СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЖИДКОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ИНДИКАТОРОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Советский патент 2013 года по МПК G02F1/13 

1. Способ изготовления жидкокристаллических индикаторов, заключающийся в том, что на две стеклянные подложки последовательно наносят электропроводящее покрытие, содержащее группы прозрачных областей, контактные площадки и внешние электроды, и защитный диэлектрический слой двуокиси кремния, удаляют участки диэлектрического слоя с внешних электродов ионно-химическим травлением в скрещенных электрическом и магнитном полях, разделяют подложки на пластины, наносят на пластины ориентирующий жидкий кристаллический слой, соединяют пластины попарно путем установки по периметру между ними прокладки, герметизируют их по периметру, заливают жидкий кристалл в пространство между пластинами через заливочное отверстие, герметизируют заливочное отверстие и создают переходной контакт между внешними электродами пластин, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности индикаторов путем снижения сопротивления контактных площадок, участки диэлектрического слоя удаляют с внешних электродов в плазме кислорода и фреона при давлении 0,1-6 Па, после чего на вскрытые области внешних электродов наносят оловосодержащую пленку в плазме аргона при давлении 6-10 Па.

2. Устройство для изготовления жидкокристаллических индикаторов, содержащее планарный реактор, соединенный с вакуумной системой и системой газоснабжения, расположенную в реакторе пару электродов, соединенных с высокочастотным генератором, и систему формирования магнитного поля, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности индикаторов, система формирования магнитного поля установлена между парой электродов и выполнена в виде постоянного магнита с расположенными над ним с зазором полюсными наконечниками.

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что в качестве полюсных наконечников используют биметаллические свободные маски, нижний слой которых выполнен из магнитомягкого, а верхний - из оловосодержащего материала.