Способ изготовления датчика Холла Советский патент 1987 года по МПК G01R33/07 

Изобретение относится к технике измерения магнитных полей и может быть использовано для изготовления высокоточных и стабильных датчиков Холла.

Целью изобретения является повышение точности путем снижения остаточного напряжения Холла и повьпие- ние его стабильности.

На чертеже представлена схема датчика Холла.

К токовым контактам 1, расположенным на пластине Холла 2, подключен внешний источник питания, создающий ток через датчик, а к холлов- ским электродам 3, расположенным в области холловских контактов 4, поключен измеритель напряжения; лазерный рез показан цифрой 5,

В отсутствие внешнего магнитного поля датчик Холла без лазерного реза 5, включенный в измерительную схему, имеет остаточное напряжения Холла, связанное с неэквипотенциаль- ностью Холловских контактов 4, что также эквивалентно несбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика.

Определяя холловский контакт 4 с большим потенциалом, проводят лазерный рез 5 в сторону токового электрода 1 с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного напряжения Холла, начиная лазерный рез 5 от середины холловского электрода 3 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока при достижении остаточного напряжения Холла заданной минимальной величины Если при этом не достигнуто.минимальное значение остаточного напряжения Холла, то дополнительно проводят лазерный рез 5 от середины холловского электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону токового электрода 1 с меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая вдоль линий тока при достижении остаточного напряжения Холла заданной минимальной величины. Тем самым добиваются сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла. Лазерные резы проводят вне активной области пластины Холла, не нарушая входного сопротивления датВНИИПИ Заказ 7896/42

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

д

соответственно его режим

to

290215

чика и работы.

Начало лазерного реза перпендикулярно линиям тока позволяет более 5 эффективно уменьшать остаточное на- пряже ие Холла. Кроме того, окончание лазерного реза вдоль линий тока позволяет повысить временную и температурную стабильность датчика Холла, связанную с возникновением и ; развитием микротреш 1н при проведении лазерного реза. Микротрещины, имеющие преимущественное направление вдоль направления лазерного реза, особенно в области его окончания, оказывают меньшее влияние на входное сопротивление датчика Холла, если лазерный рез заканчивают вдоль линий тока.

Таким образом, проведение лазерного реза в соответствии с изобретением позволяет снизить остаточное напряжение Холла до 0,01 мВ, что в 5 раз меньше, чем у прототипа, а также не менее чем в 2 раза позволяет увеличить стабильность датчика Холла.

Изобретение допускает автоматизацию изготовления датчика Холла.

f5

20

25

30

35

Формула изобретения

Способ изготовления датчика Холла, включающий изготовление пластины Холла, проведение лазерного реза

40

на пластине Холла при одновременном измерении остаточного напряжения Холла, отличающийся тем, что, с целью повьш1ения точности путем снижения остаточного напряжения Холла и повьштения его стабильности, лазерный рез ведут центра холловского электрода с большим потенциалом остаточного напряжения Холла, начиная его перпендикулярно линиям тока и направляя в сторону т окового электрода с большим потенциалом, или лазерный рез ведут от центра колловского электрода с меньшим потенциалом остаточного напряжения

50 Холла, начиная его перпендикулярно линиям тока и направляя в сторону токового электрода с меньшим потенциалом, причем лазерный рез проводят вне активного участка пластины Хол55 ла.

45

752

Подписное

Изобретение относится к технике измерения магнитных полей. Цель - повышение точности измерения и повышение его стабильности. Способ изготовления датчика Холла реализован в устройстве, имеющем пластину Холла 2, на которой размещены токовые (Т) 4 электроды 1, холловские (X) злектро ды 3 и X контакты 4, внешний источник питания, датчик, измеритель напряжения (И). Цель достигается тем, что, определяя X контакт 4 с большим потенциалом, проводят лазерный рез (ЛР) 5 в сторону Т электрода I с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного II Холла, начиная ЛР 5 от середины X злектро- да 3 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока при достижении остаточного Н Холла заданной минимальной величины. Если при этом оно не достигнуто, то дополнительно проводят ЛР 5 от середины X электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону Т электрода 1 с меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая, как в первом случае. Тем самым добиваются сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла. Изобретение позволяет снизить остаточное Н Холла до 0,01 мВ и в два раза увеличить его стабильность. I ил. i (Л