Способ измерения рельефа микрообъектов Советский патент 1987 года по МПК G01B11/30 G01B11/02 G01B11/25 

13

интерференционных полос, образуемых в результате отражения световых потоков от двух граней прозрачной пластинки 3, помещенной между источником I излучения и микрообъектом 5. Изображение микрообъекта 5, совмещенное с масштабной сеткой, наблюдают в микроскоп 4. Изменяют расходимость пучка лазерного излучения путем смещения фокусирующей линзы 2, что при1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения размеров и рельефа микрообъектов.

Цель изобретения - повышение точности измерения и информативности за счет того, что масштабная сетка в виде системы интерференционных полос создается суммированием дифрагированного на решетке потока с потоком, отраженным от исследуемой поверхности, при этом интерференционная картина не зависит от формы и состояния поверхности исследуемого объекта, а также за счет того, что кроме рельефа измеряют поперечные размеры микрообъекта .

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего способ измерения рельефа микрообъектов.

Устройство содержит последовательно расположенные источник 1 излучения, линзу 2, прозрачную пластинку 3 и микроскоп 4.

Способ осуществляется следуюш 1м образом.

Излучение от лазерного источника 1 измерения через линзу 2 направляют на прозрачную пластинку 3, расположенную под углом у к падающему излучению. Освещают поверхность исследуемого микрообъекта 5 излучением, отраженным от двух граней прозрачной пластинки 3. Наблюдают изображение микрообъекта 5, совмещенное с масштабной сеткой в виде системы интерференционных полос,через микроскоп 4, вносят изменение расходимости пучка лазерного излучения путем перемещения линзы 2, что приводит к из15800

водит к изменению шага-периода интер- ференционньк полос, используемых в качестве масштабной сетки, и позволяет совмещать целое число полос с измеряемой длиной микрообъекта 5. Геометрические размеры микрообъекта 5 определяют по количеству интерференционных полос, занимаемых микрообъектом 5, а его рельеф - по изгибу интерференционных полос. 1 ил.

менению шага-периода интерференционных полос, используемых в качестве масштабной сетки. Перемещая линзу 2, добиваются совмещения интерференционных полос с границами микрообъекта 5. Считают число полос, укладывающихся на поверхности объекта и определяют его размеры f по формуле. .а, где m - число полос, а - расстояние

между двумя соседними интерференционными полосами.

Глубину неровности поверхности определяют из выражения

лх

h- --.a.ctgoi,

Л

Дх где - - относительная величина изV

гиба интерференционных по- лос,

a(r,+r).2b.cosy. tg У +СГ, +

2Ь(2lD i 25ll-)1x

cosCf-cosCy -Ч ) cos J J

vi

cosoij ,

/sinj,

где V arcsin();

JП

r, - расстояние от фокуса линзы до прозрачной пластинки; г - расстояние от прозрачной

пластинки до плоскости поверхности объекта; Х - длина волны лазерного излу- чения;

b - толщина прозрачной пластинки в точке падения лазерного луча;

J - угол падения лазерного луча на прозрачную пластинку; Ч - угол клина;

об угол падения лазерного пучка на плоскос ь поверхности объекта;

п - показатель преломления материала прозрачной пластинки.

Прозрачная пластинка может быть, в частности, плоскопараллельной, что соответствует углу клина Ц)0 .

Формула изобретения

Способ измерения рельефа микрообъектов, заключающийся в том, что освещают микрообъект лазерным излучением, получают его изображение, совРедактор А.Козориз Заказ 23А4/42

Составитель Л.Лобзова Техред М.Ходанич

Корректор

Тираж 677Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

158004

мещают это изображение с масштабной сеткой в виде системы интерференци- онных полос и определяют рельеф микрообъекта, отличающийся

5 тем, что, с целью повьшения точности измерения и информативности, систему интерференционных полос создают путем отражения лазерного излучения от двух граней прозрачной пластинки,

10 изменяют расходимость пучка лазерного излучения, совмещают границы пучка с интерференционными полосами и по изгибу полос определяют рельеф микрообъекта, а по количеству полос, зани15 маемЕ к микрообъектом, определяют его поперечные размеры.

Корректор E.POOIKO

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения размеров и рельефа микрообъектов. Цель изобретения - повышение точности измерения и информативности. Способ измерения рельефа микрообъектов заключается в том, что изображение мик- рообъекта 5, освещаемого лазерным источником 1 излучения,совмещают с масштабной сеткой в виде системы Ппоспоеть изобротения (Л Лметст npffntTOt : У эо