Способ определения адгезии металлической пленки к диэлектрической подложке Советский патент 1987 года по МПК G01N19/04 

-

1

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам.

Цель изобретения повышение точности определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам путем учета протяженности соединения пленки с подложкой.

На чертеже изображена схема осуществления предлагаемого способа.

Способ осуществляют следующим образом.

На диэлектрическую подложку 1 наносят одним из известных способов испытуемую металлическую пленку 2. В пленке 2 с помощью индентора выполняют сквозные прорези по логарифмической сходящейся или расходящей ся спирали 3 с непрерывно уменьшаю щимся шагом, начало и конец которой переходят в окружности 4 и 5.

Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. При этом пленка 2 разделяется на три участка, один из которых ограничен окружностью 4 и лежит внутри ее, второй ограничен окружностью 5 и лежит за ней, а третий лежит между окружностями 4 и 5. Логарифмическая спираль 3 с непрерывно изменяющимся шагом ее витков, проходя по различным участкам соединения, позволяет контролировать площадь контактирования пленки 2 с подложкой 1 значительной протяженности. При сходящейся спирали 3 отделение пленки 2 от подложки 1 происходит по меньшей площади, чем при расходятдейся спирали 3, Подключают участок 6 пленки между окружностями 4 и 5 к измерительному электрическому мосту (не показан) и измеряют его емкость или электросопротивление, которые служа

Составитель В.Свиридов Редактор А.Ревин Техред М.Хоаанич Корректор С.Черни

Заказ 1883/39 Тираж 777Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4

20

3

106992

параметрами, характеризующими адгезию металлической пленки 2 и диэлектрической подложки, 1 и изменяющимися при otдeлeнии пленки 2 от подложки.

5 Использование емкости или электросопротивления в качестве электрического параметра повышает точность начала отделения пленки 2 от подложки 1 .

10 П р и м е р. На подложку из ситал- ла СТ 38-1 размером 60-48-1,0 мм наносят пленку никеля ионно-плазменным напылением на установке УРМ 3.279.026 и доращивают пленку до толщины поряд 5 ка 10 мкм химическим осаждением. Прорези в пленке выполняют стальным ин- дентором с радиусом 0,15 мм. Величина нагрузки на индентор составляет 350 г. Наружный диаметр окружности составляет 40 мм. Измеряют емкость участка пленки между окружностями с помощью моста переменного тока Р 5010. Величина емкости составляет 84 пФ, а электросопротивления - 1,73 кОм.

25

Формула изобретения

Способ определения адгезии металической пленки к диэлектрической

подложке, заключаюЕщйся в том, что в пленке выполняют сквозные прорези по спирали с непрерывно уменьшаюш м- ся шагом до отделения пленки от подожки и определяют параметр, характеризующий адгезию, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, прорези наносят по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали, начало

и конец которой переходят в окружности, а в качестве параметра, характеризующего адгезию, определяют емкость или электросопротивление участка пленки между окружностями.

Изобретение относится к испытательной технике, предназначено для определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам и позволяет повысить точность определения путем учета протяженности соединения пленок с подложкой. В пленке 2 выполняют сквозные прорези по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали 3 с непрерывно уменьшающимся шагом, начало и конец которой переходит в окружности 4,5. Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. Логарифмическая спираль 3, прсэходя по различным участкам соединения, позволяет контролировать площадь контактирования пленки 2 с подложкой 1 на значительной протяженности. В качестве параметра, характеризующего адгезию металлической пленки 2 к диэлектрической подложке 1, определяют емкость или электросопротивление участка 6 пленки 2 между окружностями 4,5. 2 ил. S (Л 2. -4 6 J -5 о:) со со