Термостатированный кварцевый резонатор Советский патент 1990 года по МПК H03H9/15 

113

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может использоваться в высокостабильных кварцевых резонаторах.

Цель изобретения - повышение стабильности частоты.

На фиг. 1 показан термостатированный кварцевый резонатор, вид спереди; на фиг, 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - структурная схема резонатора

Термостатированный кварцевый резонатор содержит кристаллический эпе мент 1, возбуждающие электроды 2 и 3, резистивный пленочный нагреватель 4 . с токопроводящей перемычкой 5, датчик 6 температуры с тонкопленочными про- вЬдящими контактами 7 и 8 и с терморезистором 9 в виде текстурированной пленки из окислов кобальта и марган- да,.контактные площадки 10, блок 11 терморе гулирования и автогенератор 12

Резонатор работает следунндим образом.

Входной сигнал подается на элект- роды 2 и 3 резонатора, при этом в кристаллическом элементе 1 возникают колебания. Выходной электрический сигнал со стабилизированной частотой снимается с электродов 2 и 3.

Термос табилизация пьезозлемента осуществляется следующим образом.

При включении блока 11 терморе гулирования сопротивление терморе- зистора 9, выводы которого соединены с входными клеммами блока терморегулирования, велико и сравнивакндий термочувствительный элемент блока терморегулирования разбалансирован. При этом через резистивньй пленочный на- греватель А, выводы которого соединены с выходными клеммами блока 11 терморегулирования, протекает полый ток подогрева пьезоэлемента кварцевого резонатора. По мере нагрева пьезо- элемента и, следовательно, терморезистора, сопротивление последнего уменьшается, а через резистивный пленочный нагреватель 4 протекает меньший ток. При этом величина тока регулируется пропорционально напряжению разбаланса сравнивающего термочувствительного злемента блока 11 терморегулирования, за счет чего обеспечивается постоянство .температуры подогрева пьезозлемента кварцевого резонатора.

Высокая точность стабилизации температуры, а следовйтельно, и частоты

1

5 0

5 о

Q

5

0

5

122

кварцевого резонатора достигается за счет повышенного теплового контакта с объектом термостатирования, который достигается использованием тонкопленочного терморезистивного датчика 6 температуры с контурами рабочей зоны, совпадающей с контурами рабочей зоны нагревателя 4. Это позволяет повысить точность поддержания температуры пьезоэлемента и довести ее до 10,ГС

Применение тонкопленочного терморезистора на основе текстуры окислов кобальта и марганца с соотношением компонентов, мар.%: окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное, сформированной высокочастотным магне- тронным распылением, обеспечивает значительное снижение воспроизводимости электрических параметров тонкопленочных терморезисторов и повышение их долговременной стабильности, что тёкже повышает стабильность частоты кварцевого резонатора.

Формула изобретения

Термостатированный кварцевый резонатор, содержащий кристаллический элемент в форме пластины с расположен- ными на его первой и второй основных гранях и активной области возбуждающими электро; ами, резистивный пленочный нагреватель, расположенньй на . первой основной грани кристаллического элемента вокруг активной области в его периферийной зоне, вывода которого соединены с вькодныки клеммами блока терморегулирования, и датчик температуры, выполненный в виде терморезистора и расположенный на вторрй основной грани кристаллического элемента вне активной области, выводы которого соединены с входными клеммами блока терморегулирования, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности частоты, терморезистор выполнен в виде тексту рированной пленки из окислов кобаль- Td и марганца со следующим соотношением компонентов, мае.%:

Окисел кобальта 50-65 Окисел .марганца Остальное причем внешние контуры рабочей зоны терморезистора совпадают, с контура- , ми рабочей зоны резистивного пленочного нагревателя.

(pue.2

Фи8, д

Изобретение относится к области радиоэлектроники. Цель изобретения - повышение стабильности частоты. Термо.сл атиоованный кварцевый резонатор содержит кристаллический элемент 1 с возбуждающими электродами 2, 3 в ак тивной области. На первой основной грани кристаллического элемента 1 во«руг активной области в периферийной зоне расположеи резистивный пленочный нагреватель 4, на второй основной грани размещен датчик 6 температуры, выполненный в виде терморе - зистивной текстурированной пленки из окислов кобальта и марганца-со следукицим соотношением компонентов, мас.%; окисел кобальта 50-65; окисел марганца остальное. При этом внешние контуры рабочей зоны терморезистив- ной текстурированной пленки совпадают с контурами рабочей зоны резисти1з- ного пленрчного нагревателя. 3 ил. § (Л С со со ел