перемычек не превышает половины толщины пластины причем перемычки смещены одна относительно другой в плоскости пластины, а также по толщине относительно средней плоскости плас тины на расстояние, не менее полови ны толщины перемъпки. Перемычки могут быть также смеже ны по.толщине относительно средней плоскости в противоположных направл ниях. На фиг.1 изображено предлагаемое устройство, вид сверху; на фиг.2 сечение А-А на фиг.1; на фиг.3 - се08-р; на фиг.1; на фиг. 4 - эпюры деформадий в- пластинах, Устройстро содержит пьезоэлектрическую пластину 1, в которой посредством углублений 2 и 3 образованы перемычки 4 и 5. На перемычки нанесены пары электродов 6 и 7, соединенных с измерительной схемой. Пластина закреплена в основании датчика 8, а на ее край действует измеряемое усилие F. Устройство работает следующим образом. При воздействии измеряемого усилия F (в указанном на фиг.2 и 3 направлении) пластина подвергается поперечному изгибу, при котором нижняя часть пластины сжимается, а верхняярастягивается. Если толгцина перемычки не превышает половины толщины пластины, а перемычка смещена относительно средней плоскости пластины на расстояние, не менее половины толщи- ны перемычки, то (фиг.4) она вся либо сжимается как перемычка 4 , либо растягивается (перемычка 5). В результате частота резонатора либо увеличивается, как для резонатора, образованного электродами 6, либо уменьшается - как для резонатора, образованного электродами 7. С помощью измерительной схемы измеряются резонансные частоты резонаторов и производится вычитание резонансных частот генераторов, составляющих в этом случае дифференциальную схему. Поскольку края перемычек как бы жестко защемлены в пластине, перемычки обладают большим запасом статической устойчивости, что способствует получению максимальных значений полезной девиации частоты резонаторов, а следовательно., и повьшгению точности датчика, Предлагаемая конструкция обладает и высокой чувствительностью, так как при изгибе пластины в ней, а следовательно, и в перемычках, возникают большие механические напряжения. Вследствие того, что толщина перемычек может быть выбрана очень малой, но не меньше толщины, соответствующей пределам прочности материала на растяжение и статической устойчивости перемычек на сжатие, напряжения в них могут быть очень велики. Технологически более удобно выполнять перемычки, смещенные в одинако- 12(S230S
BOM направлении. Поэтому на практике могут быть испольяованы оба варианта конструкции устройства в зависимости от конкретной ситуации.
По сравнению с известным предлагаемое техническое решение позволяет повысить точность и чувствительность датчика практически на порядок.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УСИЛИЯ | 1990 |
|
RU2020437C1 |
ЧАСТОТОРЕЗОНАНСНЫЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ ДАТЧИКА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ | 2018 |
|
RU2679640C1 |
Пьезоэлектрический манометр для статических измерений | 2023 |
|
RU2808718C1 |
ЧАСТОТОРЕЗОНАНСНЫЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ И ЧАСТОТОРЕЗОНАНСНЫЙ ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ | 2017 |
|
RU2690699C1 |
Пьезоакселерометр с частотнымВыХОдОМ | 1978 |
|
SU794546A1 |
Устройство для измерения усилий | 1975 |
|
SU514212A1 |
ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ЧАСТОТНОГО ПЬЕЗОДАТЧИКА МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН | 1972 |
|
SU351300A1 |
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА ЛИНЕЙНЫХ СИЛ СЖАТИЯ-РАСТЯЖЕНИЯ | 2009 |
|
RU2401999C1 |
Датчик силы | 1984 |
|
SU1167452A1 |
ЕМКОСТНОЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, УСТАНАВЛИВАЕМЫЙ НА ПОДСТАВКЕ (ВАРИАНТЫ), СНИЖАЮЩАЯ ДАВЛЕНИЕ ПОДСТАВКА И СПОСОБ АНОДНОГО СОЕДИНЕНИЯ ДВУХ ПЛАСТИН | 1993 |
|
RU2120117C1 |
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УСИЛИЙ, содержащее пьезоэлектрическую пластину с перемычками, на которые нанесены электроды, соединенные с измерительной схемой, о т л и чающееся тем, что, с целью повышения чувствительности, перемычки имеют форму утоньшенных участков пластины, образованных углублением, вьтолненным в ней так, что толщина перемычек не превьшает половины толщины пластины, причем перемычки смещены одна относительно другой в плоскости пластины, а также по толщине относительно средней плоскости пластины на расстояние, не менее половины толщины перемычки. 2. Устройство поп.1,отли-, чающееся тем, что перемычки смещены по толщине относительно сред-, ней плоскости в противоположных направлениях. (Л $i Т1 Фи. /
/-/
6-6
фиг. 2
v
J
f(
л )Л
if
V
фиг.З
фиг Л
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Малов В.В | |||
Пьезорезонансные датчики | |||
- М.: Энергия, 1978 | |||
Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов | 1917 |
|
SU2A1 |
Устройство для измерения усилий | 1975 |
|
SU514212A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1986-10-07—Публикация
1982-11-04—Подача