Электрическая ловушка Советский патент 1987 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к электрическим ловушкам вакуумных насосов.

Целью изобретения является повышение заш,итных свойств ловушки.

На чертеже схематически изображена ловушка.

Электрическая ловушка содержит слу- жаш.ий катодом корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, анод 4 и магнитную систему, выполненную в виде заключенного в охлаждаемый кожух 5 пакета магнитов и немагнитных проставок 7. Кожух 5 расположен снаружи корпуса 1, магниты б намагничены радиально и размеш,ены с чередованием полюсов, корпус 1 выполнен из геттер- ного материала, анод 4 - в виде перфорированного или гофрированного цилиндра, а пакет установлен с возможностью перемещения вдоль корпуса.

После предварительной откачки ловушки в охлаждаемый кожух 5 заливается жидкий азот. При подаче постоянного напряжения между корпусом 1 и анодом 4 возникает неоднородное электрическое поле. Кольцевые магниты 6 создают замкнутое неоднородное магнитное поле, в котором электроны совершают сложные движения, участвуя в многократных ионизирующих столкновениях с молекулами паров рабочей жидкости. В результате над поверхностью корпуса возникает кольцеобразная зона тлеющего разряда, где происходит наиболее интенсивная ионизация и полимеризация паров рабочей жидкости.

Положительные ионы, образующиеся в разряде, ускоряются в направлении корпуса, бамбардируют его в зоне эрозии, выбивая из нее частицы геттерного материала. При распылении геттерного материала на аноде 4 непрерывно образуется свежая активная пленка, на поверхности которой происходит поглощение продуктов полимеризации паров рабочей жидкости и активных газов.

Распыленный с корпуса 1 геттерный материал осаждается главным образом на аноде 4, который для увеличения площади сорбции выполнен в виде перфорированного или гофрированного цилиндра.

Учитывая, что наибольшая эрозия корпу- 5 са 1 ловушки происходит между полюсами магнитов 6, пакет установлен с возможностью перемещения вдоль корпуса 1, что позволяет увеличить ресурс работы ловушки.

0

20

Формула изобретения

Электрическая ловушка, содержащая служащий катодом корпус с входным и выходным патрубками, анод и магнитную систему, выполненную в виде заключенного

в охлаждаемый кожух пакета и немагнитных проставок, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитных свойств, кожух расположен снаружи корпуса, магниты намагничены радиально и размещены с чередованием полюсов, корпус выполнен из геттерного материала, анод - в виде перфорированного или гофрированного цилиндра, а пакет установлен с возможностью перемещения вдоль корпуса.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить защитные свойства ловушки. Магнитная система выполнена в виде заключенного в охлаждаемый кожух 5 пакета магнитов 6, установленного с возможностью перемещения вдоль корпуса 1, и немагнитных проставок 7. Кожух 5 расположен снаружи корпуса, выполненного из геттерного материала. Магниты 6 7 5 намагничены радиально и размещены с чередованием полюсов. Анод 4 для увеличения площади сорбции выполнен в виде перфорированного или гофрированного цилиндра. Магниты 6 создают замкнутое неоднородное магнитное поле, в котором электроны совер- щают сложные движения, участвуя в многократных ионизирующих столкновениях с молекулами паров рабочей жидкости (РЖ). При этом над поверхностью корпуса возникает зона тлеющего разряда, где происходит наиболее интенсивная ионизация и полимеризация паров РЖ. Положительные ионы бамбардируют корпус в зоне эрозии, выбивая из нее частицы геттерного материала, при распылении которого на аноде непрерывно образуется свежая активная пленка, поглощающая продукты полимеризации паров РЖ и активных газов. 1 ил. € / СЛ оо ю о от оо оо