Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных сред.
Целью изобретения является увеличение коэффициента преобразования.
На чертеже изображен предлагаемый датчик.
Интегральный датчик давления содержит мембрану 1, на периферии которой размещены два p-n-p-тензотранзистора 2 и 3. Тензотранзисторы 2 и 3 размещены на кремниевой мембране так, что ось симметрии, проходящая от эмиттера к коллектору, у одного тензотранзистора 2 параллельна, а у другого тензотранзистора 3 перпендикулярна кристаллографическому направлению <111>. Плоскость мембраны 1 при таком расположении тензотранзисторов 2 и 3 должна совпадать с кристаллографической плоскостью (110).
Интегральный датчик давления работает следующим образом. Измеряемое давление воздействуя на мембрану 1, вызывает деформацию тензотранзисторов 2 и 3, следовательно изменяет их коэффициенты тензочувствительности. Вследствие выбранного расположения осей симметрии транзотранзисторов, коэффициенты тензочувствительности у них имеют разный знак, следовательно коэффициент преобразования увеличивается.
Интегральный датчик давления характеризуется высоким значением коэффициента преобразования и возможностью его изготовления в миниатюрном исполнении.
(56) Ваганов В. И. , Поливанов П. П. Интегральный транзисторный преобразователь давления. Электронная техника. Сер. 11, в. 4, 1975, с. 82-92.
Авторское свидетельство СССР N 491059, кл. G 01 L 23/18, 1975.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Интегральный преобразователь давления | 1986 |
|
SU1471094A1 |
| Интегральный преобразователь давления | 1990 |
|
SU1783331A1 |
| ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МЕХАНИЧЕСКОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СИГНАЛ | 1985 |
|
SU1387812A1 |
| Интегральный преобразователь механического воздействия | 1985 |
|
SU1328700A1 |
| КРЕМНИЕВЫЙ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СОКОЛОВА | 2006 |
|
RU2327125C2 |
| Датчик давления крови | 1975 |
|
SU542509A1 |
| ЧАСТОТОРЕЗОНАНСНЫЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ И ЧАСТОТОРЕЗОНАНСНЫЙ ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ | 2017 |
|
RU2690699C1 |
| Интегральный тензопреобразователь и способ его изготовления | 1991 |
|
SU1827532A1 |
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ | 1988 |
|
SU1545877A1 |
| Интегральный преобразователь давления | 1989 |
|
SU1749731A1 |
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - увеличение коэффициента преобразования. Давление, которое измеряется, воздействует на мембрану 1, вызывает деформацию тензотранзисторов 2 и 3 и, следовательно, изменяет их коэффициенты тензочувствительности. Вследствие выбранного расположения осей симметрии тензотранзисторов 2 и 3, коэффициенты тензочувствительности у них имеют разный знак, следовательно коэффициент преобразования увеличится. 1 ил.
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий кремниевую мембрану, на периферии которой установлены два p-h-p-тензотранзистора, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента преобразования, тензотранзисторы размещены так, что ось симметрии, проходящая от эмиттера к коллектору, у одного тензотранзистора параллельна, а у другого - перпендикулярна кристаллографическому направлению < III >, при этом плоскость мембраны совпадает с кристаллографической плоскостью (110).
