Способ изготовления высоковольтного диода Советский патент 1987 года по МПК B23K1/12 

1 1

Изобретение относится к производству полупроводниковых высоковольтных диодов, применяемых, например, в блоках строчной развертки цветных телевизоров.

Цель изобретения - упрощение операции определения полярности столбиков.

На фиг.1 изображен пакет пластин с дополнительной пластиной из порис- того никеля, разрез; на фиг.2 - зависимость процента лома столбиков при резке пакета алмазными дисками от процента пористости никеля; на фиг.З схема расположения кассет и магнита при рассортировке столбиков по полярности.

Способ изготовления высоковольтного диода заключается в следующем.

Пластины 1 с р-п-переходом соби- рают в пакет с размещением между ними припоя 2, К одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину

3из пористого ферромагнитного материала, например из никеля, с порис- тостью не менее 30%, Всю сборку паяли в ванне с расплавленным припоем. Спаяный пакет разрезали по линиям

4реза алмазным диском на столбики

с последующим травлением и промывкой.

Ферромагнитный материал должен хорошо смачиваться оловянно-свинцовыми припоями. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может быть пропитан припоем с большим содержа- нием свинца, стойким к смеси кислот, что позволяет вести травление столбиков без вытравливания его ферромагнитного элемента.

I

Пористый ферромагнитный материал,

пропитанный свинцовосодержащим припоем, можно разрезать алмазными дисками, не разрушая структуры столбиков, и травить столбики в смеси кислот, не вытравливая ферромагнитного элемента.

Благодаря протяженности столбика, содержащего ферромагнитный элемент на одном своем конце, в магнитном поле создается момент сил, ориентирующий столбик и притягивающий его к магниту.

Способ упрощает определение поляр кости столбика, поскольку кристаллы ориентированы между собой, а ферромагнитный элемент может быть расположен у одного из его полюсов.

5

О

0

0

5

0

.j

Q

5

352

Пример. Способ опробован fta участке изготовления высоковольтного диода типа КЦ 117. В качестве ферромагнитного элемента применена лента из пористого никеля толщиной 50 мкм. Из этой ленты вырезали диски с диаметром, равным диаметру кремниевых пластин, используемых при изготовле- НИИ высоковольтных диодов, к одному из полюсов пакета, состоящего из : , 10-ти пластин, присоединяли диск из пористого никеля и всю сборку спаивали в ванне с расплавленным припоем ПОС-5. Спаянный пакет разрезали алмазным диском на столбики, затем травили, промывали, защищали и сушили.

Опробованию подвергали никелевые . пластины с широким диапазоном пористости от 10 до 80%. Выявлено, что ломка столбиков при резке пакета пластин и при травлении значительно зависит от процента ее пористости (фиг.2).

Из фиг.2 видно, что пористость никелевой пластины должна быть не менее 30%.

В магнитном поле полученные столбики ориентировались и притягивались к магниту 5 одним концом„ Проверка полярности на опытных.столбиках с помощью электрических измерений подтвердила 100%-ную точность определения их полярности в магнитном поле.

При определении полярности могут быть использованы 2 кассеты: в одной кассете 6 для размещения столбиков выполняют сквозные вертикальные отверстия с магнитным дном. На первую кассету соосно накладывают вт.орую 7, также имеющую гршиндрические углубления по длине столбика. Всю систему переворачивают и во вторую кассету ссыпаются столбики с противоположной полярностью.

предлагаемый способ позволяет определять полярность столбиков на ранней стадии изготовления диодов, например н епосредственно после резки пакета пластин на столбики. Это дает возможность комбинировать длину полупроводниковой структуры путем спаивания в кассетах двух и более коротких столбиков между собой перед травлением нарушенного слоя. Последнее упрощает технологию .получения высоковольтных полупроводниковых структур и уменьшает габариты прибора.

Формула изобретения

1. Способ изготовления высоковольтного диода, включающий спаивание ориентированных пластин с р-п-перехо- 5 дом в пакет, резку пакета на столбики, травление столбиков и определение полярности столбиков перед соединением их между собой и к выводам, отличающийся тем, что,

с целью упрощения операции определения полярности столбиков, перед спаиванием в пакет к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину из пористого смачиваемого при- погм ферромагнитного материала с пористостью не менее 30%.

2. Способ ПОП.1, отличающийся тем, что в качестве фер- ромагнитйого материала берут никель.

Изобретение относится к области производства полупроводниковых высоковольтных диодов. Целью изобретения является упрощение операции определения полярности столбиков. В способе изготовления высоковольтного диода при сборке под пайку к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину из пористого смачиваемого припоем ферромагнитного-материала, преимущественно из никеля, с пористостью не менее 30%. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может быть пропитан припоем с большим содержанием свинца, стойким к смеси кислот. Это позволяет вести травление диодных столбиков без вытравливания его ферромагнитного элемента. Пористый ферромагнитный материал, пропитанный свинцовосодержа- щим припоем, можно разрезать алмазными дисками, не разрушая структуру столбиков, 1 з.п. ф-лы, 3 ил. с S (Л

pJA;; ;: .-:K-;i :-i;j; ;--: ;iva ;-; : ;M

;Редактор Е.Копча

Составитель Л.Абросимова

Техред А.Кравчук Корректор О.Луговая

Заказ 703/16Тираж 976Подписное

ВНИИПИ Государственного комитет а СССР

по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. А/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4