Устройство для управления током магнитной линзы электронного микроскопа Советский патент 1987 года по МПК H01J37/14 

Изобретение относится к электрон- нооптичёскому приборостроению, в частности к системам управления током магнитных линз электронных микроскопов,

Цель изобретения - расширение диапазона режимов регулирования тока линзы за счет возможности произвольной установки тока в экспериментальном режиме, воспроизведение этого режима и тонкой подстройки тока.

На чертеже показана схема устройства.

Устройство для управления содержи программируемый запоминающий блок 1, имеющий расширенные функциональные возможности и дополнительные входы. Первый вход запоминающего блока 1 соединен с выходом блока 2 выбора режима работы, который содержит переключатели, соединенные с шифраторами Блок 2 выбора режима работы устанавливают ступень увеличения, ускоряющее напряжение, вид работы микроскопа. Переключатель блока 2 выбора режима работы может также установить свободный режим работы, в котором оператор имеет возможность установит режим произвольных токов в линзе. Второй вход запоминающего блока 1 соединен с первым входом первого магистрального элемента 3, который может быть выполнен, например, в виде логической схемы И, и вторым выходом (выходом старших разрядов) кодового регулятора 4, выполненного, например, на оптронных парах, с кодовыми дисками.

Кодовый регулятор 4 имеет порознь выведенные младшие и старшие разряды причем число младших разрядов выбрано из расчета обеспечения компенсации дрейфа поля линзы током ее об-- мотки.

Третий вход запоминающего блока 1 соединен с первым выходом блока 5 управления, содержащего источник питания, соединенный с переключателем

на два положения.

I

Выходы блока 5 управления являются выходами командных сигналов: первый выход - запись в запоминающем блоке, второй - работа с кодовым регулятором, третий - работа с запоминающим блоком. Второй и третий выходы блока 5 управления соединены соответственно с вторым входом первого магистрального элемента 3 и первым входом второго магистрального элемента 6,,

также выполненного в виде логической схемы И, второй вход которого соединен с выходом запоминающего блока 1.

Объединенные выходы магистральных элементов 3 и 6 подключены соответственно к входам старших разрядов циф- роаналогйвого преобразователя 7, соединенного выходом с у силителем 8 мощности, подключенным к обмотке 9

линзы. Входы младших разрядов цифро- аналогового преобразователя 7 соединены с первым выходом шадщих разрядов кодового регулятора 4.

15

Устройство работает следующим образом.

Работа устройства появляется на примере работы в режиме Остановки экспериментальной величины тока. Оператором .посредством переключателей блока 2 выбора режима работы устанавливаются: значение ускоряющего напряжения, режим работы - Свободный, ступень увеличения (порядковый номер ступени увеличения на переключателе соответствует порядковому номеру свободного режима). Переключатель блока 5 управления устанавливают на работу с кодовым регулятором, при этом с второго выхода блока 5 управления поступает сигнал-на первый магистральный элемент 3. Последний открывается, сое диняя старшие разряды кодового

регулятора 4 с цифроаналоговым преобразователем 7, а второй магистраль- ньм элемент 6 (так как на третьем выходе блока 5 управления сигнала нет) закрывается. Управляя кодовым регулятором 4 (вращением его кодовых дисков) , устанавливают по четкости изображения нужный ток в обмотке линзЪи Убедившись, что ток линзы выбран правильно, оператор посредством переключателя блока 5 управления (первый выход) подает команду на запоминание старших разрядов кода, выбранного тока в линзе. Число старших разрядов кода определяется стабильностью материалов линзы, температурных и других параметров, а также условий окружающей среды. Число младших разрядов кода определяет преде

лы, в которых оператору каждый раз необходимо подстраивать ток линзы для получения оптимального по качеству изображения при тех рабочих условиях, которые имеют место в настоящий момент.

Этот цикл работы оператор производит один раз, затем при необходимости вернуться к данному режиму переключателем на блоке 5 управления (по третьему выходу) включает командный сигнал работы с запоминающим блоком, открывая второй магистральный элемент 6, при этом код старших разрядов с выхода запоминающего блока поступает на цифроаналоговый преобразователь 7. Далее оператор осуществляет лишь тонкую подстройку посред ством выходов младщих разрядов кодового регулятора 4, добиваясь наилуч- шего изображения.

Фо рмула .изобретения

Устройство для управления током магнитной линзы электронного микроскопа, содержащее запоминающий блок, соединенный с выходом блока вьйора режима работы, и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразо-

ватель и усилитель мощности, снабженный клеммой для подключения к обмотке линзы, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона режимов регулирования тока линзы, оно снабжено кодовым регулятором, блоком управления и двумя магистральными элементами, при этом выходы магистральных элементов соединены с первым входом цифроаналогового преоб-. разователя, второй вход которого соединен с первым выходом кодового регулятора, второй выход которого соединен q первым входом первого магистрального элемента и первым входом второго магистрального элемента, второй вход которого соединен с выходом запоминающего блока, третий вход которого соединен с первый выходом блока управления, соединенного вторым и третьим выходами соответственно с вторым входом первого магистрального элемента, второй вход которого соединен с выходом запоминающего блока.

Изобретение относится к области электроннооптического приборостроения . Цель изобретения - расширение диапазона режимов регулирования тока линзы. Устройство содержит программируемый запоминающий блок 1, блок 2 выбора режима работы, цифроаналого- вый преобразователь 7, усилитель 8 мощности и обмотку 9 линзы. Введение магистральных элементов 3 и 6, кодового регулятора 4, блока 5 управления и образование новых функциональных связей обеспечивает возможность произвольной установки тока в экспериментальном режиме, воспроизведение этого режима и тонкой подстройки тока. 1 ил. в (Л