Устройство для непрерывного осаждения покрытия из оксида металла Советский патент 1988 года по МПК C03C17/23 

00

со со

04

113

Изобретение относится к стекольной промышленности, а именно к устройствам для нанесения на прозрачную подложку слоя полупроводникового материала с высокой прозрачностью, сравнительно небольшим удельным электрическим сопротивлением и высокой механической прочностью.

Цель изобретения - снижение удельного электрического сопротивления при высокой прозрачности покрытия. Данное устройство предназначено для нанесения слоя покрытия оксида олова или оксида титана химическим осаждением из газовой фазы на подложку.

На фиг.1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 и 3 - варианты устройства; на фиг.4 - устройство, вертикальное сечение, показанное на фиг.1.

Устройство содержит ряд валков 1 , на которых располагается и по которым перемещается в направлении F лист V, причем эти валки приводятся во вращение против часовой стрел1$и электрическим двигателем (не показан) и имеют длину, совместимую с ириной листа стекла, который они несут. Скорость вращения валков 1 должна выбираться таким образом, чтобы перемещение листа V происходило с линейной скоростью несколько метров в минуту (порядка 1-10).

Над валками 1 размещено сопло 2, принципиальный конструкционный профиль которого показан на фиг.2. Это сопло содержит три изолированных канала 3,4 и 5, размешенные в продольном направлении параллельно валкам 1 на длину, соответствующую ширине листа стекла V. Эти каналы могут, следовательно, иметь длину даже в несколько метров. Каналы 3-5 образованы сборкой длинных профилей 6,7 и 8, соединенных между собой надлежащими средствами, с двумя парами профилей и ограничивающими проходы 11, 12 и 13 между ними, сообщающиеся с каналами 3,4 и 5 соответственно.

Профилированные стенки За и Зб, 4а и 4б, 5а и 56 каналов 3-5 сходятся к мнимому ребру 1, отстоящему от плоскости, содержащей нижнюю поверхность профилей 6, на длину порядка 3-6 мм. Кроме того, выходные отверстия каналов З , 4 и 5, которые имеют

92

форму трех удлиненных щелей, располагающихся на всю длину профилей 6 и 7, имеют ширину в несколько десятых

миллиметра (1/10 или 2/10).

Ширина нижней поверхности профилей заключается между 10- и 20-кратной общей шириной выходных щелей каналов 3-5.

Предпочтительно нижнюю поверхность профилей покрывать слоем химически инертного металла или сплавом таких металлов, или же оксидами металлов. В качестве примера такого металла

можно назвать золото или платину. Окислы могут быть выбраны из числа SnO, SiO или .

Собранные профили, образующие сопло 2, закрыты с каждого конца обтюраторной пластиной (не показана), установленной таким образом, чтобы обеспечить полную герметичность и образовать, таким образом каналы 3,4 и 5 и проходы 11,12 и 13, закрытые

сбоку. Проходы 14, устроенные в

верхней части профилей 10, позволяют по всей длине последних создавать циркуляцию текучей среды, например масла, предназначенной для поддержания оптимальной рабочей температуры сопла 2.

Другая пластина 15 герметично закрывает верхнюю поверхность сопла 2 по всей его протяженности, препятствуя всякому сообщению между проходами 11,12 и 13.

Общий профиль и состояние поверхности стенок, ограничивающих как каналы 3-5, так и проходы 11-13

(фиг.2), а также поперечные сечения последних таковы, что при расходах газа порядка 3-6 л/ч на сантиметр длины сопла потоки на выходе сопл будут ламинарного типа.

По обеим сторонам сопла 2 и по

всей длине последнего устройство содержит два короба 16 и 17 для отвода газов реакций (фиг.1 и 4) квадратного поперечного сечения, нижняя поверхность которых копланарна с нижней поверхностью профилей 6. Каждый из этих коробов снабжен продольными щелями 16а и 166, для короба 16 и.

17а и 176 для короба 17. Эти короба соединены с помощью системы трубопроводов 18 с входом всасывающего насоса 9, выход которого соединен с нижней частью промывной бащни 20, заполненнои огнеупорными материалами (кольца Рагаига).

Кроме того, устройство содержит два термостатированнь х приемника- барботера 21 и 22, первый из которых содержит жидкое хлористое олово (SnCl), а второй - воду, два расходомера 23 и 24, снабженных клапанами 23а и 24а для регулирования расхода, питаемых смесью азота и водорода в пропорции 60:40, два клапана 25 и 26, расположенных на трубопроводах 27 и 28, соединяющих расходомеры с приемниками-барботерами, расположенными ниже. Два трубопровода 29 и 30 соединяют выход приемников 21 и 22 соответственно с проходом 13 и проходами 11 и 12 сопла 2, т.е. с каналом 5 этого сопла для трубопровода 29 и с каналами 3 и 4 - для трубопровода 30.

Трубопроводы 29 и 30 проходят через камеру Е,(показана схематически контуром из пунктирно-штриховой линии), содержащую жидкий теплоноситель, например масло, температура которого поддерживается постоянной (примерно 110°С) соответствующим образом. Соотношение расстояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине каждого клапана составляет 15- 60. Отражающие поверхности имеют длину, в 10-20 раз большую суммы ширины трех выходных отверстий сопла.

Предлагаемое устройство позволяет наносить, например, на стеклянную пластину слой окиси олова толщиной порядка 500 нм, обладающий одновременно очень хорошей прозрачностью, Сравнительно низкой удельной электрической проводимостью, прекрасным сцеплением со стеклом и повышенной механической прочностью и стойкостью к кислотам.

Эксперимент. ьное устройство этого типа, снабженное соплом длиной 20 см, отверстия каналов 3,4 и 5 которого имели ширину 0,1-0,1 и 0,2 мм позволило обрабатывать стеклянную пластину шириной 20 см и толщиной 4 мм, нагретую примерно до 600°С и перемещаемую в направлении F (фиг.1 и 4) со скоростью 2 м/мин. Расстояние, разделяющее нижнюю поверхность сопла и поверхность стекла, составляло 6 мм.

Использовали приемники 21 и 22 емкостью примерно 200-300 мл (жидко1

371499 го

SnCl для приемника zi и для приемника 22 соответственно). Эти приемники нагревали до таких темпе- ( ратур, чтобы при расходе газа-носителя N,/Hj 60 л/ч для приемника 21 и 120 л/ч для приемника 22, регулируемым клапанами 2За и 24а, получить расход реагента, разбавленного в

10 этом газе, 2 моль/ч хлористого олова (SnCl4) и 1 моль/ч . Кроме того, температуру сопла поддерживали примерно 110 С посредством циркуляции масла в проходах 14 этого сопла

15 (фиг.4).

Вследствие профиля, сообщенного каналам 3,4 и 5 сопла 2, и, в частности, вследствие того, что они сходятся своими боковыми стенками к мни20 мому ребру 1, газовые потоки, выходящие из этих каналов (поток SnCl4 - для канала 5 и поток паров - для каналов 3 и 4), являющиеся ламинарными, входят во взаимный контакт, сна25 чала протекая тангенциально, а затем более прямо по мере приближения к линии 1, находящейся вьш1е. Комбинированный поток этих трех газовых потоков становится менее ламинарным, ког30 да происходит взаимное проникновение зтих потоков одного в другой, что имеет место только в непосредственной близости от поверхности стекла V, которая нагрета примерно до 600 С,

35 как это указывалось выше, так что на стекле происходит реакция присоединения

SnCl

н,о

sna + 4 НС1/.

Если не принять специальных мер, то эта реакция будет происходить очень бурно с образованием большого количества двуокиси олова (SnOj) гидратов типа SnO п НгО на выходе каналов 3-5 сопла 2, вследствие чего возникнет опасность частичного или полного забивания всех или части каналов с осаждением этих же самых окислов олова на стекле в виде белой вуали, а не в виде требуемого гтолу- проводящего прозрачного слоя.

При использовании устройства эта опасность устраняется добавлением в оба газовых потока SnCl и паров восстановительного агента в виде введенного в газ-носитель. ВодоН О

2

н

род фактически является газом, не взаимодействующим ни с SnCl4, ни с

HjO. Кроме того, он действует как катализатор, поэтому может быть использован как инертный газ-носитель.

Реакция присоединения SnCl и происходит не только в центральной зоне сопла 2, т.е. поблизости от той части этого соЯла, в которую выходят каналы 3,4 и 5. Эта реакция имеет место тогда, когда насос 19 работает таким образом, что коробам 16 и 17, расположенным по обе стороны сопла, создается разрежение на правой и левой концевьгх частях (по чертежу) пространства, заключенного между стеклянной пластиной V и нижней поверх- ностью профилей 6а и 66 сопла. Вследствие этого в этом пространстве образуется газовый поток, идущий от центральной части этого пространства к коробам 16 и Г/. Эти потоки содержат часть SnCli, и , диспергированные в газе-носителе и еще не прореагировавшие, уже образовавшиеся пары НС1 и некоторое количество газа-носителя, не содержащего реаген-г тов, которые уже прореагировали. Таким образом, взаимодействие между может продолжаться при остаточных реакционноспособных чзах на некоторую длину 1 по обе стороны I ребра схождения каналов.

Мощность засасывания, осуществляемого благодаря коробам 16 и 17, выбирается таким образом, чтобы реак- ционноспособные газы, выходящие из

в окружающую атмосферу вредных паров, например НС1, или водорода, так как окружающий воздух имеет тенденцию течь в сторону щелей 1ба и 16б, соответственно 17а и 176, проходя между коробами 16 и 17, стеклянной пластиной V и соплом ..

Газообразные продукты, засасываемые благодаря насосу 19, направляются на промывную башню 20 таким образом, чтобы летучие остаточные кислоты подвергались перколяции и уносу водой, причем образующийся кислый раствор отделяется от промытых газов и отводится по трубопроводу 2()а.

В указанных рабочих условиях выход реакции составил примерно 70%. На стекло был нанесен по всей его поверхности слой SnOj 500 нм, прозрачностью 90-95% согласно образцам и со средней проводимостью (Rn) 200 Ом.

Кроме того, слой SnO, полученный таким образом, имел весьма высокую твердость, превышающую твердость стекла, на котором он бьш осажден. Его стойкость была весьма высокой как к очень интенсивным механическим нагрузкам, например ударным, так и к воздействию кислот. Этому стеклу могла быть придана выпуклость с радиусом кривизны 15 см после его нагрева до 600-700 С без какого-либо разрушения покрытия из SnO. Его можно было так- -5 же закаливать в условиях, обычных

0

5

0

Изобретение относится к стекольной промышленности, а именно к устройствам для нанесения на прозрачную подложку слоя полупроводникового материала с высокой прозрачностью, сравнительно небольшим удельным электрическим сопротивлением и высокой механической прочностью. Цель изобретения - снижение удельного электрического сопротивления при высокой прозрачности покрытия. Сопло выполнено с тремя изолированными каналами 3-5 и двумя отражающими поверхностями 6. Профилированные стенки За, 36, 4а, 46, За, 56 каналов сходятся к мнимому ребру 1, общему для всех каналов. Соотношение рас- стояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине каждого канала составляет 15-60. Отражающие поверхности имеют длину, в 10- 20 раз большую суммы ширины трех выходных отверстий сопла. Удельное сопротивление покрытий 20-1500 Ом, прозрачность 60-100%. 4 ил. о (У)

сопла 2, находились в этом пространстве только в течение времени, точно необходимого для получения слоя SnOj. на стекле, представляющего собой прозрачный слой, а не слой в виде увеличивающегося порошкообразного слоя SnOj , iЗасасывание не должно быть слишком сильным, так как в ином случае газы-реагенты, выходящие из сопла не будут иметь времени достичь поверхности стекла. Интенсивность засасывания является, следовательно, определяющей для качества и скорости увеличения слоя. Благодаря засасыванию происходит изолирование от окружающей

атмосферы пространства, заключенного между соплом и стеклянной пластинкой и в котором происходит желаемая реакция. Создается препятствие всякому возможному проникновению в это пространство дополнительной влаги, способной оказать влияние на реакцию присоединения, а также всякому выбросу

0

5

0

5

для нормального стекла. Кроме того, стеклянную пластину с нанесенным слоем SnO в описанных условиях и качествах можно резать алмазом с обеих

сторон без отслаивания слоя.

С помощью этого устройства и в рабочих условиях, отличающихся от указанных только скоростью перемещения пластины V (причем эта скорость была доведена примерно до 10 м/мин), был получен слой SnO толщиной примерно 10 нм, средней проводимостью (Ra) 1,5 кОм, прозрачностью почти 100% для видимого излучения и механическими свойствами, практически эквивалентными слоям, полученным при перемещении стеклянной пластины со скоростью 2 м/мин.

Предлагаемое устройство может быть также использовано для осаждения химическим путем из газовой фазы слоя TiO на стеклянной пластине. Для этого дос саточно заменить в приемникеTiOj 4 HCl/.

13

ба)б(лтерг 21 х.ло1)И(-тое о.чоро (SnC) четыррххл(:1ристым титлном (TiCH). Можно также использовать аз-носи- тел,, СОСТОЯ1ЧИЙ исключите. п.но из азо- та.

На выходе сопла 2 будет иметь место следующая реакция:

TiCl +

Стеклянная пластина шириной 20 см и толщиной А мм, нагретая до , перемешалась в продольном направлении со скоростью 2 м/мин перед соплом 2 на расстоянии 6 мм от последнего. С, помощью клапанов 2За и 2Да расход газа-носителя бьш отрегулирован на 60 л/ч для расходомера 23 и на 120 л/ч - для расходомера 24. Приемники 21 и 22 нагревались также для того, чтобы расходы реагентов состав- ляли 0,2 моль/ч TiCl и 0,01 моль/ч .

Был получен слой TiO толщиной 0,01 мкм, обладающий пропусканием света примерно 75% и отражательной способностью порядка 50%, т.е. выше отражательной способности стекла, на которое нанесен слой. Механическая прочность была сравнима с механической прочностью слоя SnO, полученного так, как описано выше.

Непосредственное введение Н для смягчения бурногс протекания реакции присоединения SnCl и паров H,jO не является единственно возможным. Сог- ласно варианту осуществления можно использовать газ-носитель, СОСТОЯЕЦИЙ исключительно из азота и получить на месте водород, необходимый для восстановления, из метанола СН,ОН. На - фиг.2 показано, как устройство на фиг.1 должно быть в таком случае изменено.

Такое устройство должно содержать помимо приемника-барботера 31, содер- жащего метанол, расходомер 32 с клапаном 32а для ггулирования расхода, клапан 33, расположенный на трубопроводе 34, соединяющем расходомер 32 с приемником 31, и трубопровод 35, соединяющий выход этого приемника с трубопроводом 30 и, следовательно, с проходами 11 и 12 сопла 2, а значит с наружными каналами 3 и 4 этого сопла 2 .

Трубопроводы 29,30 и 35 проходят через камеру V, (показана схематически контуром из пунктирно-1итриховой

9Q«

линии), содержащую жилкйй теплони . и- тель, нагтример млело, температура которого поддержинается постоянной на уровне примерно 110 (. соответствующим образом.

В присутствии SnC. 1 метанол может взаимодействовать с последним следующим образом:

SnCl + 2СН,ОН

SnO ,Cl.

Кроме того, пследствир относитег1ь- но высокой температ фы, существующей на выходе каналов, метанол может разлагаться согласно реякцт1и

СП,

а также может взаимодействовать с согласно реакпии

СН,ОН + ,,-t- СО

Как в одном, так и в другом случае получают на месте водород, необходимый для управления уже указанной основной реакцией:

SnCl + /НгО

SnO + 4НС1/Вариант устройства, показанный на фиг.З, предназначается, в частности, для получения слоев Sn02 с добавками сурьмы путем замены некоторых атомов олова атомами сурьмы. Благодаря таки добавкам можно добиться весьма значительного снижения удельного электрического сопротивления слоя.

Такое включение добавок может быт произведено согласно следующей реакции:

2SbCl5 + + HCl , которая позволяет дополнительно ввести ионы сурьмы в криста-ллическую структуру SnOj.

Так как пятихлористая сурьма взаимодействует с водой, но не взаимодействует с хлористым оловом, то установка согласно фиг.З выполнена таким образом, чтобы SbCl находилась в присутствии только на выходе сопла 2, будучи смешиваемой с хлористым оловом (SnCl). Таким образом, указанная реакция происходит одновременно с реакцией присоединения SnCl и паров .

Данное устройство отличается от устройства, показанного на фиг.1, добавленным приемником-барботером 36 содержащим жидкую пятихлористут сурьму SbClj, расходомером 37 с регулирующим клапаном 37а, клапаном 38, расположенным на трубопроводе 3 и трубопроводом 40, соединяющим выход этого приемника с трубопроводом 2.9

ч,

и, следовательно, г центральным каналом 5 сопла через прохол 13 в этом сопле (фиг.Д).

Трубопроводы 29,30 и 40 проходят через камеру F,, (показана схематически контуром из пунктирно-штриховой линии), содержап(ун} жидкий теплоноситель, например масло, температура которого поддерживается на постоянном уровне примерно соответствующим образом.

Устройство этого типа, снабженное соплом с характеристиками, идентичными соплу уже описанной установки на фиг.1, позволило нанести на стеклянную пластину шириной 20 см и толпщной 4 мм слой SnO с добавкой сурьмы толщиной 500 мм.

Рабочие условия.

Стекло было нагрето до температуры 600 С и перемещалось на расстоянии 6 мм от сопла со скоростью 2 м/ьтн. Использовавшимся газом-носителем быта смесь азота и водорода (60:40), а расходы этого газа регулировались клапанами 23а, 24а и 37а до следующих величин: 60 л/ч - для приемника 21, содержащего жидкое SnCl,60 л/ч - для приемника 22, содержащего 42, и 20 л/ч - для приемника 36, содержащего жидкую пятихлористую сурьму SbClj. Кроме того, приемники нагревались для того, чтобы расходы реагентов составляли 2 моль/ч SnCl,2 моль/ /ч HiO и 0,1 моль/ч .

Был получен слой SnO с добавкой обладающий удельным электрическим сопротивлением порядка 70 Ом и прозрачностью 60%.

Прочие характеристики, такие как механическая прочность, сопротивление удару, отрыву или резанию алмазом, стойкость к кислотам, возможность термической обработки, закалки стекла, на котором осажден слой, эквивалентны характеристикам слоев SnOj без добавок, осажденных уже описанным способом. Его отражательная способность практически идентична отражательной способности стекла, на котором был осажден полученный слой.

С помощью этого же устройства и при рабочих условиях, отличающихся от указанных рабочих условий только тем, что скорость перемещения пластины V была увеличена примерно до 10 м/мин, был полуг ен слой SnO с добавкой сурьмы, имеющий примерно

1А)910

10 им, с:реднюю проричтимость (Кц) 500 Ом, пропускаемость из- .пучения 80% и механические свойства,

идентичные полученным при слое SnO S

также с добавкой сурьм1л, нанесенном

на стеклянную пластину, перемещающуюся со скоростью 2 м/мин.

Удельное сопротивление, отражаQ тельная способность и прозрачность слоев SnO на стекле могут быть улучщены в значительной степени, если эти слои представляют собой слои с добавками фтора. Дпя это,j го предпочтительно использовать устройство, описанное со ссылками на фиг.1, дополненное баллоном 41, со- держаисим газообразный фтористый водород (HP), и трубопроводом 42, соеQ диняющим этот баллон с трубопроводом 30, которые показаны щтриховой линией .

На стекло толщиной 4 мм, нагретое 5 примерно до 600°С, был нанесен слой толио1ной 900 нм SnO с добавкой фтора путем пропускания перед соплом со скоростью 2 м/мин и на расстоянии примерно 6 мм от этого сопла. Расхо- Q ды газа-носителя (смесь 60%

Hj) составляли 60 л/ч для SbCl и водяного пара. Расход HF составлял О,1 л/мин.

.,с Слой Sn02 с добавкой фтора обладал весьма высокими характеристиками. Фактически его удельное электрическое сопротивление составляло (Rp) 20 Ом, отражательная способность

0 к видимому свету превосходила таковую стекла, несущего этот слой, а его отражательная способность к инфракрасному излучению бьша особенно высокой (порядка 75%). Кроме того,

1 пропускаемость видимого света составляла 90%. Характеристики механической прочности также были весьма высокими: стекло с нанесенным слоем SnO,j с добавкой фтора могло подверQ гаться термической обработке, закалке, идентичной обработкам, которым обычно подвергаются некоторые стекла автомащин, например их боковые стекла. Можно бьшо также придать

c такой пластине выпуклост в горячем состоянии (примерно 65( () с радиусом кривизны 15 см без изменения характеристик слоя SnOj с внесенной добавкой. Кроме того, стеклянная

пластина с нанесенным таким образом слоем могла обрабатываться обычным образом (разрезаться, шлифоваться и т.д.) без всякого повреждения слоя. Слой SnOj с добавкой F обладал более высокой твердостью, чем твердость стекла, на которое он бьш нанесен, и на нем не оставалось царапин, и.

10 SnO имел удельное электрическое сопротивление примерно (RQ) 40 Ом. Другие характеристики физического, оптического или механического свойст ва остались совместимыми с характекроме того, его химическая стойкость к кислотам, его сопротивление удару оказались особенно высокими.

С помощью этого устройства (фиг.З) и при рабочих условиях, отличающихся только скоростью перемещения плас- 15 ристиками слоя с добавкой фтора, по- тины V, составляющей примернолученного вводом водорода непосред10 м/мин, бьт получен слой SnOj, с добавкой фтора, имеющий толщину примерно 10 нм, среднюю удельную электри- ческую проводимость (R) 200 Ом, про- 20 пускаемость почти 100% для видимого

ственно в газ-носитель (устройство согласно фиг.1, дополненное баллоном 41).

Виды использования стеклянных пластин всяких размеров с нанесенным слоем SnOj с добавкой или без добавки сурьмы или фтора могут быть самыми разнообразными в зависимости от 25 их физических или электрических характеристик .

света, отражательную способность инфракрасного излучения 25% и механические свойства, идентичные полученным при слое SnOj также с добавкой фтора при перемещении стеклянной пластины со скоростью 2 м/мин.

Хотя в устройстве, показанном на фиг.1, дополненном баллоном 41, соВиды использования стеклянных пластин всяких размеров с нанесенным слоем SnOj с добавкой или без добавки сурьмы или фтора могут быть самыми разнообразными в зависимости от 25 их физических или электрических характеристик .

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет получать покрытия держащим газообразный HF, и трубопро- 30 на поверхности движущейся ленты стек- водом 42, соединяющим этот баллон с ла с удельным сопротивлением 20- трубопроводом 30, используется в качестве восстановителя водород, введенный в газ-носитель (азот), можно также предусмотреть устройство, поз-i воляющее получать слой SnO с добавками фтора, в котором восстановитель

1500 Ом и прозрачностью 60-100%. Формула

изо

р е т е н и я

35

Устройство для непрерывного осаждения покрытия из оксида металла на поверхность движущейся ленты стекла, нагретой до по крайней мере 600 С,

будут получать из метанола CHjOH. Это новое устройство будет представлять собой комбинацию устройств, по- 40 полученного гидролизом галогенида казанных на фиг.1 и 2. Практически этого металла, содержащее щелевидное оно будет представлять собой устрой- сопло, образованное профилированными ство на фиг.2 с добавленным баллоном стенками, сети для подачи в сопло 41 для HF,соединенным с трубопроводом водяного пара и газообразного галоге- 30 через трубопровод 42, причем здесь 45 нида металла или смеси последнего с

газом-носителем, короба для отвода газов реакций, отличающееся тем, что, с целью снижения

тельно к варианту устройства на фиг.1, обозначены штриховой линией.

В данном случае приемники 21,22

удельного сопротивления при высокой

и 31 будут питать азотом с расходами 50 прозрачности покрытия, сопло вьшолне60 л/ч, а расход HF будет составлять 0,1 л/ч. Их температура должна быть доведена до такой величины, чтобы расходы реагентов, подаваемых на сопло 2 , составляли 1 моль/ч для SnCl, 1 моль/ч - для и 2 моль/ч - для CHjOH.

В указанных условиях на стекло толщиной 4 мм, нагретое примерно до

но с двумя отражающими поверхностями и тремя изолированными каналами, образующие каналы профилированные стенки сходятся к мнимому ребру, общему - 55 для всех каналов и находящемуся в плоскости поверхности ленты, сеть питания сопла галогенида соединена с центральным каналом, а сеть питания сопла водяным паром соединена

600°С, был нанесен слой SnOj с добавкой фтора толщиной 600 нм пропусканием перед соплом 2, температура котороО

го поддерживалась примерно 110 С

описанным образом при скорости перемещения 2 м/мин и на расстоянии при- мерно 6 мм от этого сопла.

Полученный таким образом слой

SnO имел удельное электрическое сопротивление примерно (RQ) 40 Ом. Другие характеристики физического, оптического или механического свойст ва остались совместимыми с характеристиками слоя с добавкой фтора, по- лученного вводом водорода непосред

ственно в газ-носитель (устройство согласно фиг.1, дополненное баллоном 41).

Виды использования стеклянных пластин всяких размеров с нанесенным слоем SnOj с добавкой или без добавки сурьмы или фтора могут быть самыми разнообразными в зависимости от их физических или электрических характеристик .

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет получать покрытия на поверхности движущейся ленты стек- ла с удельным сопротивлением 20-

1500 Ом и прозрачностью 60-100%. Формула

изо

р е т е н и я

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет получать покрытия на поверхности движущейся ленты стек- ла с удельным сопротивлением 20-

Устройство для непрерывного осаждения покрытия из оксида металла на поверхность движущейся ленты стекла, нагретой до по крайней мере 600 С,

удельного сопротивления при высокой

но с двумя отражающими поверхностями и тремя изолированными каналами, образующие каналы профилированные стенки сходятся к мнимому ребру, общему - 55 для всех каналов и находящемуся в плоскости поверхности ленты, сеть питания сопла галогенида соединена с центральным каналом, а сеть питания сопла водяным паром соединена

1371499

с двумя другими, расположенными по бокам центрального канала, а отношение расстояния между мнимым ребром и выходным отверстием сопла к ширине

27

23

5 ® ® / ® ® ® ® Т3 45

Фаз. 1

каждого канала равно 15-60, а длина отражаюг1их поверхностей в 10-20 раз превьш ает сумму выходных отверстий трех сопл.

н оreactifs

F

4tr

23

21

фиг.З