Способ получения проводящего слоя на поверхности керамики из двуокиси титана Советский патент 1960 года по МПК H01C17/10 

Настоящее изобретение относится к способам получения проводящего слоя на поверхности керамики нз двуокиси титэна путем восстановления последней в атмосфере водорода.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что восстановление двуокиси титана осуществляют путем бомбардировки поверхности керамики ионами водорода или его изотопов в газовом разряде.

Такой способ обеспечивает .получение слоев с повышенной проводимостью.

При получении проводящего слоя на поверхности частично восстановленной керамики, обладающей объемной проводимостью, эта поверхность подвергается указанной обработке непосредственно путем введения керамики в качестве катода в установку, создающую затрудненiibiii электрический разряд в сильном магнитном иоле или тлеющий разряд в атмосфере водорода или его изотопов. В случае создания такого слоя на непроводящей керамике на поверхность ее накладывают редкую еетку из тонкой проволоки (диаметр проволоки 0,1 мм; размер ячейки - 3x3 мм, которая служит для частичного отвода зарядов, образующихся на поверхности керамики при поступлении на нее ионов. Применение такой сетки способствует ускорению процесса образования проводящего слоя и обеспечивает ббльщую его однородность. Сетка должна быть изготовлена из материала, который подвергается минимальному распылению в условиях газового разряда (например из молибдена). В результате такой обработки-на поверхности керамики образуется слой толщиной менее 1 ,ик, обладающий значительной электропроводностью. Слой имеет бархатисточерный цвет и состоит преимущественно из гидридов титана.

Толщина проводящего слоя может регулироваться изменением условий разряда. При малых плотностях тока разряда и холодных катодах

№ 130556- 2 получается тонкий резко ограниченный слой. При больших плотностях тока или искусственном подогреве обрабатываемой керамики получается более толстый слой вследствие диффузии водорода вглубь керамики.

Предмет изобретения

1.Способ получения проводящего слоя на поверхности керамики из двуокиси титана путем восстановления последней в атмосфере водорода, отличаюпдийся тем, что, с целью обеспечения возможности получения слоев, обладающих повышенной проводимостью, указанное восстановление осуществляют путем бомбардировки поверхности керамики ионами водорода или его изотопов в газовом разряде.

2.Прием осуществления способа по п. 1, отличающийся тем, что в случае получения проводящего слоя на непроводящей керамике на ее поверхность в период обработки накладывают редкую проволочную сетку, служащую для отвода зарядов и способствующую ускорению процесса образования однородного проводящего слоя.