Вакуумная ловушка Советский патент 1987 года по МПК F04F9/06 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть иснользовано в защитных устройствах, не позволяющих парам масла попадать в рабочие объемы вакуумных камер.

Целью изобретения является повышение защитной способности вакуумной ловушки.

На фиг. 1 представлена вакуумная ловушка, общий вид; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1.

Вакуумная ловушка содержит корпус 1 с входным и выходным патрубками 2, 3 и соединенную с корпусом 1 в верхней части внутреннюю цилиндрическую емкость 4 с криогенной жидкостью, промежуточную цилиндрическую обечайку, состоящую из плотно прилегающих одно к другому колец 5, верхний торец 6 которой расположен относительно корпуса 1 с зазором, а нижняя часть имеет утоненный участок 7, соединенный при помощи прокладки 8 из силиконовой резины или теф. юна с днищем ко)пуса 1, внутренняя емкость 4 снабжена размещенным на ее наружной поверхности винтовым ребром 9, c(Jeдинeнным с обечайкой, а патрубки 2 и 3 распо.южены по разные стороны от нее.

Перед началом работы .ловушки в ци- ,1индрическую емкость 4 заливают криогенную жидкость, нанример жидкий азот, который охлаждает до низких температур винтовое ребро 9 и промежуточную ци.тинд- рическую обечайку, состоящую из Ko.ieu 5. Через патрубок 3 производится откачка вакуумной магистрали форвакуумным насосом, а через патрубок 2 в ловушку поступает откачиваемый газ. Проходя через винтовой канал . ювущки, а затем между корнусом 1 ловушки и промежуточной обечайкой, пары масла адсорбируются на охлаждаемых поверхностях ребра 9, цилиндрической емкости 4 и про.межуточной обечайки. Вьиюлнение промежуточной обечайки из отдельных колец 5 служит для лучшей тепловой связи обечайки с охлаждаемой криогенной жидкосгью цилиндрической емкостью 4 и, кроме того, для обеспече1П1Я качественной пайки по всем винпиишу |)сп0

5

0

5

0

5

0

ру 9. На нижнем кольце делается утонение 7 для тепловой развязки промежуточной обечайки с корпусом 1. Для этой цели служит и прокладка 8 из силиконовой резины или тефлона, т. е. из материалов, работающих при криогенных температурах, а при сборке ловушки прокладка обеспечивает плотное прилегание промежуточной цилиндрической обечайки к нижней части ловушки, что заставляет газовый поток и пары масла двигаться вертикально вдоль винтового ребра 9. В верхней части ловушки промежуточная цилиндрическая обечайка обеспечивает зазор для прохождения через него газового потока и паров масла и дальнейшего их движения в нижнюю часть ловушки.

Таким образом, предлагаемая ловушка повышает эффективность адсорбции паров масла за счет винтового канала между внутренней цилиндрической емкостью 4 и промежуточной цилиндрической обечайкой, который обеспечивает многократное изменение направления движения паров масла и увеличивает длительность прохождения каждой молекулой пути в столкновениях с охлаждаемыми поверхностями цилиндрической емкости 4, винтового ребра 9 и промежуточной обечайки.

Формула изобретения

Вакуумная ловушка, содержащая корпус с входным и выходным патрубками и соединенную с корпусом в верхней части внутреннюю цилиндрическую емкость с криогенной жидкостью, отличающаяся тем, что, с целью повышения защитной способности, ловущка дополнительно содержит промежуточную цилиндрическую обечайку, состоящую из плотно прилегающих одно к другому колец, верхний торец которой расположен относительно корпуса с зазором, а нижняя часть имеет утоненный участок, соединенный при помощи прокладки из силиконовой резины или тефлона с днищем корпуса, внутренняя емкость снабжена размещенным на ее наружной поверхности винтовым ребром, соединенным с обечайкой, а патрубки расположены по разные стороны от нее.

Изобретение м. б. использовано в устройствах, не позволяющих парам масла попадать в рабочие объемы вакуумны.х камер. Цель изобретения - повышение защитной способности вакуумной ловущки. Промежуточная цилиндрическая обечайка (ПЦО) состоит из плотно прилегающих друг к другу колец 5. Верхний торец 6 ПЦС) распо.южен относительно корнуса 1 с зазором. Нижняя часть ПЦО имеет утоненный участок, соединенный при помощи прокладки 8 из си.-щко- иовой резины или тефлона с днищем корпуса. Винтовое ребро 9, расположенное на наружной поверхности внутренней цилиндрической емкости 4, соединено с ПЦО, а входной и выходной патрубки 2 и 3 распо.южены по разные стороны от нее. Винтовой канал между емкостью 4 и ПЦО обеспечивает многократное изменение направления движения паров масла и увеличивает д.чительность прохождения каждой молеку.1ой пути в столкновениях с охлаждаемыми поверхностями емкости 4, ребра 9 и ПЦО. 2 и.ч. S (Л со со Х) 00

((JS .

Составитель Э. Могильниикая Техред И..ВересКорректор Н. Король

Тираж 574Подписное

ВНИИ1111 Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, .Москва, Ж- 35, Раушская наб., д. 4/5 Ирой В(1Лстпенн(-П1)Лиг|)афическ()е предприятие, г. Ужгород, у.ч. Проектная, 4

Редактор .4. Бандура Заказ 4417/40