Способ получения вакуума Советский патент 1988 года по МПК F04B37/08 F04B37/14 

J г //.

/ / кЧ

.1

(Л

Изобретение относится к способам получения сверхвысокого вакуума при помощи низких т-р. Цель изобретения - повышение предельного вакуума, Емкое ь 2, разметенная в теплоизолированном кожухе 1 , заполняется жидкостью 6. В кожух заливается хладагент. После образования на стенках емкости кристаллизационного слоя жидкость из емкости удаляется в резервуар 5, а т-ра сте}шк емкости еще более понижается, достигая т-ры хладагента. В результате в емкости 2 остаточное давление определяется давлением насыщенных паров жидкости при т-ре хладагента, поскольку газовыделение со стенок исключается вследствие наличия слоя замерзшей жидкости на стенках емкости, 2 ил.

г

СХХХХХ

ооооск

Фиг.1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения сверхвысокого вакуума при помощи низких температур.

Целью изобретения является повышение предельного вакуума.

На фиг.1 представлена схема устройства, реализующего предлагаемый способ, в положении, соответствующем промежуточной операции способа; на фиг.2 - то же, после окончания реализации способа.

Устройство содержит теплоизолированный кожух.1 с размещенной в нем емкостью 2, снабженной трубопроводами с запорной арматурой - вентилями 3 и 4. Один из трубопроводов через вентиль 3 сообщается с атмосферой, другой через вентиль 4 - с жидкостным резервуаром 5, заполненным жидкостью 6 и имеющим трубопровод с вентилем 7, сообщающим резервуар 5 либо с атмосферой, либо с вакуумным насосом.

Способ реализуется следующим образом.

Обезгаженная в резервуаре 5 жидкость 6 подается в емкость 2, заполняя ее полностью и вытесняя из нее

J х

весь воздух через вентиль 3 в атмосферу. Вентили 3 и 4 закрываются и в кожух 1 заливается хладагент, например жидкий азот. После образования на стенках емкости 2 кристаллизационного слоя жидкость 6 из емкости 2 удаляется в резервуар 5, а температура стенок емкости еще более понижается, достигая температуры хладагента. В результате в емкости 2 остаточное давление определяется давлением насыщенных паров жидкости 6 при температуре хладагента, поскольку газо- вьщеление со стенок исключается вследствие наличия слоя замерзшей жидкости на стенках емкости.

Формула изобретения

Способ получения вакуума путем заполнения емкости и последующего удаления из нее жидкости, отличающийся тем, что, с целью повышения предельного вакуума, после заполнения емкости ее стенки охлаждают до образования на них кристаллизационного слоя, а после удаления жидкости осуществляют дальнейшее понижение температуры стенок емкости.

7

(