Способ приготовления железомеднохлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси Советский патент 1987 года по МПК C23F1/00 

113

Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов, а именно к размерному травлению меди и ее сплавов.

Целью изобретения является повышение скорости травления за счет увеличения стабильности раствора.

Пример 1. Готовят два-раствора одинакового состава, М/л:

FeCl, .

CuCl,

0,5 0,4

HjO. 13,8

Ацетонитрил до 1 л

По известному способу готовят концентрированный раствор FeClj в ацето- нитриле концентрацией 3,0 М/л, затем в мерную колбу отбирают 166,7 мл этого раствора (0,5 М БеС1з), вносят навеску 53,8 г CuClj (0,4 М), добавляют 248 мл воды (13,8 М) и доводят до метки ацетонитрилом,

По предлагаемрму способу готовят концентрированный раствор 6Н20 в ацетонитриле,концентрацией 2,2 М/л затем в мерную колбу отбирают 227 мл раствора (0,5 М FeCl), разбавляют водоацетонитрильной смесью при соотношении HjO : АН 0,4:1 до содержания воды 13,0 М/л, в полученном растворе хлорного железа растворяют навеску 68,4% CuCl2-2HjO (0,4 М CuCl) До метки доводят ацетонитрилом.

После этого образец марки М-1 погружают в приготовленш11е растворы. Травление ведут при 25 С без перемешивания. Скорость травления меди в растворе, приготовленном по предлага55232

емому способу, 21,2 мг/см -мин, а по известному 18,6 мг/см -мин.

В остальных примерах испытания проводят аналогично. 5 Данные опытов сведены в таблицу.

Таким образом, из результатов таб- лиц1з видно, что предлагаемый способ приготовления травильного раствора позволяет повысить скорость травления меди в среднем на 15%. Это обеспечит увеличение производительности травильных установок за счет уменьшения времени травления и повысит качество травления.

Формула изобретения

Способ приготовления железомедно- хлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси, включаюш,ий получение концентрированного раствора хлорного железа в ацетонитриле, растворение хлорной меди, добавление водь и ацетонитрила, о т- л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повьпцения скорости травления за счет увеличения стабильности раствора, хлорное железо и хлорную медь используют в виде кристаллогидратов, раствор хлорного железа готовят с концентрацией 2,1-2,2 М/л и доводят до необходимой концентрации водоацетонитрильной смесью и в полученном составе растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом травильном растворе составляет 3,8- 13,8 М/л.

Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов, а именно к размерному травлению меди и ее сплавов. Цель изобретения - повьшение скорости травления меди, которая достигается увеличением стабильности раствора. Готовят концентрированный раствор хлорного железа в ацетонитриле (2,1-2,2 М/л), в расчетное количество этого раствора добавляют водоацетонитрильную смесь, затем растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом растворе составляет 3,8-13,8 М/л. Хлорное железо и хлорную медь применяют в виде кристаллогидратов. Скорость травления меди в готовом травильном растворе составляет 72,8 мг/см - мин. 1 табл. i (Л С со ел ел ISD со.