Криогенная ловушка Советский патент 1981 года по МПК F04F9/06 

(54) КРИОГЕННАЯ ЛОВУШКА

1

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны криогенные ловушки, содержащие охлаждающее устройство, размещенное в корпусе. При работе ловушки откачиваемйе газы контактируют с поверхностью охлаждающего устройства, и на ней вымораживаются легкоконденсируемые компоненты откачиваемой смеси газов, а также обратный поток паров рабочей жидкости вакуумных насосов 1.

Однако в таких ловушках размещение охлаждающего устройства внутри KOpnyda снижает их проводимость.

Известны также криогенные ловущки, содержащие охлаждающее устройство, размещенное в торообразном корпусе и повторяющее его форму. Увеличение проводимоети в этих ловушках достигается за счет выполнения охлаждающего устройства в виде спирали, повторяющей форму торообразного корпуса. Наличие зазоров между витками способствует свободному пролету молекул к стенкам корпуса, что влечет за собой необходимость охлаждения стенок 2.

Однако поскольку в данной ловущке охлаждейие стенок производится посредством

лучист0го теплообмена между спиралью и стенками, не исключена возможность миграции масла по относительно теплой поверхности стенок.

Цель изобретения - улучшение защитной способности ловушки.

Указанная цель достигается тем, что охлаждающее устройство выполнено в виде двух ч:оаксиально расположенных сильфонов.

На чертеже показан разрез предлагаемой ловушки.

Криогенная ловущка содержит охлаждающее устройство 1, размещенное в торообразном корпусе 2 и повторяющее его форму. Охлаждающее устройство I выполнено в виде двух коаксиально расположениых снльфоноЕ 3 и 4 и снабжено патрубком 5 подачи хладагента и патрубком 6, через который отводятся его пары.

Ловушка работает следующим образом.

Хладагент подают через патрубок 5 в полость охлаждающего устройства, образованного сильфонами 3 и 4. После охлаждения поверхностей охлаждающего устройства до температуры хладаген- ловушка готова к работе. При откачке смеси гаЗОВ через ловушку на поверхности сильфонов 3 и 4 вымораживаются легкоконденсируемые компоненты смеси и пары рабочей жидкости насосов.

Предлагаемая ловушка сохраняет высокую проводимость при одновременном улучшении защитной способности, что дает возможность ее использования для получения чистого вакуума с помош:ью диффузионных насосов.

Формула изобретения

Криогенная ловушка, преимущественно диффузионного насоса, содержащая охлаждающее устройство, размещенное в торообразном корпусе и повторяющее его форму, отличающаяся тем, что, с .целью улучшения защитной способности, охлаждающее устройство выполнено в виде двух коаксиально расположенных сильфонов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1-. Авторское свидетельство СССР № 590479, кл. F04 F 9/06, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке № 23927 68/06, кл. F 04 F 9/06, 1976.