Раствор для химического фрезерования нержавеющей стали Советский патент 1986 года по МПК C23F1/04 

Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к химическому фрезерованию нержавеющих сталей мартенситного и переходных классов и может быть использовано в. различных областях при изготовлении масок для фотохимического фрезерования. Цель изобретения является повышение качества обработки. Пример 1. Готовят раствор из 80 мл соляной кислоты (,19), 40 МП серной кислоты (,84) и 70 мп азотной кислоты (,,4), 810 мл воды с растворенным в ней О,1 г мездрового клея и 1 г ронгалита. Полученный раствор перемешивают и проводят процесс химического фрезерования заготовок из нержавеющей стали. Раствор имеет следующий состав, мае.ч.: Соляная кислота (,19)8,58 Серная кислота (,84)6,83 Азотная кислота (,4)0,09 Мездровый клей0,0093 Ронгалит0,093 Вода75,7 , Процесс химического фрезерования заготовок из нержавеющей стали, например масок, осуществляют при 60 С скорости фрезерования 20 мкм/мин, продолжительности процесса 3-5 мин, Ронгалит представляет собой натриевую соль формальдегидсульфоксило вой кислоты, растворимую в воде, и имеет формулу CHj(OH)SOjNa. , Качество поверхности и неровност края оцениваются визуально под микроскопом. С каждым составом прово. дилось по 3 опытов фрезерования отверстий. Маски, изготавливаемые с помощью предлагаемого раствора, используются для создания электродной металли зации на камертонных кварцевых пьез элементах, напьшением через них в вакууме,. Неровность края R для таких масок составляет 15 мкм. Маск с Rj. 15 мкм непригодны, так как ре ко уменьшается выход годных кварцевых резонаторов из-за замыкания напыленных площадок. Неровность края для масок, изготовленных с помощью раств.ора по при меру 1, составляет 14 мкм. Пример 2. Раствор готовят аналогично примеру 1 из 380 мл соляной кислоты (,19), 70 мл серной кислоты (d 1,84), 380 мп азотной кислоты (d 1 ,4) , 6 г мездрового клея, 5 г ронгалита и 170 мл воды. Раствор имеет следующий состав, мае, ч, : Соляная кислота34,95 Серная кислота9,95 Азотная кислота41,11 Мездровый клей ,0,46 Ронгалит0,39 Вода13,13 Неровность края R для масок, изготовленных с помощью раствора по примеру 2 составляет 10 мкм. Пример 3. Раствор готовят аналогично 1тримеру 1 из 450 мл соляной кислоты (,19), 100 мл серной кислоты (,84), 440 МП азотной кислоты (,4), 12 г мездрового клея, 10 г ронгалита и 10,0 мл воды, Раствор имеет следующий состав, мае,ч.: Соляная кислота39,1 Серная кислота13,43 Азотная кислота45,0 Мездровый клей0,8 Ронгалит0,78 Вода1,0 Неровность края R для масок, изготовленных с помощью раствора по примеру 3, составляет 11 мкм. Для получения сравнительных данных параллельно проводится фрезерование масок из нержавеющей стали известным раствором, в котором вместо ронгалита используется тропеолин 0001, Результаты сравнительных испытаний даны в таблице. Как видно из таблицы, неровность края края отверстий при обработке в предлагаемом растворе меньше, чем при обработке в известном растворе, и находится в пределах допускаемой величины (R 15 мкм). Формула изобретения Раствор для химического фрезерования нержавеющей стали, содержащий соляную, серную, азотную кислоты, мездровый клей, активирующую добавку и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки, он в качестве активирующей

31268636

добавки содержит ронгалит при следу-, ющем соотношении компонентов, мае.ч,: Соляная кислота

(,19 г/см) 8,58-39,1 Серная кислитас

(,84 г/см)

6,83-13,43

9,09-45,0

0,0093-0,8 0,093-0,78 1,0-75,7

Изобретение относится к хими:ческой обработке металлов, в частности к химическому фрезерованию нержавеющих сталей, .и может быть использовано в различных областях : при изготовлении масок для фотохимического фрезерования. Цель изобретения - повышение качества обработки за счет получения более ровного края отверстия - достигаетсятем, что используется раствор, содержащий .соляную, серную и азотную кислоты, мездровый клей, активирующую добавку и воду. В качестве активирующей добавки используют ронгалит при следующем соотношении компонентов, мае. ч.: соляная к-та (d- 1,19 г/см) 8,58-39,1; серная к-та (,84 г/см) 6,83-13,43; азот-, ная к-та (,4 г/см) 9,09-45,0; мездровый клей 0,0093-0,8; ронгаi лит 0,093-0,78; вода 1,0-75,7. Неровность края для масок, изготов(Я ленных с помощью такого раствора, составляет мкм. Маски с мкм непригодны, так как резко снижается выход годных кварцевых резонаторов. 1 табл.