Запорная пара сверхвысоковакуумного клапана Советский патент 1987 года по МПК F16K51/02 F16K25/00 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в разъемных уплотняющих узлах сверхвысоковакуум- ной коммутационной аппаратуры.

Цель изобретения - повышение надежности герметизации и долговечности запорной нары путем предохранения уплотнитель- ных повер С Ностей от попадания инородных частиц.

На фиг. I изображена запорная пара сверхвысоковакуумного клапана в открытом положении; на фиг. 2 - узел уплотнения диска с электретами и диэлектриком; на фиг. 3 - узел уплотнения седла с электретами и диэлектриком.

Запорная пара сверхвысоковакуумного клапана состоит из запорного диска 1 и седла 2 с диэлектриками 3 (например, из оксида кремния). На диэлектриках 3 диска 1 и седла 2 с внешней и внутренней сторон уплот- нительного пояса 4 размешены противоположно электризованные электретные пленки 5 и 6.

Для создания внешнего электрического поля электретные пленки выполнены из материалов с большими временами диэлектрической и дипольной релаксации, например из монозаряженного неметаллизированного политетрафторэтилена, способного годами удерживать реальные заряды. Пленки 5 и 6 соз

0

5

дают в открытом положении клапана внешнее электростатическое поле как над собой, так и над уплотняющими поясами 4, благодаря чему происходит захват электретны- ми пленками инородных заряженных и нейтральных частиц (из-за действия кулонов- ских и индукционных сил). Кулоновские силы приводят к притяжению заряженных частиц, а индукционные силы обуславливают притяжение нейтральных частиц путем наведения в них дипольных моментов. В закрытом положении клапана образуюшееся электрическое поле с внешней и внутренней стороны зоны уплотнения препятствует прохождению инородных частиц в зоне уплотнения, что уменьшает натекание.

Формула изобретения

Запорная пара сверхвысоковакуумного клапана, содержащая металлические седло и запорный диск с уплотняющими поясками, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности герметизации и долговечности, на седло и диск с внещней и внутренней стороны от уплотняющего пояска нанесено диэлектрическое покрытие, на котором размещены противоположно электризованные электретные пленки, причем пленки диска и седла, расположенные напротив друг дру| а, заряжены противоположно.

И.чобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в разьем- ных уг1лотняюни1х узлах сверхвысоковакуум- Hoii коммутационной апнаратуры. Целью изобрегения является повышение надежности герметизации и долговечности занор- Hoii за счет уменьшения натекания HVтем предохранения уплотнительных поверхностей от попадания инородных частпц. Для этого запорная пара выполняется с применением электретных политетрафторэтилено- вых пленок, имеющих противоположные заряды на седле и уплотняющем диске, при этом электретные пленки захватывают инородные нейтральные и заряженные частицы благодаря кулоновским и индукционным силам. Для обеспечения внешнего электрического поля над уплотнительными поверхностями электризованные электретные пленки размещены с внешней и внутренней сторон от уплотнительного пояска. Наличие зарядов разных знаков на пленках диска и седла, расположенных друг против друга, препятствует прохождению инородных частиц к зоне уплотнения, что уменьшает натекание. 3 ил. (Л оо СХ) ел ;о оо

J J

ШУ

Фиг. 1

Фиг 2

Риг J

лн ujunTivih Г. .Максимкина

Техред И ВерееКорректор Л, Обручар

Тираж 8(i:iПодписное

В11ИИ1111 Гоеударсгвенмиго Kovnii eia ((,(, но делам м;4оГ)ретений и открытий

113035, jV()CKua. Ж 35. 1 а н1екая наб.. д. 4/5 11р| и нодственно-по.тиграфнчес. предприятие, г. Ужгород, y. i. Проектная, 4