Раствор для химического травления металлов Советский патент 1978 года по МПК C09K13/06 C23F1/00 

Изобретение относится к химической обработке поверхности металлов, в «шстности к растворам дяя химического травления меди и ее сплавов и может найти применение при производстве петатных схем в радиоэлектронной и приборостроительной g промышленности.

По основному авт. св. № 522282 известен раствор для химического 1равле1шя металлов, содержащий 28-36 вес.% хлорного железа и 64-72 вес.% ацетонит{ 1ла Ц.Ю

Скорость травления меди при использовании этого раствора 9,2-10,8 мг/см - мин.

С целью повышения эффективности травления за счет увелитения скорости травления предлагаемый раствор содержит производное аналина в количестве|5 1-2 вес.%.

В качестве производного анилина может быть использован пара-метоксианилин.

Введение этой добавки обеспечивает большую эффективность травления металлов, в частности ско- 20 рость травления меди повышается с 9,2-10,8 до 16-18 мг/см.мин.

Для приготовления раствора навеску хлорного железа растворяют при нормальных условиях в ацетонитриле и к раствору прибавляют пара-метокси- 25

анилин. Процесс травления осуществляют при 8-10 и перемешивании раствора.

Пример. Образцы из меди марки М-1 погружают в раствор состава (в вес.%): хлорное железо 28, ацетонитрил 70, пара-метокснанилин 2. Процесс ведут при 10°С и перемещивании раствора. При введении пара-метоксианилина скорость травления повьшвется с 9,2 до 18 мг/см мин.

П р и м е р 2. Опыт проводят по примеру 1, но используют раствор состава (в вес.%): хлорное железо 28, ацетонитрил 71, пара-метоксиани;шн 1.

Скорость травления увеличивается с 9,2 до 16 мг/см /мин.

При введении органической добавкн ч количестве меньще 1 вес.% скорость травления снижается, а больще 2 вес.% повышается незначительно.

Предлагаемый раствор обеспечивает повышение скорости травления и, следовательно, экономические преимущества по сравнению с известными растворами.

Формула изобретения

1. I cTBop дпя химического травления металлов по авт. св. № 522282, о г. л ича ющийся тем, что, с целью повышения эффективности травле34

имя 38 счет увеличешя скоростя травления, он со-Источники информации, пртнятые во внимадержит производное ашишн в количестве 1-2 вес.%,ние при экспертизе:

2. Пклвор поп. 1,отличаюшинся

тем. что в качестве производного анилина он содер-1. Авторское сандетельство СССР N 522282,

жит парв-мвтоксианилин.5кл. С 23 F 1/00, 25.07,76.

605822