Механотронный преобразователь перемещения Советский патент 1987 года по МПК G01B7/00 G01L21/12 

изобретение отноеится к гро. ib-io и:-; меритс:1ьи()й технике и может испо, ;,- :u)Baii() д, 1я и: мерении MiiKiM)iiepe ieiuei;M м. нанриме) к датчиках да :1еиия.

Целью изобретения я15ЛЯ тея уиронкМ М.- коиетрукции иреобразоватччтя и ов, точности измерения ла ечет o6iA uTiiiM:h5i катодов измерите/ирного и веиомогатедьно ч; диодов, б.тагодаря чему nCK. iK) iav-Te:- ii/iii;-:- fiiie ноидеитн пюети их мнесиоииых i, BoiieT;i.

На чертеже ехематично изображен меха нотроиньи 1 ре об ) а зов а те, II) пе 1емен1ечи1;

1реобразовате,1Ь еодержит вмкух ммрог и- ный кориуе 1, разметенные в нем )и- те,)|й 2 и BCiioMC)raTe;ibin iii 3 диод ,;, имеющие иенодвижиый общий като.ч 4, рае но/южеииый иа диэ,1ек | ричеекой иоддожке С oopariioii етороны подложки о ныпо,met: нодогрева 1 е;п1 ( катода, еоединег ный че;)| м ре1 у,:1ятор 7 мощиоети нагрет; е иеточнм- ком 8 иитаиия иодо1 ревате.тя, /хнод 9 и МС - рите, 1ьио1 о диода 2 уетановден в KOjiiivee : е возможностью иеремеи1еиия и нрямиаз :; - чен ддя с )дируемым об ьек- том в ироцеесе измерения, а аюд 10 всго- могатедьного диода 3 выно, 1иен из тоикои фо, с отверстиями 1 I и рас11:г ;ожеи меж ду подвижным анодом 9 и:5ме)и едьио Ч) дно да и общим катодом 4 Mexaiioi-pOHHoi o н;)е образовате,1Я. Минус иеточника 12 1ита1-: 1я обоих диодов преобразователя { одеоедине; к об|цему катоду 4, а пдюечерс: i- i

мерительные ириборы I ампе)м( 13 и 14 к анодам 9 н И) этих диодов соотве : cTBeiiiio.

Механотроиный 1реобра,зовате,тг. 1ЦС11ИЙ раб()1 ает с.тедующим ()б)азом.

Из 1ер1гге, 11)11ый диод 2 нреобразов ггети работает в режиме oi-раничения тока ирост ранствениым за|:1ядом, ко1 да ei-( во,1ьт-ам- иерная характе 1иетика преобразования оги еыЕ5ается параболой is стч иеня с , иейиым учаетком в обдасти нуля, В п:гл режиме ток изме11ите.1Ы(г)го даода 2 завн сит мавным образом от |)асетояния меж;1 его иодвижнь м анодом 9 и общим кал: дом 4. Эточ режим работы обеснечивас ся за счет иодачи на измерите. 1ьный ,, 2 иаиряжения от источника 12 ни ания ностоян иого тока, величина которого cooi нетствуе : , 1ине11иому участку в()льт-амне|)ной характеристики. При ие)еме1це1 ии юдвижио ;) ано да 9 изменяелтя ток измери е,:1ьно {) дно да 2, котор1 1Й егистрируел-с измер .п сл:, ным прибором 1.3 (иа11)имер, мид роам1ге1)- метром), отградуироваииым в единицах перемещения.

Для исключения но рен1ности измерения 1еремеи1еиий, вьк ванной измсл1ением эми1- сиоиных характерист1 к катода 4 в резу.ть- тате изменения иараметров окружаюикм ере- ды, например температуры. с.ужи1 вспомогательный диод 3, который работает в реж..|ме насыщения анодного тока, отбираемого с общего для обоих диодов катода 4. В i-:(

2

pe/Ki MC ior, u : iii vi; ji а V. i )Мо. I j ..иода 3 -lahH c:: ; oi ;jM неси:) J M hi :. Oa K F fpiU : и к и U им,,1 1. i aooni ш novora Ч Д;

ио (; 4iKa iipi : ,;.ачч а сд.1 апол. П: KiKo

.0 /КС B;..4hiU )ИЖеЧпЯ :;: ИСЮЧii-iha 2 1:иг;л1ия. ч ч. и на ::о.;В)Жный ач(:д 9 измери iс. Д.чо о диода :Д .loeciu/aii iiu;v i за счел л;снь;1 е,:,1и расе ; пчикч д;, катодом .1 и ;;чодо ; Л; о vi:)i а 1 е. И; СОИ) диода ;: ) cpaiuii. uiK) с paci 1Ч) междх ка одом 4 и . Иолч; .; 9 с ;мерм с. но: о диода. i i л и -импл i л лч л е л он iv ;) жаклшл- cpe.i л. i-aiini мер К ллк- Л ; .. и -s

П)Да 4, |ЧМ V. HIIIV О; ч )ИЛЛО ВСЧчМО. - I .

значениях ча ла:,ч ; чо;-. . С1)1ччы и регу..Т мощночл, )ЧЛ1. Иа л.- Л-i л ; iicj- ) рег. 1Я li-jta 7 гакил- оПра- лл члю:, ч клмнекеирова ч л. ч paiiioc ib лллл-i. Пни

СТч Н 15 СОО ВеТЧ-riiV Ч)) ЛЧ)j)(;H . КОММСЛ - , ИОГрСП liOC, ЛС 1 . 1 г/Л:1 а и Г.:е1иЛЛ Я,

iibi званную и т.нс-лк V иаламс Т нл; окр жаю Л КОЧО;Л:Я : ::ргД, 1Я5 Тся Н ) лло:лч1ЛЛ ВС1 ч вере гни ( ан1 л.е i С к ci л ooiii ai ; ло П1ади. должна , че лснес л, Ь.ллл

Ла)1Я -/ГОМ ЛК, л :)Л к КЛ и ЛЦИЙ ЧгЛС 1 .; Mr : ИГеЧ1:,ЧЫИ ЛИОЛ 2, ЧС ависш ;;

чия ли амегров OKJV,, .Knionieii слчльч ч; л лл- 3biHiaei ,ii--i, и.мчрсчия ;:с Н нччеч |я. оторая ; ос 1 а F.. луслчо ГУ, ; ли.лк; V Че н ремел :.- лл1 oi .

.ч ехано ;к: гмый (ч лачлва i с. л, iriie- мспн ний, С(.д;л :лл лщроиа ч 4bi;i кор- чус. разме1и;.члП)1е н и-;ме|лгл-ii.-n.iH ц

5 В; ПОМО1 а Ч Л,Л1,И ЛЧиЛЛ, с П ПиЛ1Л ЖгП,|МЧ Ча - юлами, ИМ(Л1ЛЛ1 Л- if : ; 1Л- ч ЛЛОЧЛСИЛ Л. л ;. ;

1КЧ л: )р()у л i- ч;п-мч;а. ч i с вочмочл-ос i4i:( 1 лл )е -.ДМ ц| j И Я aiio; из Мери U4ibiiOi41 ди(;л.а л iieTo4HH;; 1ллалии лос 1Ч)) , тличик.иципся лем. чго, с

1(МЬК) уИрГЯЦеИЯЯ коне l ОХЧчЦИИ и ЛО ЫН1еНИЯ

To4iiocTH измерения, -ча чол, и;- мерител1 ного диода В,ч1(.|;1Л(Л зал UID с катодом вспомо- 1 ате,,ного диода, а aiioa Н номогате. илюго диода Л)И;о. лц н с 1П5с 1стиями и уста- iioB.icii межлх . ч 5мерите. ьиого диода и обн1им каюдом на расстоянии, с(Н)твет- 1лч-;ук)цем раг) 1кч1омо Л1те..noi о диода в режим;- нас,лп,сния.

N ljxj- vj

V2

КУчЧХХЧ

-4

ух X xx xxx

r с k - /fyYT7 r77/in J

.. / / 56

Й

1

J2

изобретение относится к контрольно- измерительной технике и нозволяет упростить конструкцию и повысить точность ме.ханотромного преобразователя перемещении, иредназначенно1 о .тля измерения малых перемещений. Он содержит размещенные в ва- ку Л1ированном корпусе измерительный и вспомогательный диоды, имеющие общий катод с подогревателем, мощность которого ре Л лируется в процессе измерения. Размещенный между общим катодом и нод- вижным анодом измерительного диода анод вспомогательного диода выполнен с отверстиями для обеспечения его прозрачности д,чя апод К11 о тока измерительного диода, величина которого зависит от расстояния между ei4 анс) и обн1им катодом и не зависит от изме1-:ений эмиссион 1ых свойств катода преобразователя благодаря работе всп()МО|-ате/1ьног() диода в режиме насьице- ния. 1 ил. (Л оо о Ot)

7