СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ОКИСНО-МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯВСЕСОЮЗНАЯ1 л ПАТЕНТНО- 1 л'" Советский патент 1969 года по МПК C03C17/34 

Изобретение относится к проводящим окисно-металлическим покрытиям на поверхности изделий из стекла, керамики и других материалов.

Известно, что связанный в приповерхностных слоях покрытия кислород оказывает значительное влияние на проводимость покрытия; удаление атомов кислорода приводит к повышению ее.

По предложенному способу атомы кислорода удаляют обработкой покрытий в анодном столбе тлеющего разряда, создаваемого в газовой среде, не содержащей кислорода.

Для защиты покрытия от проникновения кислорода на его поверхность наносят слой неорганического, бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния.

Электронная и ионная бомбардировка, которой подвергается поверхность окисно-металлического покрытия, помещенного в плазму тлеющего разряда (анодный столб), приводит к быстрому и эффективному удалению связанных атомов кислорода и к существенному повышению электропроводности покрытия. Температура подложки, на которую нанесено покрытие, в процессе обработки может быть снижена путем простого отвода тепла.

ность неорганического, бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния, которое закроет доступ кислороду к поверхности окисно-металлического покрытия.

Для стеклянных образцов размером 40X40X5 мм с прозрачным проводящим покрытием окиси индия толщиной 0,5 мкм и удельным поверхностным сопротивлением 45 ои-гг режим обработки в плазме тлеющего разряда и одновременного нанесения .прозрачного, непроводящего покрытия нитрида кремния толщиной до 0,5 мкм был следующим: напряжение между электродами 1-10 кв, плотность тока разряда до 1 ма/см, расстояние между электродами до 6 см, разряд возбуждали в смеси аргона и не менее 5о/о азота, катод из кремния.

После обработки удельное поверхностное сопротивление образцов стало равным 10-12 ож2.

Предмет изобретения

1. Способ повыщения электропроводности проводящего окисно-металлического покрытия путем удаления связанных на поверхности и в приповерхностном слое последнего атомов кислорода, отличающийся тем, что, с целью увеличения стабильности, удаление атомов кислоро3да осуществляют обработкой локрытия в анодном столбе тлеющего разряда, -создаваемого в газовой среде, не содержащей кислорода. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с 4 целью защиты покрытия от проникновения кислорода, на его поверхность наносят слой неорганического, бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния.