Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей Советский патент 1988 года по МПК G01B11/30 

00

0д 9д

00

00

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к оптическому приборостроению.

пока его главный угол и эллиптичность не станут равными главному углу и эллиптичности эталонного образца.

Изобретение относится к измери тельной технике, в частности к области оптического приборостроения. Цель изобретения - повьшение производительности - достигается путем экспрессного определения качества полирования. Для образцов определенного материала определяют на эллипсометре угол падения и азимут поляризации, при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, что соответствует достижению главного угла . падения и главного азимута поляризатора. Заменяя эталон контролируемым образцом для найденных углов падения и азимута поляризации, определяют отклонение состояния поляризации отраженного поляризационного света от круговой поляризации,, по которому судят о качестве полирования.

Цель изобретения - увеличение про- g Определение круговой поляризации может быть осуществлено либо по равенст ву интенсивности If, 1 Iqo , либо анализатором, вращающимся с постоянной угловой частотой.

изводительности контроля.

Поставленная цель достигается пу- тем экспрессного определения качества полирования поверхностей.

Способ осуществляют следующим об- разом.

Предварительно на столик эллипсо- Метра устанавливают эталонную деталь и определяют угол падения и азимут поляризатора, при котором отраженное излучение будет поляризованным по кругу. Это регистрируется по равенст

ву интенсивностей

о

40

при

трех азимутах анализатора, что соответствует достижениюглавного угла па- 2о ключающийся в том, что устанавливают дения ( Л 90 ) и главного азимута

угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра и по состоянию поляризации света, от раженного от детали, судят о качестполяризатора ( у if) ,

Эту операцию производят однократно для образцов определенного материала,- , .

Затем, располагая на столик эллип- сометра контролируемый образец, устанавливают угол падения света и азимут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии с определенными значениями углов для эталона.

Измеряют соответствующие интенсивности Отраженного света.

Равенство I,, 145 90 отраженного от контролируемого образца поляризованного света позволяет заключить, что качество полирования соответствует эталону, так как отраженный свет будет эллиптически поляризован

Определение круговой поляризации мо

жет быть осуществлено либо по равенству интенсивности If, 1 Iqo , либо анализатором, вращающимся с постоянной угловой частотой.

По величине отклонения состояния поляризации отраженного поляризованного света от круговой поляризации судят о качестве полирования контролируемого образца.

Формула из.обретения

Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей, заключающийся в том, что устанавливают

угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра и по состоянию поляризации света, отраженного от детали, судят о качестве полирования, отличающий- с я тем, что, с целью увеличения производительности контроля, предварительно для эталона определяют угол падения света и.азимут поляризации

поляризатора зллипсометра,.при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, устанавливают . угол падения света и азимут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии с определенным значением углов для эталона, а о качестве полирования судят по величине отклонения состояния по

40

ляризации отраженного поляризируе- мого света от круговой поляризации.