Устройство для измерения толщины слоев многослойной движущейся полимерной пленки Советский патент 1987 года по МПК G01B11/06 

11 и фотоприемник 12. Фильтр 11 выделяет излучение с длиной волны, которая попадает в спектральную область поглощения излучения контролируемым пленки 15. Сигнал на входе фотоприемника 12 зависит от толщины контролируемого слоя пленки 15. Другая часть пучка проходит через светоделитель 6 и формирователь 7 пучка излучения, через интерференционный .фильтр 8 и попадает на фотоприемник 9. Фильтр 8 выделяет в потоке излуче- ние с длиной волны вне спектральной области поглощения излучения ,контроИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины отдельных слоев многослойной полимерной пленки в процессе ее производства в химической, радиотехнической и электронной промышленности.

Цель изобретения - повьшение точности измерения за счет исключения ошибок, вызванных тем, что на пути пучков с разными длинами волн могут оказаться участки с разной толщиной контролируемого слоя, когда неконтролируемая запыленность или дефект на пути одного из пучков понижает точность измерения.

На чертеже изображена принципиальная схема предложенного устройства.

Устройство содержит последовательно расположенные источник 1 широкополосного электромагнитного излучения, модулятор 2, конденсатор, включающий линзы 3 и 4, щель 5, светоделитель 6, формирователь 7 пучка излучения, интерференционный фильтр 8, фотоприемник 9, расположенные на пути пучка, прошедшего через светоделитель 6, второй формирователь 10 пучка излучения, интерференционный фильтр 11, второй фотоприемник 12, расположенные на пути пучка, отраженного от светоделиг тельной грани светоделителя о, блок 13 обработки сигнала и регистрирующий блок 14.

Устройство работает следующим образом.

03816

лируемым слоем пленки 15, Сигнал на выходе фотоприемника 9 зависит от ослабления потока другими слоями, отра- жения и рассеяния полимерной пленкой 15 падающего на нее излучения и не зависит от толщины контролируемого слоя. Сигналы с фотоприемников 9 и 12 попадают в блок 13 обработки сигнала одновременно и несут информацию « об одном и том же участке пленки 5. С выхода блока 13 обработки сигнал, пропорциональный толщине контролируемого слоя, выводится на регистрирующий блок 14. 1 ил.

5

0

5

0

5

. Широкополосное электромагнитное излучение от источника 1, модулиро,ванное по амплитуде модулятором 2, попадает на линзу 3 конденсора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку 15 и линзой 4 конденсора фокусируется на щель 5. Прошедший через щель 5 пучок разделяется светоделителем 6

на два. Часть пучка отражается от поверхности светоделителя 6 и формирователем 10 пучка излучения направляется последовательно на интерференционный фильтр 11 и фотоприемник 12. Фильтр 11 выделяет излуче ние с длиной волны, которая попадает в спектральную область поглощения излучения контролируемым, слоем пленки 15, Сигнал на входе фотоприемника 12 зависит от контролируемого слоя пленки .15. Другая часть пучка проходит через светоделитель 6 и формирователь 7 пучка излучения через интерференционный фильтр 8 и попадает на фотоприемник 9. Фильтр 8 выделяет в потоке излучение с длиной волны вне спектральной области поглощения излучения контролируемым слоем пленки 15. Сигнал на выходе фотоприемника 9

зависит от ослабления потока другими слоями, отражения и рассеяния полимерной пленкой 15 падающего на нее из- л учения и не зависит от толщины контролируемого слоя.

Сигналы с фотоприемников 9 и 12 попадают в блок 13 обработки сигнала одновременно и несут информацию об одном и том же участке пленки 15. С выхода блока 13 обработки сигнал, пропорциональный толщине контролируемого слоя, выводится на регистрирующий блок 14.

Таким образом, устройство позволяет измерять толщину отдельных слоев движущейся многослойной полимерной пленки 15.

Формула изобретения

Устройство для измерения толщины слоев многослойной движушейся полимерной пленки, содержащее последовательно расположенные источник широкополосного электромагнитного излучения, модуРедактор М.Келемеш

Составитель Л.Лобзова

Техред Н.Глущенко Корректор С.Черни

Заказ 1295/39 Тираж 678Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

.Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Прректная, 4

лятор, конденсатор, формирователь пучка излучения, фотоприемник, блок обработки сигнала и регистрирующий блок, интерференционные фильтры, один из которых предназначен дпя выделения излучения в области полосы поглощения контролируемого слоя, а другой- в области его прозрачности, о т - лич ающее ся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено светоделителем, установленным между конденсором и формирователем пучка излучения, вторым фор- мироаателем пучка излучения и вторым фотоприемником, последовательно рас- .воложенными на пути пучка, отраженного от светоделительной грани светоделителя.

Изобретение относится к изме|эи- тельной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения. Широкополосное электромагнитное излучение от источника 1, модулированное по амплитуде модулятором 2, попадает на линзу 3 конденсатора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку I5 и линзой 4 конденсатора фокусируется на щель 5. Прошедший через щель 5 пучок разделяется светоделителем 6 на два. Часть пучка отражается от поверхности све- тодечителя 6 и формирователем 10 пучка излучения направляется последовательно на интерференционный фильтр с ICt /4