Интерференционный способ измерения толщины пленок Советский патент 1988 года по МПК G01B11/02 

to

Oi О5

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок.

Цель изобретения - повышение точности и расширение диапазона измерений путем использования рассеянного когерентного света для облучения измеряемой пленки.

Способ осуществляется следующим образом.

Измеряемую пленку облучают когерентным рассеяным светом перпендикулярно ее поверхности, с помощью микроинтерферометра регистрируют интерференционную картину, образованную светом, падающим перпендикулярно поверхности пленки и отраженным от ее наружной и внутренней поверхностей по перемещению интерференционной головки микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, а толщину пленки d определяют по формуле d n-h, где п - показатель преломления пленки; h - расстояние между системами интерференционных полос.

Предлагаемый способ позволяет сущест- венно расщирить диапазон и повысить точность измерений вследствие использования

когерентного излучения с известной длиной волны, а также расщирить класс исследуемых материалов пленок путем использования излучения с длиной волны, соответствующей области прозрачности .материала пленок.

Формула изобретения

Интерференционный способ измерения толщины пленок с известным показателем п преломления, заключающийся в том, что измеряемую пленку облучают когерентным светом перпендикулярно ее поверхности, регистрируют с помощью микроинтерферометра интерференционную картину, образованную светом, падающим перпендикулярно поверхности пленки и отраженным от ее наружной и внутренней поверхности, и из.ме- ряют расстояние h между системами интерференционных полос, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности и расщи- рения диапазона измерения, для облучения пленки используют рассеянный свет, расстояние между системами интерференционных полос определяют по перемещению интерференционной головки микроинтерферометра в направлении, перпендикулярно.м поверхности пленки, а толщину d пленки определяют по формуле d n-h.

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок и слоев. Цель изобретения - повышение точности и диапазона измерений достигается использованием рассеянного когерентного света для облучения измеряемой пленки. Измеряемую пленку облучают когерентным рассеянным светом. Перемещая интерференционную головку микроинтерферометра в направлении, перпендикулярном поверхности пленки, определяют расстояние между системами интерференционных полос, возникающих при интерференции падающего света и отраженного от наружной и внутренней поверхностей нленки, а толщину пленки d определяют tio формуле d n-h, где п - показатель преломления пленки; h - расстояние между систе.мами интерференционных полос.